刀片探针制造技术

本实用新型专利技术公开了一种刀片探针，包括：探针固定件、探针和信号线，探针与探针固定件连接，探针上设置有屏蔽层，信号线的一端与探针连接，信号线的另一端用于测试时与测试机连接。上述刀片探针的探针上设置屏蔽层，并且测试时探针通过信号线直接与测试机连接，实现信号通道屏蔽，有效避免了信号传输受到干扰，大大提高了测试准确性。

Blade probe

The utility model discloses a blade probe, which comprises a probe fixing part, a probe and a signal line. The probe is connected with the fixing part of the probe, and the probe is provided with a shielding layer. One end of the signal line is connected with the probe, and the other end of the signal line is used to connect with the tester when testing. The shielding probe is installed on the probe of the above-mentioned blade. When testing, the probe is connected directly to the tester through signal line, and the signal channel is shielded, which effectively avoids the interference of signal transmission, and greatly improves the accuracy of the test.

【技术实现步骤摘要】
刀片探针
本技术涉及芯片测试领域，尤其涉及一种刀片探针。
技术介绍
刀片探针广泛应用于晶圆测试及芯片检测领域，用以筛选出不良品以避免不良品继续加工造成浪费。传统刀片探针包括刀型探针、金属刀架和印刷线路板，金属刀架分别与刀型探针和印刷线路板焊接连接，测试时调整好刀型探针的针尖位置即可进行测试，测试操作简单方便。然而，在实现本技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：采用传统刀片探针测试时，刀型探针检测到的信号经金属刀架传输至印刷线路板，信号通道全部裸露在外，使得信号传输容易受到干扰，测试频率越高，信号干扰越大，严重影响测试准确性。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种刀片探针，以克服传统刀片探针存在的信号干扰大、测试结果不准确的技术问题。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种刀片探针，包括：探针固定件、探针和信号线，探针与探针固定件连接，探针上设置有屏蔽层，信号线的一端与探针连接，信号线的另一端用于测试时与测试机连接。其中，屏蔽层包括绝缘层和金属层，绝缘层包覆在探针外侧，金属层设置在绝缘层外侧。其中，绝缘层采用聚乙烯、聚丙烯或聚甲醛制成。其中，绝缘层的厚度为0.02mm-0.5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种刀片探针，其特征在于，包括：探针固定件、探针和信号线，所述探针与所述探针固定件连接，所述探针上设置有屏蔽层，所述信号线的一端与所述探针连接，所述信号线的另一端用于测试时与测试机连接。

【技术特征摘要】
1.一种刀片探针，其特征在于，包括：探针固定件、探针和信号线，所述探针与所述探针固定件连接，所述探针上设置有屏蔽层，所述信号线的一端与所述探针连接，所述信号线的另一端用于测试时与测试机连接。2.根据权利要求1所述的刀片探针，其特征在于，所述屏蔽层包括绝缘层和金属层，所述绝缘层包覆在所述探针外侧，所述金属层设置在所述绝缘层外侧。3.根据权利要求2所述的刀片探针，其特征在于，所述绝缘层采用聚乙烯、聚丙烯或聚甲醛制成。4.根据权利要求2或3所述的刀片探针，其特征在于，所述绝缘层的厚度为0.02mm-0.5mm。5.根据权利要求2所述的刀片探针，其特征在于，所述金属层采用不锈钢或铜制成。6.根据权利要求2或5所述的刀片探针，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王懿，安奎，
申请(专利权)人：上海依然半导体测试有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31