一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与柔性衬底接触的冷却板，所述的冷却板与柔性衬底直接接触并且紧贴在一起；所述的冷却板的背面开设有冷却水槽，并在背面用密封圈配置有一块将冷却水槽密封其内的背板，在冷却板与背板之间形成有由冷却水槽构成的密闭冷却水流道，一外接水管从背板接入与所述的冷却水流道连通；所述的外接水管通过螺纹管旋接在背板上设置的螺纹水孔中；所述的背板和冷却板之间开设有用于密封圈嵌入的并实现密封的密封圈槽；所述背板上设置有多个螺纹通孔，在冷却板的内侧板面上对应设置有螺纹沉孔，并通过螺钉将背板从下面固定在冷却板的背面上；它具有结构合理，使用方便，冷却效果好等特点。
A flexible substrate real time cooling device for roll to roll magnetron sputtering system
【技术实现步骤摘要】
一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置
本专利技术涉及的是一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，属于真空磁控溅射镀膜
技术介绍
目前，在真空磁控溅射薄膜生产中，绝大多数生产厂商或研究机构在柔性衬板上采用水冷板或冷却转轮的方式。其中水冷板是铝板埋铜管的设计方式，在通过衬底与水冷板的表面接触，使冷却水在其铜管的循环流动，达到冷却作用。其冷却方式的冷却水没有与水冷板直接接触，而是通过铜管后再与其接触，这样会使冷却效果达不到最佳。其次通过铜管埋铝板的工艺方式，会产生一个粘合度的问题，如果两者之间有缝隙的话，就会影响散热效果甚至出现漏水的情况。还有就是铜管与铝板通过埋管的工艺连合起来，再通过打磨或者飞面的工艺进行处理，使得整块水冷散热板形成一个平整的平面，铜管与铝板是否有融合成一个平面了，有缝隙或不平整都会影响散热效果。其工艺要求严格，难度大。此外旧方式的水冷板为整面平面接触，衬底与其表面很难达到均匀接触，可能导致接触不紧密或者摩擦过大而使张力不稳，导致工艺出错，而且水冷板的整个面的加工平整精度要求极高，难度大。另外一种方式就是采用很大的冷却转轮，采用中空结构，中间通入冷却水，冷却轮放置于镀膜段的衬底背面从而达到冷却效果。而为了达到镀膜面积的要求，冷却轮的直径就必须很大，这就对镀膜设备的空间大小提出了很高的要求，也对镀膜过程产生了很大的限制。随着在柔性衬底如聚酰亚胺、PET等上进行磁控溅射镀膜技术的不断发展与完善，随着工艺要求的提高，对设备也提出了更好的要求。在工艺进行时，大功率的磁控溅射会使衬底的温度剧烈上升，高温下的衬底会有褶皱弯曲的现象，非常不利于膜层的生长，影响镀膜性能，故须要有高效的冷却技术方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种结构合理，使用方便，冷却效果好，能与衬底的发热量匹配，改善衬底出现褶皱弯曲现象的用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置。本专利技术的目的是通过如下技术方案来完成的，一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与柔性衬底接触的冷却板，所述的冷却板与柔性衬底直接接触并且紧贴在一起。作为优选：所述的冷却板的背面开设有冷却水槽，并在背面用密封圈配置有一块将冷却水槽密封其内的背板，在冷却板与背板之间形成有由冷却水槽构成的密闭冷却水流道，一外接水管从背板接入与所述的冷却水流道连通；所述的外接水管通过螺纹管旋接在背板上设置的螺纹水孔中；所述的背板和冷却板之间开设有用于密封圈嵌入的并实现密封的密封圈槽；所述背板上设置有多个螺纹通孔，在冷却板的内侧板面上对应设置有螺纹沉孔，并通过螺钉将背板从下面固定在冷却板的背面上。作为优选：所述的冷却板上下方各安装有左右两根滑轨，背板通过两侧的固定支架及固定支架下部安装的滑块置于对应的滑轨上；所述背板的前部或后部一侧通过安装的螺帽座与螺杆连接，所述的螺杆与电机连接并由该电机通过螺杆带动冷却板前后移动。作为优选：所述的冷却板用铜板制成，冷却板的表面为与衬底直接接触的弧形表面，所述冷却板的正前方上下两侧分别安装有作为阻挡溅射物物质附着于冷却板上未被衬底覆盖作用的挡板。本专利技术具有如下优点：1、冷却效果，舍弃之前的铝板埋铜管的旧方案，使用直接冷却水与其水冷屏的接触，使冷却效果更直接快速，且避免了旧方案工艺上的不足和使用上的不足。衬底的冷却方式是与冷却板的弧形表面接触，得到实现。故我们可以调整冷却板1与衬底的接触面积，从而使冷却效果得以调整。2、张力控制，工艺生产时对衬底的张力大小和稳定性有严苛的要求，故也可调整冷却板1对衬底的接触，从而进行张力调整。3、温度控制，工艺中温度对衬底有很大的影响，故需对衬底进行实时监测，从而实现对温度的控制。通过在冷却板1上安装的温度测量仪14所反馈到电脑端的温度显示，可控制水流量来调节冷却效果，从而对温度进行实时监测并控制。4、结构简单，结构简单，体积小，所占空间小，对设备的要求不高，使整个设备对空间大小没有很大需求，非常适合于卷对卷传动的系统。附图说明图1是本专利技术的前视结构示意图。图2是本专利技术的侧视结构示意图。图3是本专利技术所述冷却板与背板组装结构上视图。图4是本专利技术所述冷却板主视图。图5是本专利技术所述背板主视图。图6是本专利技术一种实例的结构示意图。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术作详细的介绍：图1-5所示，本专利技术所述的一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与衬底接触的冷却板1，所述的冷却板1的背面开设有冷却水槽4，并在背面用密封圈配置有一块将冷却水槽4密封其内的背板3，在冷却板1与背板3之间形成有由冷却水槽4构成的密闭冷却水流道，一外接水管2从背板3接入与所述的冷却水流道连通；所述的冷却板1下方安装有左右两根滑轨8，背板3通过两侧的固定支架10及固定支架下部安装的滑块9置于对应的滑轨8上；所述背板3的前部或后部一侧通过安装的螺帽座11与螺杆12连接，所述的螺杆12与电机13连接并由该电机13通过螺杆12带动冷却板1前后移动。图中所示，所述的外接水管2通过螺纹管旋接在背板3上设置的螺纹水孔中；所述的背板3和冷却板1之间开设有用于密封圈嵌入的并实现密封的密封圈槽；所述背板3上设置有多个螺纹通孔，在冷却板的内侧板面上对应设置有螺纹沉孔，并通过螺钉将背板从下面固定在冷却板的背面上。本专利技术所述的冷却板用铜板制成，冷却板的表面为与衬底直接接触的弧形表面，所述冷却板的正前方上下两侧分别安装有作为阻挡溅射物物质附着于冷却板上未被衬底覆盖作用的挡板。实施例：本专利技术主要由冷却板和背板制成一水冷屏，该水冷屏在外观上区别于传统的表面平整的水冷板，在与衬底接触的面是为弧形表面，此设计能为衬底与水冷屏更好的接触和贴合，并不影响衬底张力的稳定性,如附图3所示。在衬底通过时与其弧形表面接触，通过其内部冷却水的循环冷却，使其水冷屏温度下降，从而达到冷却衬底的目的。图中所示，本专利技术主要由一块冷却板，一块背板，一组位置移动装置和一对挡板组成，冷却板背面开槽用来导流冷却水以及排布胶圈进行密封，正面为弧形表面。背板的作用是进行真空密封，位置移动装置是用来调整冷却屏的前后位置，从而控制其与衬底接触面积的大小，以及柔性衬底的张力大小。挡板的主要作用是阻挡溅射物质附着于水冷屏上未被衬底覆盖的表面。冷却板1的冷却方式是在背后开槽，冷却水再通过水管2进入凹槽内直接与冷却板1接触进行冷却，使冷却效果更好。现冷却水直接与冷却板1接触，故水管2与冷却板1有交接处。我们在水管3与冷却板1交接处通过螺纹孔的方式，使水管2固定在冷却板1上，但不能使水管2锁至过深导致冷却水无法流至凹槽内，需留有余量，能使其冷却水能顺利流至凹槽内达到循环效果。因工艺要求，生产环境为高真空状态，故对冷却板1的防漏水要求极为严格。因为在真空环境下有水渍的话，将对工艺有严重影响。故我们在冷却板1后方安装一块背板3。在冷却板背后环绕凹槽4开了一个平行于凹槽4的封闭式凹槽5作为密封胶圈安装位置。并在冷却板1和背板3上打多个固定孔位6，在冷却板1背后安装背板2固定，使冷却板1、密封圈、背板3三者紧密连接，防止漏水，在水管3固定在冷却板1上后，还将通过在背板3上相同位置的孔位7。在冷却板1上下方安装滑轨本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与柔性衬底接触的冷却板，其特征在于所述的冷却板与柔性衬底直接接触并且紧贴在一起。
【技术特征摘要】
1.一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与柔性衬底接触的冷却板，其特征在于所述的冷却板与柔性衬底直接接触并且紧贴在一起。2.根据权利要求1所述的用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，其特征在于所述的冷却板的背面开设有冷却水槽，并在背面用密封圈配置有一块将冷却水槽密封其内的背板，在冷却板与背板之间形成有由冷却水槽构成的密闭冷却水流道，一外接水管从背板接入与所述的冷却水流道连通；所述的外接水管通过螺纹管旋接在背板上设置的螺纹水孔中；所述的背板和冷却板之间开设有用于密封圈嵌入的并实现密封的密封圈槽；所述背板上设置有多个螺纹通孔，在冷却板的内侧板面上对应设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：万琪伟，高锦龙，朱家宽，陆建嘉，张卫卫，张情情，钟华良，刘杰鹏，贺晨涛，
申请(专利权)人：旭科新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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