A single shaft furnace cooling device, driven by the crucible of crystal furnace in the lifting mechanism under the rise or fall and decline in the post on the machine frame, the gear motor drives the rotating shaft to make the rotating shaft drives the crucible rotation fixedly connected with the bottom of the crucible, the lower end of the shaft into the water jacket cooling device, the cooling water the cooling water jacket on the shaft, the cooling device also comprises a fixing rack mounted in order to prevent the occurrence of water jacket circumferential displacement limiting frame. The utility model has the advantages of good cooling effect, uneasy damage, guaranteed production efficiency and reduced production cost.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉转轴冷却装置
本技术涉及单晶硅棒生产制造时所用的单晶炉
,具体涉及一种单晶炉转轴冷却装置。
技术介绍
单晶炉是单晶硅棒拉制中的重要设备,设备的正常运转是保证单晶硅棒正常拉制的关键因素。在拉制硅单晶硅棒的过程中,单晶炉的转轴带动坩埚转动,转轴位于单晶炉高温炉台内部,因此需要对转轴进行冷却以保证转轴正常工作,并延长转轴的使用寿命。现有技术中对单晶炉转轴进行冷却的冷却装置结构复杂,冷却效果差,造成转轴经常损坏,严重影响生产。且现有技术中采用水套对转轴进行冷却降温时,水套在转轴的转动作用下容易发生周向位移,容易损坏水套,轻者造成冷却水泄露,重者会损坏单晶炉,影响生产。
技术实现思路
为解决对单晶炉转轴进行冷却的冷却装置的冷却效果差以及采用水套冷却时水套容易损坏的技术问题,本技术的目的是提供一种单晶炉转轴冷却装置,冷却效果好,且不易损坏,保证生产效率,降低生产成本。本技术所采用的技术方案是:一种单晶炉转轴冷却装置,该单晶炉的坩埚在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架上,坩埚的底部固定连接有通过减速电机带动旋转的转轴以使转轴带动坩埚旋转,转轴的下端伸入冷却装置的水套内,以使水套内的冷却水对转轴进行冷却降温,水套通过连接件与升降机构连接,进而实现水套与转轴同时上升或下降,在水套上设置有分别与水套贯通连接的循环进水管和循环出水管,且循环出水管位于循环进水管的正上方,所述冷却装置还包括固定安装在机架上的用以防止水套发生周向位移的限位架,限位架包括两个分别位于循环出水管两侧的竖向限位板,两个竖向限位板通过位于循环出水管上方的横向连接板a固定连接后形成限制循环出 ...
【技术保护点】
一种单晶炉转轴冷却装置,该单晶炉的坩埚(1)在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架(7)上,坩埚(1)的底部固定连接有通过减速电机(8)带动旋转的转轴(2)以使转轴(2)带动坩埚(1)旋转,其特征在于:转轴(2)的下端伸入冷却装置的水套(3)内,以使水套(3)内的冷却水对转轴(2)进行冷却降温,水套(3)通过连接件与升降机构连接,进而实现水套(3)与转轴(2)同时上升或下降,在水套(3)上设置有分别与水套(3)贯通连接的循环进水管(5)和循环出水管(6),且循环出水管(6)位于循环进水管(5)的正上方,所述冷却装置还包括固定安装在机架(7)上的用以防止水套(3)发生周向位移的限位架(4),限位架(4)包括两个分别位于循环出水管(6)两侧的竖向限位板(401),两个竖向限位板(401)通过位于循环出水管(6)上方的横向连接板a(402)固定连接后形成限制循环出水管(6)和循环进水管(5)周向移动的限位框,两个竖向限位板(401)中靠近减速电机(8)的竖向限位板(401)向上延伸并与承担减速电机(8)重量的横向连接板b(403)的一端垂直固定连接,横向连接板b(403)的另一端延伸 ...
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉转轴冷却装置,该单晶炉的坩埚(1)在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架(7)上,坩埚(1)的底部固定连接有通过减速电机(8)带动旋转的转轴(2)以使转轴(2)带动坩埚(1)旋转,其特征在于:转轴(2)的下端伸入冷却装置的水套(3)内,以使水套(3)内的冷却水对转轴(2)进行冷却降温,水套(3)通过连接件与升降机构连接,进而实现水套(3)与转轴(2)同时上升或下降,在水套(3)上设置有分别与水套(3)贯通连接的循环进水管(5)和循环出水管(6),且循环出水管(6)位于循环进水管(5)的正上方,所述冷却装置还包括固定安装在机架(7)上的用以防止水套(3)发生周向位移的限位架(4),限位架(4)包括两个分别位于循环出水管(6)两侧的竖向限位板(401),两个竖向限位板(401)通过位于循环出水管(6)上方...
【专利技术属性】
技术研发人员:王松涛,韩子萌,司鹏辉,彭套,
申请(专利权)人:麦斯克电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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