一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于单晶硅棒自动检测领域，具体涉及一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置。本实用新型专利技术提供一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置，包括支撑架，对中及斜度测量组件，长度测量组件；对中及斜度测量组件将单晶硅棒移动到该装置宽度位置中心，对中的同时利用倾角传感器测量出单晶硅圆棒端面的斜度，再由长度测量组件通过激光对射测出晶棒的长度；本实用新型专利技术可以实现直径

A device for measuring the length and slope of the automatic detection line of monocrystalline silicon rods

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置
本技术属于单晶硅棒自动检测领域，具体涉及一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置。
技术介绍
随着光伏行业和半导体行业的蓬勃兴起，单晶硅作为最重要的半导体与光伏材料，它的产量需求也在不断提升。单晶硅制备完成后需要继续进行一系列工序，包括有截断、检测、平面磨削、外圆磨削等工序；最后，再将加工好的单晶硅棒送入专门的多线线切片机，加工出可用于电池片生产或半导体基体的硅片。其中，单晶硅棒的检测是一个检测单晶硅棒质量的重要步骤。其检测内容主要包括重量检测、直径检测、长度检测、斜度检测、导电类型、电阻率、少子寿命以及外观检测。目前，主要以人工方式测量单晶硅棒的长度和端面斜度，工作效率低、劳动强度大、存在安全隐患等问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术提供了能精确测量晶棒的长度和斜度，并提高工作效率的一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置。一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置，包括支撑架和对中及斜度测量组件，所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座，丝杆电机，丝杆，手爪，手爪滑块安装座，倾角传感器，水平电机座；所述的支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置，其特征在于：包括支撑架(1)和对中及斜度测量组件，所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座(5)，丝杆电机(6)，丝杆(11)，手爪(12)，手爪滑块安装座(9)，倾角传感器(13)，水平电机座(7)；所述的支撑架(1)上固定连接水平导轨座(5)，所述水平导轨座(5)下方两侧分别固定有导轨(10)和水平电机座(7)，该水平电机座(7)上安装有丝杆电机(6)；所述导轨(10)两端分别装有与之相配合的滑块(8)，与滑块(8)固定连接的手爪滑块安装座(9)和与手爪滑块安装座(9)固定连接的手爪(12)，所述手爪(12)为上下可调机构，手爪(12)上装有倾...

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置，其特征在于：包括支撑架(1)和对中及斜度测量组件，所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座(5)，丝杆电机(6)，丝杆(11)，手爪(12)，手爪滑块安装座(9)，倾角传感器(13)，水平电机座(7)；所述的支撑架(1)上固定连接水平导轨座(5)，所述水平导轨座(5)下方两侧分别固定有导轨(10)和水平电机座(7)，该水平电机座(7)上安装有丝杆电机(6)；所述导轨(10)两端分别装有与之相配合的滑块(8)，与滑块(8)固定连接的手爪滑块安装座(9)和与手爪滑块安装座(9)固定连接的手爪(12)，所述手爪(12)为上下可调机构，手爪(12)上装有倾角传感器(13)，该倾角传感器(13)用于在手爪(12)的带动下贴合待测量的晶棒端面；所述丝杆电机(6)通过丝杆(11)分别与导轨(10)两端的手爪滑块安装座(9)连接，所述手爪滑块安装座(9)之间的丝杆(11)上设有联轴器(14)，该联轴器(14)用于使其两侧的丝杆(11)旋转方向相反。2.根据权利要求1所述的用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置，其特征在于：所述支撑架(1)两...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，傅林坚，周星，朱全民，陈翔，严绍军，叶欣，沈文杰，李林，
申请(专利权)人：杭州慧翔电液技术开发有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33