The utility model discloses a waste treatment device for target, including lifting plate driving, a groove is arranged below the target processing operation, the target treatment tank comprises a chemical solvent tank and water tank placed 30% sodium hydroxide solution, the water tank is arranged on the ultrasonic oscillator can be liquid in tank shock. The notch groove is provided with a high-pressure water jet gun. Reverse membrane by chemical reaction will be processed into granular material, and then remove it through the ultrasonic oscillator, then through high pressure jet gun to remove the surface of liquid, the whole process has the advantages of convenient operation, avoid artificial blade scraping and grinding time-consuming, improve the processing efficiency of target waste, and the cleaning effect is good.
【技术实现步骤摘要】
靶材废料处理装置
本技术涉及一种靶材废料处理装置。
技术介绍
靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光设备中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的溅射效应。铜制背板和铝制靶材制作而成的靶材组合,其在使用完成后会在其喷砂区域粘有大量逆向膜,造成研磨处理困难。目前在处理逆向膜时采用刀片刮除和砂轮打磨方式,由于刀尖和砂轮均为较窄工具,在来回打磨时易有残留逆向膜,未能全部去除或去除效果不佳。
技术实现思路
为克服上述缺点,本技术的目的在于提供一种靶材废料处理装置,能够有效去除靶材组合上的大量逆向膜。为了达到以上目的,本技术采用的技术方案是:一种靶材废料处理装置,包括用于吊装托板的行车,位于行车的下方设置有靶材处理槽,所述靶材处理槽包括放置30%氢氧化钠溶液的化学溶剂槽和清水槽,所述清水槽上设置有能将槽体内液体震荡的超声波振荡器,所述清水槽的槽口处设置有高压喷气枪。本技术通过化学反应将待处理靶材的逆向膜变成颗粒状,然后通过超声波振荡器将其清除,再通过高压喷气枪去除表面的液体,整个过程操作方便,避免人工刀片刮除和砂轮打磨费时费力,提高了靶材废料的处理效率,且其清除效果好。优选地,所述靶材为铝-铜合金靶材。铝-铜合金中的铜不会与30%氢氧化钠溶液反应,从而有效降解靶材外部的逆向膜。优选地,为了更好的将处理好的靶材表面液体清楚,保持靶材表面的洁净度,所述高压喷气枪交错分布在清水槽的槽口的两侧。优选地,所述托板包括长方形结构的基板,所述基板的中部设置有放置靶材的放置槽,所述放置槽边缘设置有将靶材固定的夹持部,所述基板的四角处设置有吊 ...
【技术保护点】
一种靶材废料处理装置,其特征在于:包括用于吊装托板(5)的行车(4),位于行车(4)的下方设置有靶材处理槽(1),所述靶材处理槽(1)包括放置30%氢氧化钠溶液的化学溶剂槽(12)和清水槽(11),所述清水槽(11)上设置有能将槽体内液体震荡的超声波振荡器(2),所述清水槽(11)的槽口处设置有高压喷气枪(3)。
【技术特征摘要】
1.一种靶材废料处理装置,其特征在于:包括用于吊装托板(5)的行车(4),位于行车(4)的下方设置有靶材处理槽(1),所述靶材处理槽(1)包括放置30%氢氧化钠溶液的化学溶剂槽(12)和清水槽(11),所述清水槽(11)上设置有能将槽体内液体震荡的超声波振荡器(2),所述清水槽(11)的槽口处设置有高压喷气枪(3)。2.根据权利要求1所述的靶材废料处理装置,其特征在于:所述靶材为铝-铜合金靶材。3.根据权利要求1所述的靶材废料处理装置,其特征在于:所述高压喷气枪(3)交错分布在清水槽(11)的槽口的两侧。4.根据权利要求1所述的靶材废料...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁静仁,常艳超,臧卫祥,程小明,王冬振,徐东起,
申请(专利权)人:爱发科电子材料苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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