一种平衡调节型绕线装置制造方法及图纸

本申请涉及单晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种平衡调节型绕线装置。该平衡调节型绕线装置包括基座、电机、绕线机构和平衡机构。该绕线机构包括滚珠花键、绕线轮和固定螺母。该绕线机构的绕线轮在转动绕线的同时，绕线轮会在固定螺母的作用下沿滚珠花键的轴向运动。该平衡机构包括丝杆、导向杆和平衡块，该丝杆与滚珠花键通过同步带连接。该平衡机构能够在绕线轮沿轴线运动的过程中，带动平衡块向与绕线轮相反的方向运动，使该绕线装置的重心保持不变，以保证绕线装置运行的稳定性。

A balance adjustment type winding device

The application relates to the technical field of monocrystalline silicon production equipment, in particular a balance - regulating type winding device. The balance adjustment type winding device includes a base seat, an electric motor, a winding mechanism and a balancing mechanism. The winding mechanism includes ball spline, winding wheel and fixed nut. The winding wheel of the winding mechanism is rotating around the line, and the winding wheel moves along the ball spline under the action of the fixed nut. The balancing mechanism consists of a silk rod, a guide rod and a balance block, which is connected to a ball spline through a synchronous belt. The balancing mechanism can drive the balance block to move in the opposite direction with the coiling wheel during the movement of the coiling wheel along the axis, so that the center of gravity of the winding device remains unchanged, so as to ensure the operation stability of the winding device.

【技术实现步骤摘要】
一种平衡调节型绕线装置
本申请涉及单晶硅生产设备
，尤其涉及一种平衡调节型绕线装置。
技术介绍
单晶硅主要用于制作半导体元件，包括大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等，是集成电路产业和太阳能光伏产业的重要功能材料。制备单晶硅的方法有很多，其中，直拉法是生产单晶硅最常用的方法之一。图1为一种通过直拉法制备单晶硅的单晶炉结构示意图。该单晶炉主要包括：密封腔体01、加热装置02、坩埚03、籽晶轴线04和籽晶提升机构05。在使用该单晶炉制备单晶硅的过程中，首先将多晶硅加入坩埚03中，使用加热装置02加热坩埚03，使多晶硅熔化为硅熔融体。其次，采用籽晶提升机构05使籽晶轴线04下端的籽晶慢慢下降进入硅熔融体中。最后，使用籽晶提升机构05将籽晶按照一定速度向上提升。在提升的过程中，籽晶与硅熔体的固液界面之间的硅熔融体冷却成固态的硅单晶。籽晶提升机构05主要包括电机和绕线轮。在提升籽晶的过程中，绕线轮不仅在电机的作用下按照一定的速率转动将籽晶提升，而且沿绕线轮的轴线左右运动，以减小绕线过程中籽晶轴线04位置的偏移。但是，该提升机构的绕线轮在左右运动的过程中，提升机构的重心不断地发生变化，无法始终保持提升机构的重心与籽晶轴线04重合。因此，在提升籽晶的过程中，籽晶提升机构可能会由于重心不稳而导致籽晶轴线04晃动，降低籽晶头运行的稳定性，导致固液之间的氧化物进入到晶体内部，降低了晶体品质以及单晶棒一次性生长的成功率和单晶的转化效率。
技术实现思路
本申请提供了一种平衡调节型绕线装置，以解决现有绕线装置在绕线的过程中重心不断地变化，导致绕线机构运行稳定性低的问题。一种平衡调节型绕线装置，包括：基座、设置于所述基座上的绕线机构、平衡机构和电机，其中，所述绕线机构包括滚珠花键、绕线轮和固定螺母；所述滚珠花键的花键轴与所述电机连接，所述滚珠花键的花键外筒上设有所述绕线轮和第一螺纹，所述第一螺纹与所述固定螺母相配合，所述固定螺母设置于所述基座上；所述平衡机构包括丝杆、导向杆和平衡块；所述平衡块上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔内设有第二螺纹和与所述第二螺纹相配合的所述丝杆，所述第二通孔内设有所述导向杆；所述滚珠花键和所述丝杆通过同步带连接，所述绕线轮和所述平衡块的运动方向相反。可选的，所述基座上设有密封壳体，所述绕线机构设置于所述密封壳体的内部；所述电机和所述平衡机构设置于所述密封壳体的外部。可选的，所述基座上还设有配重块，所述配重块和所述电机相对设置于所述绕线机构的两侧。可选的，所述的平衡调节型绕线装置还包括限位装置，所述限位装置包括感应片、第一限位开关和第二限位开关；所述感应片设置于所述平衡块上，所述第一限位开关和所述第二限位开关分别设置于平衡块运动的两个极限位置处。可选的，所述导向杆上设有直线轴承，所述第二通孔设置于所述直线轴承上。可选的，所述绕线轮上设有线槽。可选的，所述密封壳体上设有透明视窗。可选的，所述滚珠花键与所述密封壳体的连接处通过磁流体密封件密封。本申请提供的技术方案包括以下有益技术效果：该平衡调节型绕线装置包括基座、电机、绕线机构和平衡机构。该绕线机构包括滚珠花键、绕线轮和固定螺母。该绕线机构的绕线轮在转动绕线的同时，绕线轮会在固定螺母的作用下沿滚珠花键的轴向运动。该平衡机构包括丝杆、导向杆和平衡块，该丝杆与滚珠花键通过同步带连接。该平衡机构能够在绕线轮沿轴线运动的过程中，带动平衡块向与绕线轮相反的方向运动，使该绕线装置的重心保持不变，以保证绕线装置运行的稳定性。附图说明为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为一种通过直拉法制备单晶硅的单晶炉结构示意图。图2为本申请实施例提供的一种平衡调节型绕线装置的结构示意图。图3为本申请实施例提供的一种平衡调节型绕线装置的俯视图。图4为本申请实施例提供的一种平衡调节型绕线装置的剖面图A-A。图5为本申请实施例提供的绕线轮的结构示意图。图6为本申请实施例提供的平衡块的结构示意图。附图标记说明：1、基座；2、绕线机构；21、滚珠花键；211、花键轴；212、花键外筒；22、绕线轮；221、线槽；23、固定螺母；24、第一螺纹；25、轴承座；26、轴承；27、磁流体密封件；28、轴套；3、平衡机构；31、丝杆；32、导向杆；321、直线轴承；33、平衡块；331、第一通孔；332、第二通孔；333、第二螺纹；34、底板；35、第一侧板；36、第二侧板；4、电机；41、第一减速器；42、第二减速器；5、同步带；51、第一带轮；52、第二带轮；53、小轴；6、密封壳体；61、透明视窗；62、前侧板；63、后侧板；7、配重块；71、横向调节槽；72、纵向调节槽；8、限位装置；81、感应片；82、第一限位开关；83、第二限位开关。具体实施方式此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图2为本申请实施例提供的一种平衡调节型绕线装置的整体结构示意图。图3为本申请实施例提供的一种平衡调节型绕线装置的俯视图。图4为本申请实施例提供的一种平衡调节型绕线装置的剖面图A-A。请参阅图2-图4，本实施例提供的平衡调节型绕线装置包括：基座1、密封壳体6、绕线机构2、平衡机构3和电机4。该密封壳体6设置于该基座1上，该绕线机构2设置于密封壳体6的内部，该电机4和平衡机构3设置于密封壳体6的外部。该密封壳体6的形状为长方体，并且该密封壳体6的前侧板62和该密封壳体6的后侧板63可拆卸。当需要对设置于该密封壳体6内部的绕线机构2进行检修时，可将该前侧板62或者后侧板63从密封壳体6上拆卸下来。可选的，该密封壳体6上设有透明视窗61。通过该透明视窗61可以观察密封壳体6内部的绕线机构2的运转情况。可选的，该密封壳体6的底座上还设有配重块7，该配重块7和电机4相对设置于密封壳体6的两侧。该配重块7的底座两侧分别设有一个横向调节槽71，该绕线机构2的底座上设有一个与该横向调节槽71垂直的纵向调节槽72。将螺栓依次穿过该横向调节槽71和纵向调节槽72，即可将该配重块7固定于该绕线机构2的基座1上。该配重块7用于调节该平衡调节型绕线装置在静止状态下的重心位置。示例性的，当该绕线装置的重心位置位于籽晶轴线的左侧时，沿着横向调节槽71将该配重块7向右调节，使该装置的重心与该籽晶轴线重合。当该绕线装置的重心位置位于籽晶轴线的后侧时，沿着纵向调节槽72将该配重块7向前调节，使该绕线装置的重心与该籽晶轴线重合，以保证籽晶轴线在提升过程中的稳定性。该绕线机构2包括滚珠花键21、绕线轮22和固定螺母23、轴承26、轴承座25和磁流体密封件27。该轴承座25设置于密封壳体6的一个侧壁上，该轴承座25上固定有轴承26。该磁流体密封件27设置于该密封壳体6上与轴承26相对的侧壁上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平衡调节型绕线装置，其特征在于，包括：基座(1)、设置于所述基座(1)上的绕线机构(2)、平衡机构(3)和电机(4)，其中，所述绕线机构(2)包括滚珠花键(21)、绕线轮(22)和固定螺母(23)；所述滚珠花键(21)的花键轴(211)与所述电机(4)连接，所述滚珠花键(21)的花键外筒(212)上设有所述绕线轮(22)和第一螺纹(24)，所述第一螺纹(24)与所述固定螺母(23)相配合，所述固定螺母(23)设置于所述基座(1)上；所述平衡机构(3)包括丝杆(31)、导向杆(32)和平衡块(33)；所述平衡块(33)上设有第一通孔(331)和第二通孔(332)，所述第一通孔(331)内设有第二螺纹(333)和与所述第二螺纹(333)相配合的所述丝杆(31)，所述第二通孔(332)内设有所述导向杆(32)；所述滚珠花键(21)和所述丝杆(31)通过同步带(5)连接，所述绕线轮(22)和所述平衡块(33)的运动方向相反。

【技术特征摘要】
1.一种平衡调节型绕线装置，其特征在于，包括：基座(1)、设置于所述基座(1)上的绕线机构(2)、平衡机构(3)和电机(4)，其中，所述绕线机构(2)包括滚珠花键(21)、绕线轮(22)和固定螺母(23)；所述滚珠花键(21)的花键轴(211)与所述电机(4)连接，所述滚珠花键(21)的花键外筒(212)上设有所述绕线轮(22)和第一螺纹(24)，所述第一螺纹(24)与所述固定螺母(23)相配合，所述固定螺母(23)设置于所述基座(1)上；所述平衡机构(3)包括丝杆(31)、导向杆(32)和平衡块(33)；所述平衡块(33)上设有第一通孔(331)和第二通孔(332)，所述第一通孔(331)内设有第二螺纹(333)和与所述第二螺纹(333)相配合的所述丝杆(31)，所述第二通孔(332)内设有所述导向杆(32)；所述滚珠花键(21)和所述丝杆(31)通过同步带(5)连接，所述绕线轮(22)和所述平衡块(33)的运动方向相反。2.根据权利要求1所述的平衡调节型绕线装置，其特征在于，所述基座(1)上设有密封壳体(6)，所述绕线机构(2)设置于所述密封壳体(6)的内部；所述电机(4)和所述平衡...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永亮，张国华，施海斌，
申请(专利权)人：浙江昀丰新材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33