曝光数据修正装置、布线图案形成系统及布线基板的制造方法制造方法及图纸

在使由下底数据的手动测量带来的工作量减少的同时，抑制曝光数据修正量的误差，使电路宽度精度提高。一种曝光数据修正装置，取得基于从第1实际图案的上底得到的数据的第1上底数据，上述第1实际图案通过使用基于设计数据的曝光数据的电路加工得到；取得基于从第1实际图案的下底得到的数据的下底数据；决定第1上底数据与下底数据的相关关系；取得第2上底数据，上述第2上底数据基于从包括与第1实际图案不同的区域在内的区域中的上底得到的数据、或从与第1实际图案不同的第2实际图案的上底得到的数据；基于为了得到第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据、第2上底数据及相关关系，决定修正函数；将为了得到第2上底数据而使用的实际图案所用的曝光数据基于修正函数进行修正。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】曝光数据修正装置、布线图案形成系统及布线基板的制造方法
本专利技术涉及曝光数据修正装置、布线图案形成系统及布线基板的制造方法，特别涉及用于在电子设备等中使用的布线基板的制造的曝光数据修正装置、布线图案形成系统及布线基板的制造方法。
技术介绍
随着电子设备的高性能化、小型化的趋势，对于在电子设备中使用的布线基板也要求由布线图案的细线化带来的高密度化。作为用来应对这样的由布线图案的细线化带来的高密度化的布线图案形成方法，考虑了将对感光性抗蚀剂激光或UV-LED光等直接照射曝光图案的直接描绘式的曝光装置(DI)、与将通过蚀刻等实际形成的实际图案用反射光读取而进行与原数据(设计数据)的比较的光学式检查装置(AOI)组合，将蚀刻后的实际的成品的数据取入到光学式外观检查装置(AOI)中、并反馈给曝光装置(DI)的方法(专利文献1～3)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-116929号公报专利文献2：日本特开2006-303229号公报专利文献3：日本特开2007-033764号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题如图17所示，实际图案具有有上底(顶部)和下底(底部)的凸状的形状，成品值、例如布线图案(以下有时简称为“图案”)的电路宽度在顶部宽度1702和底部宽度1704不同。在布线图案的高密度化时，减小设计值与底部宽度的误差是很重要的。如果使用光学式外观检查装置(AOI)，能够比较容易地进行成品值测量，但由AOI测量的成品值是顶部宽度，不能得到底部宽度的数据。因此，即使使用AOI的测量值反馈给DI而进行曝光数据的修正，也会有因顶部宽度与底部宽度的差造成的误差的问题。虽然可以通过使用显微镜来测量底部宽度，但由于需要以手动进行，所以需要庞大的测量时间。在为了减轻测量负担而减少测量部位进行测量的情况下，由于不能取得充分的样本，所以有不能进行正确的反馈的问题。本专利技术的目的在于，提供一种曝光数据修正装置、布线图案形成系统及布线基板的制造方法，能够在减少由下底(底部)数据的手动测量带来的工作量的同时，抑制曝光数据修正量的误差，提高微细电路形成时的电路宽度精度。用来解决课题的技术手段本专利技术是鉴于上述课题而做出的，具有以下这样的特征。即，本专利技术的一技术方案的曝光数据修正装置，取得第1上底数据，该第1上底数据基于从具有上底及下底的凸状的第1实际图案的至少一部分的区域中的上底得到的数据，上述第1实际图案是通过使用基于作为目标的布线图案所用的设计数据的曝光数据进行电路加工而得到的；取得基于从上述第1实际图案的至少一部分的区域中的下底得到的数据的下底数据；决定上述第1上底数据与上述下底数据的相关关系；取得第2上底数据，上述第2上底数据基于从包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底得到的数据、或从与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底得到的数据；基于为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据、上述第2上底数据及上述相关关系，决定修正函数，上述修正函数表示引起在设计数据中决定的成品值与实际图案中的成品值之间的差分的因子、与用来抑制该差分的修正量的关系；基于上述修正函数，对为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的曝光数据进行修正。本专利技术也可以是，上述第1上底数据包括修正量数据，上述修正量数据基于在上述第1实际图案的至少一部分的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；上述下底数据包括修正量数据，上述修正量数据基于在上述第1实际图案的至少一部分的区域中的下底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；上述第2上底数据包括修正量数据，上述修正量数据基于在包含与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分，或者基于在与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第2实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；决定上述相关关系包括：基于上述第1上底数据中的修正量数据，决定第1临时修正函数；基于上述下底数据中的修正量数据，决定第2临时修正函数；基于从上述第1临时修正函数得到的修正量和对应于该修正量的从第2临时修正函数得到的修正量的差分，制作修正量差分函数；决定上述修正函数包括：基于为了取得上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据及上述第2上底数据，决定第3临时修正函数；基于上述修正量差分函数对上述第3临时修正函数进行修正，决定修正函数。此外，也可以是，上述第1上底数据包括在上述第1实际图案的上底的至少一部分的区域中测量出的成品值；上述下底数据包括在上述第1实际图案的下底的至少一部分的区域中测量出的成品值；上述第2上底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分，或者基于在与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第2实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；决定上述相关关系包括：决定第1成品值函数，上述第1成品值函数表示引起在设计数据中决定的成品值与实际图案中的成品值之间的差分的因子、与上述第1上底数据中的成品值的关系；决定第2成品值函数，上述第2成品值函数表示引起在设计数据中决定的成品值与实际图案中的成品值之间的差分的因子、与上述下底数据中的成品值的关系；决定基于上述第1成品值函数与第2成品值函数的差分的成品值差分函数；决定上述修正函数包括：基于为了取得上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据及上述第2上底数据，决定临时修正函数；基于上述成品值差分函数对上述临时修正函数进行修正，决定修正函数。进而，也可以是，上述第1上底数据包括修正量数据，上述修正量数据基于在上述第1实际图案的至少一部分的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；上述下底数据包括修正量数据，上述修正量数据基于在上述第1实际图案的至少一部分的区域中的下底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；上述第2上底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分，或者基于在与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第2实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；决定上述相关关系包括：决定在上述第1上底数据中的修正量数据中示出的修正量、与对应于该修正量的在上述下底数据中的修正量数据中示出的修正量的修正量相关函数；决定上述修正函数包括：基于为了取得上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据及上述第2上底数据，决定临时修正函数；基于上述修正量相关函数对上述临时修正函数进行修正，决定修正函数。进而，也可以是，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光数据修正装置，对用来制作布线图案的曝光数据进行修正，取得第1上底数据，该第1上底数据基于从具有上底及下底的凸状的第1实际图案的至少一部分的区域中的上底得到的数据，上述第1实际图案是通过使用基于作为目标的布线图案所用的设计数据的曝光数据进行电路加工而得到的；取得基于从上述第1实际图案的至少一部分的区域中的下底得到的数据的下底数据；决定上述第1上底数据与上述下底数据的相关关系；取得第2上底数据，上述第2上底数据基于从包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底得到的数据、或从与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底得到的数据；基于为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据、上述第2上底数据及上述相关关系，决定修正函数，上述修正函数表示引起在设计数据中决定的成品值与实际图案中的成品值之间的差分的因子、与用来抑制该差分的修正量的关系；基于上述修正函数，对为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的曝光数据进行修正。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.17 JP 2015-1430801.一种曝光数据修正装置，对用来制作布线图案的曝光数据进行修正，取得第1上底数据，该第1上底数据基于从具有上底及下底的凸状的第1实际图案的至少一部分的区域中的上底得到的数据，上述第1实际图案是通过使用基于作为目标的布线图案所用的设计数据的曝光数据进行电路加工而得到的；取得基于从上述第1实际图案的至少一部分的区域中的下底得到的数据的下底数据；决定上述第1上底数据与上述下底数据的相关关系；取得第2上底数据，上述第2上底数据基于从包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底得到的数据、或从与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底得到的数据；基于为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据、上述第2上底数据及上述相关关系，决定修正函数，上述修正函数表示引起在设计数据中决定的成品值与实际图案中的成品值之间的差分的因子、与用来抑制该差分的修正量的关系；基于上述修正函数，对为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的曝光数据进行修正。2.如权利要求1上述的曝光数据修正装置，上述第1上底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在上述第1实际图案的至少一部分的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；上述下底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在上述第1实际图案的至少一部分的区域中的下底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；上述第2上底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在包含与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分，或者基于在与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第2实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；决定上述相关关系包括：基于上述第1上底数据中的修正量数据，决定第1临时修正函数；基于上述下底数据中的修正量数据，决定第2临时修正函数；基于从上述第1临时修正函数得到的修正量和对应于该修正量的从第2临时修正函数得到的修正量的差分，制作修正量差分函数；决定上述修正函数包括：基于为了取得上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据及上述第2上底数据，决定第3临时修正函数；基于上述修正量差分函数对上述第3临时修正函数进行修正，决定修正函数。3.如权利要求1上述的曝光数据修正装置，上述第1上底数据包括在上述第1实际图案的上底的至少一部分的区域中测量出的成品值；上述下底数据包括在上述第1实际图案的下底的至少一部分的区域中测量出的成品值；上述第2上底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分，或者基于在与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第2实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；决定上述相关关系包括：决定第1成品值函数，上述第1成品值函数表示引起在设计数据中决定的成品值与实际图案中的成品值之间的差分的因子、与上述第1上底数据中的成品值的关系；决定第2成品值函数，上述第2成品值函数表示引起在设计数据中决定的成品值与实际图案中的成品值之间的差分的因子、与上述下底数据中的成品值的关系；决定基于上述第1成品值函数与第2成品值函数的差分的成品值差分函数；决定上述修正函数包括：基于为了取得上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据及上述第2上底数据，决定临时修正函数；基于上述成品值差分函数对上述临时修正函数进行修正，决定修正函数。4.如权利要求1上述的曝光数据修正装置，上述第1上底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在上述第1实际图案的至少一部分的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；上述下底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在上述第1实际图案的至少一部分的区域中的下底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；上述第2上底数据包括修正量数据，该修正量数据基于在包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第1实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分，或者基于在与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底测量出的成品值、与对应于该成品值的在上述第2实际图案所用的设计数据中决定的成品值的差分；决定上述相关关系包括：决定在上述第1上底数据中的修正量数据中示出的修正量、与对应于该修正量的在上述下底数据中的修正量数据中示出的修正量的修正量相关函数；决定上述修正函数包括：基于为了取得上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据及上述第2上底数据，决定临时修正函数；基于上述修正量相关函数对上述临时修正函数进行修正，决定修正函数。5.如权利要求1上述的曝光数据修正装置，上述第1上底数据包括在上述第1实际图案的上底的至少一部分的区域中测量出的成品值；上述下底数据包括在上述第1实际图案的下底的至少一部分的区域中测量出的成品值；上述第2上底数据包括在包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底测量出的成品值、或在与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底测量出的成品值；决定上述相关关系包括：决定在上述第1上底数据中测量出的成品值与在下底数据中测量出的成品值的成品值相关函数；决定上述修正函数包括：基于所决定的上述成品值相关函数，基于上述第2上底数据中的成品值，计算对应于该成品值的下底中的成品值的推测值；基于在为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据中决定的成品值、与对应于该成品值的上述推测出的下底中的成品值的差分，决定修正函数。6.如权利要求1～5中任一项上述的曝光数据修正装置，上述第1及第2上底数据中包含的成品值基于由光学式外观检查装置得到的数据，上述下底数据基于由显微镜得到的数据。7.如权利要求1～6中任一项上述的曝光数据修正装置，上述修正函数是按照配置有布线图案的同一基板面的每个区域决定的。8.如权利要求1～7中任一项上述的曝光数据修正装置，上述修正函数是按照配置有布线图案的同一基板的每个上表面及下表面决定的。9.如权利要求1～8中任一项上述的曝光数据修正装置，上述修正函数是对于布线图案中的纵线及横线分别决定的。10.一种布线图案形成系统，具备：曝光数据制作机构，制作基于作为目标的布线图案的设计数据的曝光数据；图案曝光机构，基于曝光数据，在配置于基板上的感光性抗蚀剂上曝光出曝光图案；显影图案形成机构，将已曝光出上述曝光图案的感光性抗蚀剂显影，形成显影图案；实际图案形成机构，对形成了上述显影图案的基板进行电路加工，形成实际图案；上底数据制作机构，制作基于从上述实际图案的至少一部分的区域中的上底得到的数据的上底数据；下底数据制作机构，制作基于从上述实际图案的至少一部分的区域中的下底得到的数据的下底数据；权利要求1～9中任一项上述的曝光数据修正装置，基于上述上底数据、下底数据及设计数据，对曝光数据进行修正。11.一种程序，用于对曝光数据进行修正，该曝光数据用来制作布线图案，该程序使计算机执行如下的工序：取得第1上底数据，该第1上底数据基于从具有上底及下底的凸状的第1实际图案的至少一部分的区域中的上底得到的数据，上述第1实际图案是通过使用基于作为目标的布线图案所用的设计数据的曝光数据进行电路加工而得到的；取得基于从上述第1实际图案的至少一部分的区域中的下底得到的数据的下底数据；决定上述第1上底数据与上述下底数据的相关关系；取得第2上底数据，上述第2上底数据基于从包括与上述第1实际图案的至少一部分的区域不同的区域在内的区域中的上底得到的数据、或从与上述第1实际图案不同的第2实际图案的上底得到的数据；基于为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的设计数据、上述第2上底数据及上述相关关系，决定修正函数，上述修正函数表示引起在设计数据中决定的成品值与实际图案中的成品值之间的差分的因子、与用来抑制该差分的修正量的关系；基于上述修正函数，对为了得到上述第2上底数据而使用的实际图案所用的曝光数据进行修正。12.一种用于对曝光数据进行修正的方法，该曝光数据用来制作布线图案，包括如下的工序：取得第1上底数据，该第1上底数据基于从具有上底及下底的凸状的第1实际图案的至少一部分的区域中的上底得到的数据，上述第1实际图案是通过使用基于...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本哲平，中山肇，荻野晴夫，矶田聪，前田晃，山田亮，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP