一种OLED蒸镀设备制造技术

本发明专利技术涉及一种OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置，OLED基板送入装置具有与分隔环固定连接的空心电机外座，在空心电机外座的中心设有空心转动杯，空心转动杯的前端与分隔环的内环转动连接，在空心转动杯的中心设有旋转端盖，在旋转端盖的前端设有OLED基板固定装置。本发明专利技术利用了离心的原理和空心轴电机结构的优点，改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，整体结构密闭性好，降低污染的泄露。

A OLED evaporation equipment

The present invention relates to a OLED coating equipment, including front and rear are respectively arranged along the horizontal direction evaporation of the working device and OLED substrate feeding device, feeding device with OLED substrate and separated hollow motor fixedly connected with the outer ring seat, in the hollow motor seat is arranged in the center of the hollow rotary cup, hollow rotating inner ring front and separate cup the rotation of ring connected in the hollow rotary cup is arranged in the center of rotation in the front end cover, a rotary end cover is provided with OLED substrate fixing device. The invention utilizes the advantages of centrifugal principle and hollow shaft motor structure, change the design of the basic tiled arrangement of the original, into an annular cylindrical configuration, the single vacuum chamber can accommodate OLED substrate more, at the same time through the rotation of the OLED substrate is similar to the centrifugal effect, the vacuum chamber evaporation materials of molecular dynamics impact substrate significantly improved, while the increase in production efficiency can also improve the degree of uniformity of coating structure, good sealing performance, reducing leakage pollution.

【技术实现步骤摘要】
一种OLED蒸镀设备
本专利技术涉及OLED制造的
，尤其是一种OLED蒸镀设备。
技术介绍
在公知的
，前板段制程是整个OLED工艺中的最重要的环节，具体流程为：对TFT基板进行不同方式的清洗、干燥之后，送入氮气环境中进行降温，并反转基板，使膜面朝下。对于处理后的基板，送入真空室内进行各功能层、发光层的蒸镀。蒸镀之后对AMOLED进行功能性和外观性的检测以及偏光片的贴附，最后进入模组段制程。在OLED的蒸镀环节中需要用到专用的蒸镀设备，所谓蒸镀，就是真空中通过电流加热，电子束轰击加热或激光加热等加热方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作自由运动，碰撞基片表面而凝结，进而形成薄膜。蒸镀工艺虽然原理并不复杂，但是在实际的量产中存在很多难题需要解决，现有的核心设备蒸镀机主要技术均掌握在日本少数几家公司手中，产能极为有限，主要有如下几个方面的难题：一、蒸镀源的更换问题：在蒸镀材料消耗殆尽后，需要在从真空腔室中取出进行添加或更换，如何减少更换的频率、有效保证跟换前后真空腔室的空压处理，对提高生产效率、降低停机检修率是极为关键的，同时还容易产生污染的问题，现有的设备一般将真空腔室设计成直接开启、关闭式的设计，更换蒸镀源较为频繁，且真空腔室的抽真空处理耗费时间长，对温度工艺的控制难以精准量化，需要在生产中不断的间歇性反复调试。二、真空腔室内单次加工OLED面板数量问题：现有的蒸镀设备总体上的思路均是采用将基板水平排布放置的设计，故蒸镀源一般需要置于基板的上方，该种排布方式虽然较为成熟，但是该种方式需考虑到工艺参数控制的稳定性，不可能大面积将数量众多的基板至于同一真空腔室内，故单次加工数量少，占用空间大，对抽真空设备的要求高，而且随着加工基板尺寸的增加，蒸镀加热装置的结构排布更为复杂，工艺参数的稳定性更难以控制。三、蒸镀工艺参数的稳定性：传统的蒸镀设备一般是通过蒸镀材料分子的自由运动去吸附基板，在蒸镀环节能够控制的参数基本上只有对温度以及加热源的排布，所以工艺稳定性一直不高，从而导致良品率较差的问题，实际量产的解决方式只能是不断的调试最佳的参数，提高镀膜的均匀程度。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：克服上述问题，提供一种OLED蒸镀设备，能够使得蒸镀设备的结构排布紧凑、加工效率高、便于控制工艺参数，同时提升量产的良品率和镀膜的均匀程度。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置，所述蒸镀工作装置具有可前后移动的底座，在所述底座上沿水平方向呈一字型依次设有限位密封环、装配环、分隔环，以所述分隔环的中心轴线为中心、在其前端面上旋转设有若干个等腰梯形间隔块，且所述等腰梯形间隔块较小一头朝向中心轴线方向，在相邻的两个等腰梯形间隔块之间均设有蒸镀源安装滑轨，每个蒸镀源安装滑轨的一端嵌入于相邻的两个等腰梯形间隔块之间，另一端贯穿装配环并与限位密封环固定连接，且相邻的两个蒸镀源安装滑轨之间构成安装腔室，在每个安装腔室内均设有电磁加热装置，在所述蒸镀源安装滑轨上均设有沿轴向延展的滑槽，在滑槽内安装有蒸镀源装置，在所述限位密封环的中心处设有由油缸驱动的密封端盖，所述蒸镀源装置均与密封端盖的内侧表面连接，所述OLED基板送入装置具有与分隔环固定连接的空心电机外座，在所述空心电机外座的中心设有空心转动杯，所述空心转动杯的前端与分隔环的内环转动连接，在所述空心转动杯的中心设有旋转端盖，在所述旋转端盖的前端设有OLED基板固定装置。进一步的，为了便于实际的零部件加工和安装，本专利技术中所述装配环由第一装配环、第二装配环、第三装配环并排设置而构成，且在所述第一装配环、第二装配环、第三装配环的侧壁上均设有抽真空管接头。进一步的，作为一种具体的加热装置，本专利技术中所述电磁加热装置具有电磁加热棒，在所述电磁加热棒的端部设有限位连接法兰头,所述限位连接法兰头安装在限位密封环的端面上。进一步的，为了适应不同参数的需求以及调整蒸镀材料在镀膜时的间隙，本专利技术中所述分隔环与蒸镀源安装滑轨之间设有T型滑头连接，且所述T型滑头可沿径向方向往复移动。进一步的，为了便于全自动化生产的需求，本专利技术中所述OLED基板固定装置具有由伸缩油缸驱动的支撑杆，在所述支撑杆的两侧分别设有稳定滑轨，且所述支撑杆、稳定滑轨的驱动机构均设置在旋转端盖的外侧，在两个稳定滑轨之间设有滑动套，在所述支撑杆的端部设有限位法兰，在所述限位法兰上安装有筒形支架，以所述筒形支架的中心轴线为中心、在所述筒形支架的外侧边缘设有若干个沿轴向延展的密封限位条，在相邻的两个密封限位条之间均设有用于安装OLED基板的支撑面板，且所述支撑面板的中部通过转动轴销与筒形支架连接，在相邻的两个支撑面板之间设有紧固调整件，在所述紧固调整件与滑动套之间铰接有推拉杆，在所述推拉杆的中部设有缓冲支撑气缸，所述缓冲支撑气缸的缸体部分与轴向方向呈斜向上状态并与推拉杆铰接，所述缓冲支撑气缸的伸出端部抵住密封端盖的内侧表面。进一步的，作为一种具体的结构形式和隔离真空环境的密封结构，本专利技术中所述密封限位条的横截面呈等腰梯形状，且所述密封限位条沿径向方向延展的中位面贯穿筒形支架的中心轴线，且所述密封限位条的端部较小一侧朝向筒形支架的中心轴线设置，所述紧固调整件的端面上具有与密封限位条的横截面相适应的卡槽。进一步的，为了便于在初始环节调节合适的参数，本专利技术在所述蒸镀源装置与支撑面板之间设有遮挡筒，且所述遮挡筒可贯穿密封端盖。进一步的，为了提升真空的保压效率和温度损失，本专利技术中所述密封端盖、旋转端盖均为双层式结构，在其内部均设有中空的隔热层。本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，巧妙的利用了离心的原理和空心轴电机结构的优点，改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，为了适应全自动化生产线的设计，才有前、后分离式的设计，在需要更换蒸镀源时，从前端面板直接取出更换，再蒸镀完成后取拿基板时，从空心轴电机的内腔中退出，辅以各类机械手臂，能够极大的提升生产效率，整体结构密闭性好，抽真空位置、电源接入位置、蒸镀源更换位置和基板的取出均能够体现结构的优越性，降低污染的泄露。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术除去密封端盖后的结构示意图；图3是本专利技术的爆炸结构示意图；图4是本专利技术的局部爆炸结构示意图一；图5是本专利技术的局部爆炸结构示意图二；图6是本专利技术中OLED基板送入装置的结构示意图；图7是本专利技术中OLED基板固定装置处的剖视图；图8是图7中A处的局部放大示意图；具体实施方式现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。如图1～图8所示的本专利技术一种OLED蒸镀设备的优选实施例，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置1和OLED基板送入装置2，所述蒸镀工作装置1具有可前后移动的底座11，在底座11上沿水平方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种OLED蒸镀设备，其特征在于：包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置(1)和OLED基板送入装置(2)，所述蒸镀工作装置(1)具有可前后移动的底座(11)，在所述底座(11)上沿水平方向呈一字型依次设有限位密封环(12)、装配环、分隔环(16)，以所述分隔环(16)的中心轴线为中心、在其前端面上旋转设有若干个等腰梯形间隔块(18)，且所述等腰梯形间隔块(18)较小一头朝向中心轴线方向，在相邻的两个等腰梯形间隔块(18)之间均设有蒸镀源安装滑轨(19)，每个蒸镀源安装滑轨(19)的一端嵌入于相邻的两个等腰梯形间隔块(18)之间，另一端贯穿装配环并与限位密封环(12)固定连接，且相邻的两个蒸镀源安装滑轨(19)之间构成安装腔室，在每个安装腔室内均设有电磁加热装置(111)，在所述蒸镀源安装滑轨(19)上均设有沿轴向延展的滑槽，在滑槽内安装有蒸镀源装置(112)，在所述限位密封环(12)的中心处设有由油缸驱动的密封端盖(113)，所述蒸镀源装置(112)均与密封端盖(113)的内侧表面连接，所述OLED基板送入装置(2)具有与分隔环(16)固定连接的空心电机外座(21)，在所述空心电机外座(21)的中心设有空心转动杯(22)，所述空心转动杯(22)的前端与分隔环(16)的内环转动连接，在所述空心转动杯(22)的中心设有旋转端盖(23)，在所述旋转端盖(23)的前端设有OLED基板固定装置(24)。...

【技术特征摘要】
1.一种OLED蒸镀设备，其特征在于：包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置(1)和OLED基板送入装置(2)，所述蒸镀工作装置(1)具有可前后移动的底座(11)，在所述底座(11)上沿水平方向呈一字型依次设有限位密封环(12)、装配环、分隔环(16)，以所述分隔环(16)的中心轴线为中心、在其前端面上旋转设有若干个等腰梯形间隔块(18)，且所述等腰梯形间隔块(18)较小一头朝向中心轴线方向，在相邻的两个等腰梯形间隔块(18)之间均设有蒸镀源安装滑轨(19)，每个蒸镀源安装滑轨(19)的一端嵌入于相邻的两个等腰梯形间隔块(18)之间，另一端贯穿装配环并与限位密封环(12)固定连接，且相邻的两个蒸镀源安装滑轨(19)之间构成安装腔室，在每个安装腔室内均设有电磁加热装置(111)，在所述蒸镀源安装滑轨(19)上均设有沿轴向延展的滑槽，在滑槽内安装有蒸镀源装置(112)，在所述限位密封环(12)的中心处设有由油缸驱动的密封端盖(113)，所述蒸镀源装置(112)均与密封端盖(113)的内侧表面连接，所述OLED基板送入装置(2)具有与分隔环(16)固定连接的空心电机外座(21)，在所述空心电机外座(21)的中心设有空心转动杯(22)，所述空心转动杯(22)的前端与分隔环(16)的内环转动连接，在所述空心转动杯(22)的中心设有旋转端盖(23)，在所述旋转端盖(23)的前端设有OLED基板固定装置(24)。2.如权利要求1所述的一种OLED蒸镀设备，其特征在于：所述装配环由第一装配环(13)、第二装配环(14)、第三装配环(15)并排设置而构成，且在所述第一装配环(13)、第二装配环(14)、第三装配环(15)的侧壁上均设有抽真空管接头(17)。3.如权利要求1所述的一种OLED蒸镀设备，其特征在于：所述电磁加热装置(111)具有电磁加热棒(1111)，在所述电磁加热棒(1111)的端部设有限位连接法兰头(1112),所述限位连接法兰头(1112)安装在限位密封环(12)的端面上。4.如权利要求1所述的一种OLED蒸镀设备，其特征在于：所述分隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹云娟，
申请(专利权)人：常州市知豆信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32