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本实用新型公开了一种靶材废料处理装置，包括用于吊装托板的行车，位于行车的下方设置有靶材处理槽，所述靶材处理槽包括放置30％氢氧化钠溶液的化学溶剂槽和清水槽，所述清水槽上设置有能将槽体内液体震荡的超声波振荡器，所述清水槽的槽口处设置有高压喷气...
该专利属于爱发科电子材料（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱发科电子材料（苏州）有限公司授权不得商用。

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