【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅加工漏炉报警装置
本技术涉及报警设备
,具体为一种碳化硅加工漏炉报警装置。
技术介绍
当前,碳化硅晶体生长炉普遍采用双层水冷外壳作为炉壳,内加装隔热屏,隔热屏内放置发热体和钨坩埚,因工作温度高,可达1500-2200摄氏度,普通的材料难以承受这么高的温度,故普遍采用钨钼材料作为晶体生长炉的热场材料,在晶体生长炉内,钨坩埚是盛装原料的容器,普遍采用粉末冶金压制成型,通过烧结达到使用的条件的。虽说此种工艺加工的坩埚性能可靠,但也有一定的使用寿命,并且在晶体生长炉的使用过程中,会有人为的因素导致钨坩埚损坏,甚至开裂,熔融态的氧化铝的泄露甚至会引起烧穿晶体生长炉外壳,接触液态的水后发生爆炸事故,而目前晶体生长炉无论是俄罗斯的炉型还是美国的炉型均缺少必要的漏炉报警装置。传统的真空设备漏炉报警装置有两种较为常用:熔断报警和短路报警。对于碳化硅晶体生长炉来说,氧化铝的温度远远低于坩埚周围热场的温度,熔断报警并不实用;而氧化铝导电性能差,并且受炉内挥发物的影响,短路报警也不是理想的选择。故使用传统的报警方式并不能保证碳化硅晶体生长的安全防护。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅加工漏炉报警装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种碳化硅加工漏炉报警装置,包括底座,所述底座的上侧面两端通过竖直的支撑柱连接有用于支撑漏斗箱的支撑架,所述漏斗箱的内侧安装有网状钨坩埚安装座,所述漏斗箱的底部连通有排料管,所述支撑柱的外侧壁安装有微型鼓风机,所述微型鼓风机通过风管连通于排料管的外侧上部,所述底座的上侧面通过减震装置连接有料桶 ...
【技术保护点】
一种碳化硅加工漏炉报警装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上侧面两端通过竖直的支撑柱(2)连接有用于支撑漏斗箱(4)的支撑架(3),所述漏斗箱(4)的内侧安装有网状钨坩埚安装座(5),所述漏斗箱(4)的底部连通有排料管(6),所述支撑柱(2)的外侧壁安装有微型鼓风机(7),所述微型鼓风机(7)通过风管(8)连通于排料管(6)的外侧上部,所述底座(1)的上侧面通过减震装置(9)连接有料桶(10),所述料桶(10)的内侧壁通过安装架(11)安装有倾斜板(13),所述倾斜板(13)位于排料管(6)底部管口的正下方,所述倾斜板(13)与安装架(11)的连接处设有压力传感器(12),所述料桶(10)的外侧壁分别安装有控制器(15)和蜂鸣器(16),所述压力传感器(12)和蜂鸣器(16)分别与控制器(15)电性连接。
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅加工漏炉报警装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上侧面两端通过竖直的支撑柱(2)连接有用于支撑漏斗箱(4)的支撑架(3),所述漏斗箱(4)的内侧安装有网状钨坩埚安装座(5),所述漏斗箱(4)的底部连通有排料管(6),所述支撑柱(2)的外侧壁安装有微型鼓风机(7),所述微型鼓风机(7)通过风管(8)连通于排料管(6)的外侧上部,所述底座(1)的上侧面通过减震装置(9)连接有料桶(10),所述料桶(10)的内侧壁通过安装架(11)安装有倾斜板(13),所述倾斜板(13)位于排料管(6)底部管口的正下方,所述倾斜板(13)与安装架(11)的连接处设有压力传感器(12),所述料桶(10)的外侧壁分别安装有控制器(15)和蜂鸣器(16),所述压力传感器(12)和蜂鸣器(16)分别与控制器(15)电性连接。2.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:宗艳民,窦文涛,柏文文,
申请(专利权)人:山东天岳先进材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
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