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一种用于单晶炉的快捷化料机构制造技术
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下载一种用于单晶炉的快捷化料机构的技术资料
文档序号:17512470
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本发明涉及直拉硅单晶炉生长设备的辅助设备,旨在提供一种用于单晶炉的快捷化料机构。该种用于单晶炉的快捷化料机构包括加热电源、提升装置和辅助加热器;提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆,辅助加热器安装在提升装置的提升杆下端上,并通过连接电...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
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