一种物料供给装置及晶体生长系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开的一种物料供给装置，包括储料机构和喂料机构，储料机构包括料筒和控料体，料筒具有出料口，控料体可相对于料筒出料口移动，容纳于料筒中的物料从料筒出料口与控料体的间隙离开料筒，喂料机构具有将物料从炉体外部输入炉体内部的喂料通路，喂料通路可相对于炉体延伸或撤回，喂料通路在延伸位置时穿过炉体并将物料从炉体外部输入炉体内部的坩埚中。本实用新型专利技术公开的一种晶体生长系统，包括：炉体；坩埚；以及如上所述的物料供给装置，物料供给装置向坩埚传送物料。本实用新型专利技术满足了大加料量的要求，加料过程与单晶硅棒冷却过程可以并行，缩短了加料时间，提高了单晶硅棒的生产效率，同时提高了外部加料的稳定性和安全性。

A material supply device and crystal growth system

【技术实现步骤摘要】
一种物料供给装置及晶体生长系统
本技术属于单晶生长
，涉及单晶生长的辅助设备，具体涉及一种物料供给装置，还涉及一种具有该物料供给装置的晶体生长系统。
技术介绍
多晶硅是生产太阳能光伏产品和半导体产品的主要原材料。丘克拉尔斯基(Czochralski，简称为Cz)法是单晶硅最常用的制备方法之一，高纯度固态多晶硅原料在晶体生成炉(单晶炉)内的坩埚中熔化形成熔体，下降籽晶使其与旋转坩埚中的熔体接触，然后，将籽晶缓慢拉出，熔体围绕籽晶凝固形成单晶硅棒。传统的Cz单晶炉在完成一炉原料拉晶生产后，需要为新一炉的生产做很多繁杂的前期准备工作，包括停炉冷却、炉体清洁、备料、装料、抽真空、检漏、化料等工序。这些前期工序费时费力，严重制约着直拉式单晶硅的生产效率。另外，装填的多晶硅料(多为块状料)熔化后体积缩小，使得坩埚的利用率降低。为了提高坩埚的利用率，增大总体投料量，则需要向坩埚中多次重复加料。这也是降低拉晶成本的有效措施之一。目前，直拉式单晶硅生长的主流加料装置是副室内置式加料器。这种加料器由于单次加料量小(一般不超过30kg)，需要进行多次重复加料，人工操作繁杂且效率低下；且每次加料后都要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物料供给装置，其特征在于，用于向炉体(7)内部的坩埚(11)中供给物料，所述一种物料供给装置包括储料机构(1)和喂料机构(4)，所述储料机构(1)包括料筒(101)和控料体(1033)，所述料筒(101)用于容纳物料且具有出料口，所述控料体(1033)设置于所述料筒(101)、且可相对于所述料筒(101)的出料口移动，容纳于所述料筒(101)中的物料从所述料筒(101)的出料口与所述控料体(1033)的间隙离开料筒(101)，所述喂料机构(4)具有将物料从炉体(7)外部输入炉体(7)内部的喂料通路(43)，所述喂料通路(43)可相对于所述炉体(7)延伸或撤回，所述喂料通路(43)在延伸位置...

【技术特征摘要】
1.一种物料供给装置，其特征在于，用于向炉体(7)内部的坩埚(11)中供给物料，所述一种物料供给装置包括储料机构(1)和喂料机构(4)，所述储料机构(1)包括料筒(101)和控料体(1033)，所述料筒(101)用于容纳物料且具有出料口，所述控料体(1033)设置于所述料筒(101)、且可相对于所述料筒(101)的出料口移动，容纳于所述料筒(101)中的物料从所述料筒(101)的出料口与所述控料体(1033)的间隙离开料筒(101)，所述喂料机构(4)具有将物料从炉体(7)外部输入炉体(7)内部的喂料通路(43)，所述喂料通路(43)可相对于所述炉体(7)延伸或撤回，所述喂料通路(43)在延伸位置时穿过所述炉体(7)并将物料从炉体(7)外部输入炉体(7)内部的所述坩埚(11)中。2.根据权利要求1所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述控料体(1033)悬置于所述料筒(101)的出料口处，且可贴合和远离所述料筒(101)的出料口；所述控料体(1033)与所述料筒(101)的出料口的形状相配合，且所述控料体(1033)的底面尺寸不小于所述料筒(101)出料口的尺寸。3.根据权利要求2所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述控料体(1033)连接牵引绳索(1032)，所述牵引绳索(1032)穿过料筒(101)并与安装于所述料筒(101)外部的牵引动力部(1031)连接。4.根据权利要求3所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述控料体(1033)为圆锥体或圆台，所述料筒(101)的出料口为圆柱状，所述圆锥体或圆台的底面直径不小于所述料筒(101)出料口的直径。5.根据权利要求1所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述炉体(7)上具有开口，所述喂料通路(43)通过所述开口与炉体(7)相连通，所述喂料通路(43)包括相对的上游端和下游端，所述上游端位于所述炉体(7)外部、且设置有隔离阀(13)，所述下游端在所述炉体(7)内部延伸或撤回，所述隔离阀(13)使得所述喂料通路(43)及炉体(7)保持气密状态。6.根据权利要求5所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述喂料机构(4)安装在所述炉体(7)的外部且与所述炉体(7)的开口对接，所述喂料通路(43)在所述炉体(7)外部的部分收纳于所述喂料机构(4)中。7.根据权利要求6所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述炉体(7)的开口外部设置波纹管，所述喂料机构(4)通过波纹管与所述炉体(7)的开口对接。8.根据权利要求6所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述喂料机构(4)具有喂料提升装置(45)，所述喂料提升装置(45)用于实现所述喂料通路(43)相对于所述炉体(7)内的坩埚(11)延伸或撤回。9.根据权利要求8所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述喂料通路(43)的外部设置喂料通路固定套(42)，所述喂料通路固定套(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：李侨，周锐，张永辉，付泽华，赵会刚，刘喜保，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61