一种硅片机械手抓取烘干结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种硅片机械手抓取烘干结构，包括机械手支杆和气压电磁阀，机械手支杆的顶部设有气管连接口，机械手支杆上设有气孔，电磁阀上设有电源接口，主进气接口和分支气管接口，气管连接口与分支气管接口通过进气分支管路连接，电源接口连接电源，主进气接口连接主进气管路。本实用新型专利技术的有益效果是通过机械手支杆上设置气孔，实现机械手吹气功能，通过在设备进气管路增加电磁阀，实现机械手气压的精确控制，从而去除机械手水分残留，达到减少二次沾污、提高清洗质量的目的。

A silicon wafer manipulator grabbing drying structure

【技术实现步骤摘要】
一种硅片机械手抓取烘干结构
本技术属于太阳能材料生产
，尤其是涉及一种硅片机械手抓取烘干结构。
技术介绍
随着光伏行业的快速发展，市场竞争日益激烈。提高产品品质成为企业提高竞争力的主要途径之一，现有技术中硅片清洗工艺中采用的清洗一体机采用槽体式清洗，通过机械手将硅片移栽到相应槽体或烘干传送带，从药液槽取片后，机械手会有药液残留，移栽硅片至烘干传送带时，机械手药液及水分残留会滴落在硅片表面，造成二次沾污，影响清洗质量。
技术实现思路
本技术的目的在于解决硅片清洗过程中机械手残留药液，移载过程中对硅片表面进行二次玷污的问题，提供一种硅片机械手抓取烘干结构。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种硅片机械手抓取烘干结构，包括机械手支杆和气压电磁阀，所述机械手支杆的顶部设有气管连接口，所述机械手支杆上设有气孔，所述气压电磁阀上设有电源接口，主进气接口和分支气管接口，所述气管连接口与所述分支气管接口通过进气分支管路连接，所述电源接口连接电源，所述主进气接口连接主进气管路。进一步地，还包括顶盖和支架，所述顶盖上设置机械手支杆孔，所述机械手支杆穿过所述机械手支杆孔伸出所述顶盖的顶部，所述支架本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片机械手抓取烘干结构，其特征在于：包括机械手支杆和气压电磁阀，所述机械手支杆的顶部设有气管连接口，所述机械手支杆上设有气孔，所述气压电磁阀上设有电源接口，主进气接口和分支气管接口，所述气管连接口与所述分支气管接口通过进气分支管路连接，所述电源接口连接电源，所述主进气接口连接主进气管路。

【技术特征摘要】
1.一种硅片机械手抓取烘干结构，其特征在于：包括机械手支杆和气压电磁阀，所述机械手支杆的顶部设有气管连接口，所述机械手支杆上设有气孔，所述气压电磁阀上设有电源接口，主进气接口和分支气管接口，所述气管连接口与所述分支气管接口通过进气分支管路连接，所述电源接口连接电源，所述主进气接口连接主进气管路。2.根据权利要求1所述的一种硅片机械手抓取烘干结构，其特征在于：还包括顶盖和支架，所述顶盖上设置机械手支杆孔，所述机械手支杆穿过所述机械手支杆孔伸出所述顶盖的顶部，所述支架设置于所述顶盖的底部，所述支架与所述顶盖通...

【专利技术属性】
技术研发人员：古元甲，刘晓伟，范猛，李伟，刘沛然，孙昊，孙毅，田志民，王少刚，秦焱泽，辛超，石海涛，赵朋占，
申请(专利权)人：天津市环欧半导体材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12