全程可溯源半导体测试数据记录方法技术
Whole process traceable semiconductor test data recording method
The invention relates to a full traceability of semiconductor test data recording method in chip nonvolatile storage area to chip the unique identification code; the unique identification code and test data as the index information, the data will be written to the database; through the identification code and the test link can index all test data in the database, change can track the entire testing process data and monitoring data. For the same chip, we can see the data during wafer test and the data of the finished product after the completion of the test, and get the data of each test step quickly and accurately, so that engineers can analyze the process data and screen the final qualified chip.
【技术实现步骤摘要】
全程可溯源半导体测试数据记录方法
本专利技术涉及一种检测技术，特别涉及一种全程可溯源半导体测试数据记录方法。
技术介绍
现有的技术方案是在晶圆测试中，使用LotID+晶圆的WaferID+每个芯片在晶圆上的坐标来定位晶圆测试过程中每颗芯片的数据。这样，如果在晶圆测试中做老化的话，老化后半导体芯片在同一片晶圆上的坐标不会发生变化，因此测试数据还能通过坐标来定位。在成品测试过程中，常规的做法是对成品芯片进行编号并打印或者手工写在芯片表面，这样在多次测试过程中可以通过芯片编号进行数据溯源。但是，在多次测试过程中的老化会使得芯片表面的油墨变得模糊，如果多次老化甚至可能会导致编号不可辨识。而且在成品芯片封装过程中会丢失芯片在晶圆上的位置，因此成品测试数据无法溯源到晶圆测试数据。在半导体测试过程中，会经历晶圆测试->封装->成品测试的过程。其中晶圆测试或者成品测试的过程中还有可能经历多次测试、老化等过程。现在生产管理需要，在整个测试过程中把每个成品的测试数据从晶圆开始到成品都有记录并溯源。使用现在的检测记录手段，是无法满足要求的。
技术实现思路
本专利...
【技术保护点】
一种全程可溯源半导体测试数据记录方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）晶圆首次测试的过程中，在被测芯片的非易失存储区域内写入该芯片的唯一识别码，识别码中包括批量编号LotID、晶圆编号WaferID、此被测芯片在原晶圆上的XY坐标、流水号及校验码，识别码加上测试环节标识作为此被测芯片数据文件的索引信息，将测试数据存储在数据库中；2）之后进行老化后的再次测试晶圆测试，从被测芯片的非易失存储区读取该芯片的识别码，与数据库中对应的索引信息进行比对，如果发生任何信息错误，则该芯片为不合格芯片；如果所有信息均正确，证明在老化过程中信息没有丢失，继续使用该识别码加上更新后测试环节标识...
【技术特征摘要】
1.一种全程可溯源半导体测试数据记录方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）晶圆首次测试的过程中，在被测芯片的非易失存储区域内写入该芯片的唯一识别码，识别码中包括批量编号LotID、晶圆编号WaferID、此被测芯片在原晶圆上的XY坐标、流水号及校验码，识别码加上测试环节标识作为此被测芯片数据文件的索引信息，将测试数据存储在数据库中；2）之后进行老化后的再次测试晶圆测试，从被测芯片的非易失存储区读取该芯片的识别码，与数据库中对应的索引信息进行比对，如果发生任何信息错误，则该芯片为不合格芯片；如果所有信息均正确，证明在老化过程中...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵嘉阳，汤雪飞，王玉龙，王华，罗斌，凌俭波，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。