A suitable CZ Fala system heavily boron doped monocrystalline silicon thermal field device comprises a chassis, heat insulation barrels and heat insulation cover, the heater and the heat shield; the heat insulation barrel from the bottom up by insulation tube, main insulation barrel and insulation tube three section structure of the combination of fixed installation; the heater is fixed on the inner wall of the main layout along the insulation bucket; the thermal panel forms a funnel shape, extending into the lower edge of the heater; wherein the insulation tube height is less than or equal to the height of the heater.
【技术实现步骤摘要】
一种适用于CZ法拉制重掺硼单晶硅棒的热场装置
本专利技术属于CZ法拉制重掺硼单晶硅领域,具体涉及一种消除小角晶界缺陷的热场。
技术介绍
重掺硼硅单晶是最重要的P型重掺硅单晶,具有电阻率分布均匀、吸杂能力强、机械性能较好等优点。在实际生产中,电阻率低于0.01欧姆厘米的超低电阻率的直拉重掺硼单晶硅较难获得,而器件制作为了得到不同电压响应的器件,又要求衬底硅片的电阻率达到0.01欧姆厘米以下。对于电阻率低于0.01欧姆厘米的超低电阻率的直拉重掺硼硅单晶而言,在晶体生长过程中很容易产生小角晶界现象,小角晶界的存在极大的破坏了晶体完整性,使得单晶失去无位错状态。主要原因在于,生产界面温度梯度过大必然导致较大的体积应变能及晶格畸变,进一步演化为生长时的略微晶向差异,这些有着晶向上略微不匹配的晶核生长时台阶的汇合,就容易产生位错等缺陷,这些缺陷在重掺硼硅单晶较强的位错钉扎作用下很快演化成小角晶界,通过小角晶界来释放起较大的体积应变能。行业内为了消除小角晶界缺陷,理论上可以采用增加加热器功率降低生产界面温度梯度和降低埚位降低生产界面温度梯度的两种工艺方法,能够有效降低小角晶界重掺硼硅单晶。但是,实际生产中发现,上述两种方法不能完全杜绝小角晶界缺陷产生。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决CZ法拉制重掺硼单晶硅棒过程中温度梯度过大,易诱发单晶硅棒中产生小角晶界缺陷的问题,提供一种适用于CZ法拉制重掺硼单晶硅棒消除小角晶界缺陷的热场装置,能有效控制热场温度梯度并消除重掺硼单晶硅棒小角晶界缺陷。为了实现上述目的,本技术所采用的技术方案是通过设置热场构造,通过控制热屛高度使单晶硅 ...
【技术保护点】
一种适用于CZ法拉制重掺硼单晶硅棒的热场装置,包括了底盘、保温桶、保温盖、加热器和热屏,保温桶安装设置在底盘上,保温桶上部安装保温盖,加热器固定安装在保温桶的内壁上,热屛固定设置在保温盖的口部;其特征在于:所述的保温桶从下往上由下保温筒、主保温桶和上保温筒三段构造固定组合安装;所述的加热器沿主保温桶的内壁固定布设;所述的热屛呈漏斗状,下沿口伸入到加热器中;所述的上保温筒高度小于等于加热器高度的
【技术特征摘要】
1.一种适用于CZ法拉制重掺硼单晶硅棒的热场装置,包括了底盘、保温桶、保温盖、加热器和热屏,保温桶安装设置在底盘上,保温桶上部安装保温盖,加热器固定安装在保温桶的内壁上,热屛固定设置在保温盖的口部;其特征在于:所述的保温桶从下往上由下保温筒、主保温桶和上保温筒三段构造固定组合安装;所述的加热器沿主保温桶的内壁固定布设;所述的热屛呈漏斗状,下沿口伸入到加热器中;所述的上保温筒高度小于等于加热器高度的所述的热屛下沿口伸入加热器的长度不大于自身高度的所述的热屛下沿口的内径不小于所拉制...
【专利技术属性】
技术研发人员:柯小龙,周小渊,陈志佳,
申请(专利权)人:宁夏中晶半导体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:宁夏,64
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