一种碳化硅加工冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅加工冷却装置，包括第一电极板、第二电极板和加热炉，所述第一电极板和第二电极板的外侧设有安装板，所述安装板通过螺钉安装于加热炉的内部，所述加热炉的内部通过十字隔热板设有腔体，所述腔体的内部设有第一冷却水管，所述加热炉的侧壁内部设有第二冷却水管，所述加热炉的下部设有第一进水口，所述加热炉的上部设有第一出水口，本实用新型专利技术冷却水进入第二冷却水管，第二冷却水管内部冷却水将对加热炉整体进行降温，然后再通过第一冷却水管的冷却水，对腔体进行降温，单一对腔体的内部温度不受其他对腔体的影响，待温场稳定后，下籽晶，避免温场分布不均使碳化硅单晶粘锅，提高晶体的合格率，降低生产成本。

A silicon carbide processing cooling device

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅加工冷却装置
本技术涉及冷却装置
，具体为一种碳化硅加工冷却装置。
技术介绍
目前传统的碳化硅单晶生长炉炉体内的冷却循环水系统都是一套整体的冷却循环系统，即整个炉体下端设置一个进水口，上端设置一个出水口。这样在碳化硅单晶生长的过程中炉体内各个方向的温场不易控制，导致温场分布不均匀，可能某个方向的温度低，而其他的方向温度相对适中，这样就特别容易出现碳化硅单晶粘锅的现象，从而使生长的碳化硅单晶内部存在大量的气泡，甚至会引起晶体的开裂，致使晶体的合格率降低，成本大幅增加，为此，我们推出一种碳化硅加工冷却装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅加工冷却装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅加工冷却装置，包括对称设置的半圆形第一电极板、第二电极板和两电极外周的加热炉，其特征在于：所述第一电极板和第二电极板的连接于竖直设置的钨加热棒上端，所述钨加热棒的下端插接有钨环，所述第一电极板和第二电极板的外侧设有安装板，所述安装板的表面设有安装孔，所述安装板通过螺钉安装于加热炉的内部，所述加热炉的上端设有上盖，所述加热炉的内部通过十字隔热分割为四个腔体，所述腔体的内部设有第一冷却水管，所述加热炉的侧壁内部周向设有第二冷却水管，所述加热炉的下部、上部分别设有连通第一冷却水管的第一进水口、第一出水口，所述加热炉的右侧下部、左侧上部分别设有连通第二冷却水管的、第二进水口、第二出水口。优选的，所述钨加热棒为等距对称设置。优选的，所述安装孔为对称设置，所述螺钉螺接于安装孔的内部。优选的，所述上盖与加热炉接触处设有密封垫。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术冷却水进入第二冷却水管，第二冷却水管内部冷却水将对加热炉整体进行降温，然后再通过第一冷却水管的冷却水，对腔体进行降温，单一对腔体的内部温度不受其他对腔体的影响，待温场稳定后，下籽晶，控制晶体的生长，这样就避免了温场分布不均匀出现的碳化硅单晶粘锅现象，从而生长出高质量的碳化硅单晶，提高了晶体的合格率，降低了生产成本。附图说明图1为本技术俯视结构示意图；图2为本技术内部结构示意图；图3为本技术正视结构示意图。图中：1安装板、2安装孔、3第一电极板、4第二电极板、5钨加热棒、6第二冷却水管、7十字隔热板、8加热炉、9第一冷却水管、10螺钉、11钨环、12第二进水口、13第二出水口、14上盖、15第一进水口、16第一出水口、17腔体。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种碳化硅加工冷却装置，包括对称设置的半圆形第一电极板3、第二电极板4和两电极外周的加热炉8，所述第一电极板3和第二电极板4连接于竖直设置的钨加热棒5上端，所述钨加热棒5的下端插接有钨环11，所述第一电极板3和第二电极板4的的外侧设有安装板1，所述安装板1的表面设有安装孔2，所述安装板1通过螺钉10安装于加热炉8的内部，所述加热炉8的上端设有上盖14，所述加热炉8的内部通过十字隔热板7分割为四个腔体17，所述腔体17的内部设有第一冷却水管9，所述加热炉8的侧壁内部周向设有第二冷却水管6，所述加热炉8的下部设有第一进水口15，所述加热炉8的上部设有第一出水口16，所述加热炉8的右侧下部设有第二进水口12，所述加热炉8的左侧上部设有第二出水口13。进一步的，所述钨加热棒5为等距对称设置，通过钨加热棒5的等距对称设置，使得钨加热棒5密集分布，高密集度的分布保证热场均匀，并实现精确控制，数量越多电阻越小，相同工作电压情况下，电热转换效率越高。进一步的，所述安装孔2为对称设置，所述螺钉10螺接于安装孔2的内部，通过安装孔2的对称设置，使得安装板1固定牢固。进一步的，所述第一进水口15和第一出水口16通过第一冷却水管9相连，冷却水由第一进水口15进入第一冷却水管9，通过第一冷却水管9内部冷却水对腔体17进行降温，然后冷却水经由第一出水口16排出。进一步的，所述第二进水口12和第二出水口13通过第二冷却水管6相连，冷却水由第二进水口12进入第二冷却水管6，第二冷却水管6内部冷却水将对加热炉8整体进行降温，然后冷却水经由第二出水口13排出。进一步的，所述上盖14与加热炉8接触处设有密封垫，通过密封垫的设置，提高上盖14对加热炉8的密封性。具体的，使用时，冷却水由第二进水口12进入第二冷却水管6，第二冷却水管6内部冷却水将对加热炉8整体进行降温，然后冷却水经由第二出水口13排出，再通过冷却水由第一进水口15进入第一冷却水管9，通过第一冷却水管9内部冷却水对腔体17进行降温，然后冷却水经由第一出水口16排出，单一对腔体17的内部温度不受其他对腔体17的影响，待温场稳定后，下籽晶，控制晶体的生长，这样就避免了温场分布不均匀出现的碳化硅单晶粘锅现象，从而生长出高质量的碳化硅单晶，提高了晶体的合格率，降低了生产成本。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碳化硅加工冷却装置，包括对称设置的半圆形第一电极板(3)、第二电极板(4)和两电极外周的加热炉(8)，其特征在于：所述第一电极板(3)和第二电极板(4)的连接于竖直设置的钨加热棒(5)上端，所述钨加热棒(5)的下端插接有钨环(11)，所述第一电极板(3)和第二电极板(4)的外侧设有安装板(1)，所述安装板(1)的表面设有安装孔(2)，所述安装板(1)通过螺钉(10)安装于加热炉(8)的内部，所述加热炉(8)的上端设有上盖(14)，所述加热炉(8)的内部通过十字隔热板(7)分割为四个腔体(17)，所述腔体(17)的内部设有第一冷却水管(9)，所述加热炉(8)的侧壁内部周向设有第二冷却水管(6)，所述加热炉(8)的下部、上部分别设有连通第一冷却水管(9)的第一进水口(15)、第一出水口(16),所述加热炉(8)的右侧下部、左侧上部分别设有连通第二冷却水管(6)的、第二进水口(12)、第二出水口(13)。

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅加工冷却装置，包括对称设置的半圆形第一电极板(3)、第二电极板(4)和两电极外周的加热炉(8)，其特征在于：所述第一电极板(3)和第二电极板(4)的连接于竖直设置的钨加热棒(5)上端，所述钨加热棒(5)的下端插接有钨环(11)，所述第一电极板(3)和第二电极板(4)的外侧设有安装板(1)，所述安装板(1)的表面设有安装孔(2)，所述安装板(1)通过螺钉(10)安装于加热炉(8)的内部，所述加热炉(8)的上端设有上盖(14)，所述加热炉(8)的内部通过十字隔热板(7)分割为四个腔体(17)，所述腔体(17)的内部设有第一冷却水管(9)，所述加热炉(8)的侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗艳民，侯文海，王含冠，
申请(专利权)人：山东天岳先进材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37