一种单晶炉室提升旋转机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉室提升旋转机构，包括三角支架、电动升降机、导柱、固定支座、滑动支座、滑动键、提拉锁板、提拉支座、张开导杆、张开旋转轴、张开推块、张开滑块、旋转气缸，所述三角支架的一端设置有上下两个滑动支座，所述滑动支座上设置有导柱，所述导柱的上下两端分别设置有固定支座，所述固定支座内设置有滚珠轴承，所述滑动支座内设置有滑动轴套，所述滑动键设置在滑动支座内，所述导柱的顶端处还设置有电动升降机，所述电动升降机通过滑动支座带动三角支架，沿着导柱在固定支座间上下直线运动。使用此炉室提升机构的单晶炉为加装磁场预留了空间，可以不进行改造方便加装磁场，避免了适用油缸进行升降时的单支点弯曲造成主炉室不水平升降的问题。

A single crystal furnace chamber lifting mechanism

The utility model provides a single crystal furnace lifting rotating mechanism, including triangular bracket, electric lift, guide rod, fixed bearing, sliding bearings, sliding key, pulling lock plate, bearing, pulling open the guide rod, a rotating shaft, open open open, pushing the slider, rotating cylinder, one end of the triangular bracket the set has two sliding bearing, the sliding bearing is arranged on the guide pillar, the pillar of the upper and lower ends are respectively provided with a fixed support, the fixed support is arranged in the ball bearing, the sliding bearing is arranged in the sliding sleeve, the sliding key is arranged on the sliding support. At the end of the guide column is equipped with electric hoist, the electric hoist drives the triangle bracket by sliding bearings along the guide pillar in the fixed support between the upper and lower linear motion. The monocrystalline furnace using the furnace chamber lifting mechanism has reserved space for magnetic field. It can be retrofitted without additional modification, avoiding the problem of uneven rise and fall of the main chamber caused by the single fulcrum bending when the cylinder is lifted.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉室提升旋转机构
本技术涉及一种单晶炉炉室提升机构，具体地涉及一种单晶炉炉室提升旋转机构。
技术介绍
硅晶体生长目前正朝着高纯度，高完整性，高均匀性和大直径方向发展，集成电路特别是极大规模集成电路(60-95nm)对晶体质量有严格的要求。材料中的有害杂质及其不均匀性以及掺杂剂分布的不均匀性是制约单晶质量的主要因素之一,它们会引起材料的光学、电学性能的不均匀性,最终损害半导体器件的光、电学性能。这就要求减少单晶材料的缺陷、杂质含量,提高氧、碳等杂质以及掺杂剂在晶体中分布的均匀性。在现有的技术文献中，例如专利号为：“201020250519.2”的专利提供了，一种勾型磁场单晶炉用炉室抓取提升旋转装置，包括竖直设立的油缸，油缸的活塞杆上安装有支臂，支臂能够转动到主炉室的上方，支臂包括对称的多根悬臂构成，每个悬臂的外端头设置有一个气缸和抓取摇臂，抓取摇臂的中部铰接在悬臂中，气缸与抓取摇臂的一端连接，抓取摇臂的另一端为勾爪。此种方式在使用时油缸升降存在单支点弯曲下垂的缺点，造成主炉室升降不水平，使用多个气缸和抓取摇臂存在抓紧力调整时不统一，不易调整。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的是提供一种单晶炉炉室提升旋转机构。本技术采用的技术方案是：一种单晶炉室提升旋转机构，包括三角支架、电动升降机、导柱、固定支座、滑动支座、滑动键、提拉锁板、提拉支座、张开导杆、开旋转轴、张开推块、张开滑块、旋转气缸，所述三角支架的一端设置有上下两个滑动支座，所述滑动支座上设置有导柱，所述导柱的上下两端分别设置有固定支座，所述固定支座内设置有滚珠轴承，所述滑动支座内设置有滑动轴套，所述滑动键设置在滑动支座内，所述电动升降机通过滑动支座带动三角支架，沿着导柱在固定支座间上下直线运动。；所述提拉锁板通过提拉支座安装在三角支架的三个角上，所述提拉锁板连接张开导杆的一端，所述张开导杆的另一端与张开滑块连接，张开推块设置在张开旋转轴和张开滑块之间，张开旋转轴另一端设置有旋转气缸。作为优选，所述提拉锁板与张开导杆之间、三角支架与提拉支座之间、张开旋转轴与张开推块之间、张开推块与张开滑块分别通过活动销钉连接。使用此炉室提升机构的单晶炉为加装磁场预留了空间，可以不进行改造方便加装磁场。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术图1中I处的放大示意图。其中，各个部件的标记及名称如下：三角支架1、电动升降机2、导柱3、固定支座4、滑动支座5、滑动键6、提拉锁板7、提拉支座8、张开导杆9、开旋转轴10、张开推块11、张开滑块12、旋转气缸13。具体实施方式下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本技术，在此本技术的示意性实施例以及说明用来解释本技术，但并不作为对本技术的限定。参照图1和图2，本技术公开了一种单晶炉室提升旋转机构，包括三角支架1、电动升降机2、导柱3、固定支座4、滑动支座5、滑动键6、提拉锁板7、提拉支座8、张开导杆9、开旋转轴10、张开推块11、张开滑块12、旋转气缸13，所述三角支架1的一端设置有上下两个滑动支座5，所述滑动支座5上设置有导柱3，所述导柱3的上下两端分别设置有固定支座4，所述固定支座4内设置有滚珠轴承，所述滑动支座5内设置有滑动轴套，所述滑动键6设置在滑动支座5内，所述导柱3的顶端处还设置有电动升降机2，所述电动升降机2带动滑动支座5沿导柱3在固定支座4间上下直线运动；所述提拉锁板7通过提拉支座8安装在三角支架1的三个角上，所述提拉锁板7连接张开导杆9的一端，所述张开导杆9的另一端与张开滑块12连接，张开推块11设置在张开旋转轴10和张开滑块12之间，张开旋转轴10另一端设置有旋转气缸13。所述提拉锁板7与张开导杆9之间、三角支架1与提拉支座8之间、张开旋转轴10与张开推块11之间、张开推块11与张开滑块12分别通过活动销钉连接。将三角支架1旋转至炉室提升位置，旋转气缸13逆时针旋转，带动张开旋转轴10旋转，推动张开推块11、张开滑块12、张开导杆9向外侧运动，推动提拉锁板7张开至合适位置，电动升降机2通电，下降三角支架1至炉室提升位置，旋转气缸13顺时针旋转，带动张开旋转轴10旋转，拉动张开推块11、张开滑块12、张开导杆9向内侧运动，拉动提拉锁板7闭合，此时提拉锁板7和炉室之间连接锁止。电动升降机2通电，上升三角支架1带动炉室至提升最高位置，手动旋开三角支架1，带动炉室旋开。滑动键6可以保证三角支架1在上升过程中保持直线运动。滑动支座5内设置的滑动轴套保证升降顺滑，固定支座4内设置的滚珠轴承保证旋开轻便。适用电动升降机2和导柱3两端设置固定支座4的升降结构，避免了使用油缸升降时的漏油和单支点弯曲下垂，造成主炉室升降不水平，通过调节旋转气缸13的旋转角度，就可以同时调节三个提拉锁板7的张开角度，一致性好，调节方便。使用此炉室提升机构的单晶炉为加装磁场预留了空间，可以不进行改造方便加装磁场。以上对本技术实施例所公开的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体实施例对本技术实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本技术实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉室提升旋转机构，其特征在于，包括三角支架(1)、电动升降机(2)、导柱(3)、固定支座(4)、滑动支座(5)、滑动键(6)、提拉锁板(7)、提拉支座(8)、张开导杆(9)、张开旋转轴(10)、张开推块(11)、张开滑块(12)、旋转气缸(13)，所述三角支架(1)的一端设置有上下两个滑动支座(5)，所述滑动支座(5)上设置有导柱(3)，所述导柱(3)的上下两端分别设置有固定支座(4)，所述固定支座(4)内设置有滚珠轴承，所述滑动支座(5)内设置有滑动轴套，所述滑动键(6)设置在滑动支座(5)内，所述导柱(3)的顶端处还设置有电动升降机(2)，所述电动升降机(2)带动滑动支座(5)沿导柱(3)在固定支座(4)间上下直线运动；所述提拉锁板(7)通过提拉支座(8)安装在三角支架(1)的三个角上，所述提拉锁板(7)连接张开导杆(9)的一端，所述张开导杆(9)的另一端与张开滑块(12)连接，张开推块(11)设置在张开旋转轴(10)和张开滑块(12)之间，张开旋转轴(10)另一端设置有旋转气缸(13)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉室提升旋转机构，其特征在于，包括三角支架(1)、电动升降机(2)、导柱(3)、固定支座(4)、滑动支座(5)、滑动键(6)、提拉锁板(7)、提拉支座(8)、张开导杆(9)、张开旋转轴(10)、张开推块(11)、张开滑块(12)、旋转气缸(13)，所述三角支架(1)的一端设置有上下两个滑动支座(5)，所述滑动支座(5)上设置有导柱(3)，所述导柱(3)的上下两端分别设置有固定支座(4)，所述固定支座(4)内设置有滚珠轴承，所述滑动支座(5)内设置有滑动轴套，所述滑动键(6)设置在滑动支座(5)内，所述导柱(3)的顶端处还设置有电动升降机(2)，所述电动升降...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘统青，时刚，武海军，
申请(专利权)人：西安创联新能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61