一种芯片自动化加工设备制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种芯片自动化加工设备
本专利技术涉及半导体加工领域，尤其涉及一种芯片自动化加工设备。
技术介绍
在现今的生活上，科技日新月益的进展之下,机械人手臂与有人类的手臂最大区别就在于灵活度与耐力度，也就是机械手的最大优势可以重复的做同一动作在机械正常情况下永远也不会觉得累，机械手的应用也将会越来越广泛。自动化加工也受到越来越多的关注，自动化(Automation)是指机器设备、系统或过程(生产、管理过程)在没有人或较少人的直接参与下，按照人的要求，经过自动检测、信息处理、分析判断、操纵控制，实现预期的目标的过程。自动化技术广泛用于工业、农业、军事、科学研究、交通运输、商业、医疗、服务和家庭等方面。采用自动化技术不仅可以把人从繁重的体力劳动、部分脑力劳动以及恶劣、危险的工作环境中解放出来，而且能扩展人的器官功能，极大地提高劳动生产率，增强人类认识世界和改造世界的能力。因此，自动化是工业、农业、国防和科学技术现代化的重要条件和显著标志。智能化、仿生化是工业机器人的最高阶段，随着材料、控制等技术不断发展，实验室产品越来越多的产品化，逐步应用於各个场合。伴随移动互联网、物联网的...
【技术保护点】
一种芯片自动化加工设备，包括加工机架、上料装置、下料装置、搬运装置和作业装置，所述搬运装置用于将代加工芯片从所述上料装置上取出放置在加工机架上，以及用于将加工好的芯片从所述加工机架上取出放置在下料装置上，所述加工机架上设置有工作台，工作台上设置有卡盘，所述卡盘用于放置待加工的芯片，其特征在于：所述搬运装置包括基座、升降轴、大臂、小臂和末端执行器，所述升降轴设置在基座内并由一气缸驱动其做升降运动，所述大臂的一端通过第一减速电机与升降轴连接，所述小臂的一端通过第二减速电机与大臂的另一端连接，所述末端执行器的端部通过第三减速电机与小臂的另一端连接，所述末端执行器上设置有多个吸盘,...
【技术特征摘要】
1.一种芯片自动化加工设备，包括加工机架、上料装置、下料装置、搬运装置和作业装置，所述搬运装置用于将代加工芯片从所述上料装置上取出放置在加工机架上，以及用于将加工好的芯片从所述加工机架上取出放置在下料装置上，所述加工机架上设置有工作台，工作台上设置有卡盘，所述卡盘用于放置待加工的芯片，其特征在于：所述搬运装置包括基座、升降轴、大臂、小臂和末端执行器，所述升降轴设置在基座内并由一气缸驱动其做升降运动，所述大臂的一端通过第一减速电机与升降轴连接，所述小臂的一端通过第二减速电机与大臂的另一端连接，所述末端执行器的端部通过第三减速电机与小臂的另一端连接，所述末端执行器上设置有多个吸盘,所述多个吸盘通过调节阀与一气泵连接；所述加工装置还包括控制装置，所述控制装置包括控制器、数据分析与处理单元、运动控制单元、位移检测装置和通讯单元，所述数据分析与处理单元、运动控制单元、位移检测装置、搬运装置和作业装置通过所述通讯单元与所述控制器连接并受控于控制器；所述作业装置包括点焊机和多关节机械手，所述点焊机设置在多关节机械手的末端并位于加工机架一旁，通过多关节机械手调整该点焊机和待加工芯片之间的相对位置。2.如权利要求1所述的一种芯片自动化加工设备，其特征在于：所述点焊机还包括以伺服电机作为驱动源而进行开闭动作的电极对，...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖梓健，王昌华，
申请(专利权)人：盐城盈信通科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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