The invention relates to the auxiliary equipment of the Czochralski single crystal furnace growth equipment, which aims to provide a quick feed mechanism for the single crystal furnace. For the single crystal furnace fast feeding mechanism comprises a heating power supply, lifting device and auxiliary heater; lifting device comprises an electric driving device, manual knob and a lifting rod, the auxiliary heater is installed on a lifting rod lifting device, and connected by the connecting cable and the furnace heating power outside, to achieve a polycrystalline quartz crucible the material of auxiliary melting. By setting an auxiliary heater on the upper part of the quartz crucible, the invention can effectively reduce the time of chemical material in the crystal growth process, thereby greatly reducing the whole crystal growth cycle, and achieving the purpose of increasing production and decreasing the cost.
【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉的快捷化料机构
本专利技术是关于直拉硅单晶炉生长设备的辅助设备领域,特别涉及一种用于单晶炉的快捷化料机构。
技术介绍
单晶炉是将多晶硅转化成单晶硅工艺过程中不可缺少的设备,而单晶硅作为现代信息社会的主要支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,同时它也是发展计算机与集成电路、光伏发电与太阳能利用的主要功能材料。单晶炉的生长工艺流程主要为抽真空、检漏、压力化、熔料、稳定、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉,其中化料过程主要是由加热电源给主加热器和底部加热器一定的功率,通过石墨加热器发热来对石英坩埚内的多晶料进行熔化,最终使得所有的块状多晶料熔化为液态料。在单晶的整个生长过程中,化料过程所用的时间占整个生长周期的比例大概为20%。参照附图1所示,现有技术是在石英坩埚3的底部和侧部分别设有一个底部加热器1和一个主加热器2,通过底部加热器1和主加热器2通电发热来将多晶料进行熔化。目前,单晶市场一直面临着降本、增产的局面,而通过降低化料时间来减少单晶生长周期可以有效的达到这一目的。因此,如何有效的降低化料时间,大幅减少单晶生长周期,是技术人员亟待解决的重要问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种能大幅降低单晶生长过程中化料阶段所用时间的单晶炉快捷化料机构。为解决上述技术问题,本专利技术的解决方案是:提供一种用于单晶炉的快捷化料机构,包括加热电源、提升装置和辅助加热器;所述提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆;提升杆通过炉体上的通孔,提升杆的下端伸入在炉体内,提升杆的上端伸出在炉体外部;提升杆为空心结构,中间通过加 ...
【技术保护点】
一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,包括加热电源、提升装置和辅助加热器;所述提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆;提升杆通过炉体上的通孔,提升杆的下端伸入在炉体内,提升杆的上端伸出在炉体外部;提升杆为空心结构,中间通过加热电源和辅助加热器之间的连接电缆;电动驱动装置安装在炉体外部并与提升杆连接,用于提供给提升杆上下升降的动力;手动旋钮设置在提升杆的上端,用于带动提升杆进行旋转;所述辅助加热器安装在提升装置的提升杆下端上,使辅助加热器能实现:在化料阶段时,通过提升装置悬挂在石英坩埚的正上方,化料结束后,再通过提升装置将加热器提升到一定高度,最后通过手动旋钮将辅助加热器旋到一边;辅助加热器为中心开有圆孔的加热器,辅助加热器通过连接电缆与炉体外部的加热电源连接,实现对石英坩埚内的多晶料进行辅助熔化。
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的快捷化料机构,其特征在于,包括加热电源、提升装置和辅助加热器;所述提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆;提升杆通过炉体上的通孔,提升杆的下端伸入在炉体内,提升杆的上端伸出在炉体外部;提升杆为空心结构,中间通过加热电源和辅助加热器之间的连接电缆;电动驱动装置安装在炉体外部并与提升杆连接,用于提供给提升杆上下升降的动力;手动旋钮设置在提升杆的上端,用于带动提升杆进行旋转;所述辅助加热器安装在提升装置的提升杆下端上,使辅助加热器能实现:在化料阶段时,通过提升装置悬挂在石英坩埚的正上方,化料结束后,再通过提升装置将加热器提升到一定高度,最后通过手动旋钮将辅助加热器旋到一边;辅助加热器为中心开有圆孔的加热器,辅助加热器...
【专利技术属性】
技术研发人员:傅林坚,曹建伟,沈文杰,李林,胡建荣,倪军夫,叶钢飞,沈兴潮,王小飞,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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