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本实用新型属于单晶硅棒自动检测领域,具体涉及一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置。本实用新型提供一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置,包括支撑架,对中及斜度测量组件,长度测量组件;对中及斜度测量组件将单晶硅棒移动到该装置...该专利属于杭州慧翔电液技术开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州慧翔电液技术开发有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于单晶硅棒自动检测领域,具体涉及一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置。本实用新型提供一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置,包括支撑架,对中及斜度测量组件,长度测量组件;对中及斜度测量组件将单晶硅棒移动到该装置...