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本实用新型提供一种硅片机械手抓取烘干结构，包括机械手支杆和气压电磁阀，机械手支杆的顶部设有气管连接口，机械手支杆上设有气孔，电磁阀上设有电源接口，主进气接口和分支气管接口，气管连接口与分支气管接口通过进气分支管路连接，电源接口连接电源，主进...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

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