The invention discloses a detection device and a working method of the wear of a chemical mechanical grinding pad, which includes a laser light source, a laser light source set in a grinding disc, a transparent glass window covered on the laser light source, a detection device and a detection device mounted on the connecting rod of a dresser. The detection device includes a light receiver and a grinding machine. The upper end face of the inner wall of the cover is provided with a light receiver, and the light receiver is connected with a lapping pad monitor. The invention realizes the automatic real-time detection of the abrasion condition of the abrasive pad by optical method, and greatly reduces the defective product rate caused thereby.
【技术实现步骤摘要】
一种化学机械研磨垫磨损的检测装置及工作方法
本专利技术涉及化学机械的研磨垫磨损的
,尤其涉及一种化学机械研磨垫磨损的检测装置及工作方法的
技术介绍
在目前的晶圆化学机械研磨机台中,没有对研磨垫的磨损进行监控的装置,主要依靠人工目检发现磨损,以及通过统一的使用寿命来提醒更换研磨垫。人工目检主观性较强,不够准确也不易标准化。统一的寿命控制常常导致个别机台研磨垫磨损严重而仍在使用。研磨垫的严重磨损会造成研磨垫上部分区域沟槽变浅,对研磨液传输能力变弱,使研磨液分布不均匀,从而导致晶圆的平整度降低,进而影响良率。因此需要一种装置和方法能实时检测研磨垫的磨损状况。而目前并没有自动检测的装置,主要依靠控制研磨垫的使用寿命和人工检测来防止研磨垫磨平。
技术实现思路
针对上述不足,本专利技术的目的是提供一种化学机械研磨垫磨损的检测装置及工作方法;由于化学机械研磨的研磨垫上通常都布满若干环形沟槽,沟槽起到运输研磨液的作用,研磨垫的磨损会使沟槽变浅甚至消失;而目前只是通过人工检测磨损状况,需要暂停机台生产而且无法随时监控。本专利技术的检测装置利用沟槽变浅时研磨垫厚度变薄对透射光强的影响来监测磨损状况。为了达到上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种化学机械研磨垫磨损的检测装置,其特征在于,包括:激光光源,所述激光光源设置于研磨盘内,所述激光光源上面覆盖有透明玻璃窗口;检测装置,所述检测装置安装于修整器的连接杆上;所述检测装置包括光线接收器、研磨垫监测器和监测器外壳;所述监测器外壳为开口朝下的盖体,所述盖体的内壁的上端面设有所述光线接收器,所述光线接收器连接有所述研 ...
【技术保护点】
一种化学机械研磨垫磨损的检测装置,其特征在于,包括:激光光源,所述激光光源设置于研磨盘内,所述激光光源上面覆盖有透明玻璃窗口;检测装置,所述检测装置安装于修整器的连接杆上;所述检测装置包括光线接收器、研磨垫监测器和监测器外壳;所述监测器外壳为开口朝下的盖体,所述盖体的内壁的上端面设有所述光线接收器,所述光线接收器连接有所述研磨垫监测器。
【技术特征摘要】
1.一种化学机械研磨垫磨损的检测装置,其特征在于,包括:激光光源,所述激光光源设置于研磨盘内,所述激光光源上面覆盖有透明玻璃窗口;检测装置,所述检测装置安装于修整器的连接杆上;所述检测装置包括光线接收器、研磨垫监测器和监测器外壳;所述监测器外壳为开口朝下的盖体,所述盖体的内壁的上端面设有所述光线接收器,所述光线接收器连接有所述研磨垫监测器。2.根据权利要求1所述一种化学机械研磨垫磨损的检测装置,其特征在于,所述修整器包括连接杆、修整装置和转轴;所述连接杆的一端连接所述修整装置,所述连接杆的另一端连接所述转轴;所述修整装置和所述连接杆均位于所述研磨垫的上方;所述连接杆的下端面通过一连接部连接所述监测器外壳的上端面。3.根据权利要求1所述一种化学机械研磨垫磨损的检测装置,其中,所述研磨垫为透光材料制成,所述研磨垫为圆盘状,所述研磨垫的上端面设有若干圈圆形的沟槽,每一所述沟槽的圆心为所述研磨垫的圆心,并且每一所述沟槽的半径均不同。4.根据权利要求3所述一种化学机械研磨垫磨损的检测装置,其中,所述研磨垫设置于所述研磨盘的上端面。5.一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈智,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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