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在使由下底数据的手动测量带来的工作量减少的同时，抑制曝光数据修正量的误差，使电路宽度精度提高。一种曝光数据修正装置，取得基于从第1实际图案的上底得到的数据的第1上底数据，上述第1实际图案通过使用基于设计数据的曝光数据的电路加工得到；取得基于...该专利属于日立化成株式会社;株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过日立化成株式会社;株式会社斯库林集团授权不得商用。
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在使由下底数据的手动测量带来的工作量减少的同时，抑制曝光数据修正量的误差，使电路宽度精度提高。一种曝光数据修正装置，取得基于从第1实际图案的上底得到的数据的第1上底数据，上述第1实际图案通过使用基于设计数据的曝光数据的电路加工得到；取得基于...