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本实用新型公开了一种碳化硅加工冷却装置，包括第一电极板、第二电极板和加热炉，所述第一电极板和第二电极板的外侧设有安装板，所述安装板通过螺钉安装于加热炉的内部，所述加热炉的内部通过十字隔热板设有腔体，所述腔体的内部设有第一冷却水管，所述加热炉...
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