一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板及负调节固定板分别水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽,两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使蒸发舟两端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间；通过电极延长柱使蒸发舟的安装位置升高，从而缩短了蒸发源和基片的距离，能够提高沉积速率。

An evaporative boat regulating and fixing device with high deposition rate

The evaporation boat discloses a high deposition rate the evaporation adjusting and fixing device, including positive and negative regulation regulation of fixed plate fixed plate, a positive electrode and a negative electrode extension extension column column, positive regulation fixing plate and the fixing board level negative regulator connecting Yu Zheng plated electrode and negative electric plating are positive electrode; extended column and negative electrode column respectively extend through the fixing hole is vertically fixed adjusting Yu Zheng fixed plate and negative plate; the positive electrode and the negative electrode extension extension column at the top of the column respectively threaded connection with the fixed sleeve opening groove fixing sleeve side wall is provided with a level of two, a fixed sleeve opening groove is positioned relative to both ends of the evaporation boat insert the two open slots formed with two upper fixing sleeve; a locking bolt is arranged respectively, which are respectively fixed on the evaporation boat clamping corresponding to the locking bolt and the electrode extending between the column The installation position of the evaporation boat is increased by the electrode lengthening column, thus shortening the distance between the evaporation source and the substrate, and improving the deposition rate.

【技术实现步骤摘要】
一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置
本专利技术涉及真空蒸镀
，具体是一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置。
技术介绍
蒸镀是在真空环境中将材料加热并镀到基片上的一种镀膜方式。一般是将材料放入蒸发舟,蒸发舟两端固定电极,然后利用电极电加热,实现蒸镀。目前，蒸发舟两端都是直接与蒸镀设备的电极柱固定相连，一方面蒸发源和基片的距离远，镀膜速率慢，另一方面蒸发舟的安装角度固定，蒸镀设备只适用于一种型号的蒸发舟。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，该装置能够缩短蒸发源和基片的距离，提高沉积速率，并且适用于各种型号的蒸发舟，易于推广使用。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板与负调节固定板的板面均设有固定孔与第一腰型孔，正调节固定板及负调节固定板分别通过第一腰型孔水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽,两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使蒸发舟两端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间。进一步的，所述调节固定装置还包括蒸发舟屏蔽罩筒以及位于蒸发舟下方的屏蔽罩筒托盘，屏蔽罩筒托盘顶部设有圆形的承托槽，屏蔽罩筒托盘还设有第二腰型孔，屏蔽罩筒托盘通过第二腰型孔水平套设于正电极延长柱或负电极延长柱的外壁；蒸发舟屏蔽罩筒包含与蒸发舟尺寸相适应的上罩筒及下罩筒，所述承托槽对上罩筒及下罩筒的底边形成承托配合，下罩筒位于蒸发舟下方，上罩筒的筒壁下部设有相互对称的通槽，通槽使蒸发舟横向穿过上罩筒。本专利技术的有益效果是：一、通过电极延长柱使蒸发舟的安装位置升高，从而缩短了蒸发源和基片的距离，能够提高沉积速率；并且能够对高熔点难熔材料加热蒸镀；二、通过第一腰型孔可以改变电极延长柱的安装位置和角度，从而能够适应各种型号蒸发舟的固定安装，利于推广应用；三、相互配合的蒸发舟屏蔽罩筒与屏蔽罩筒托盘能够在蒸发过程中避免金属沾污，同时对蒸发气体起到导向作用，防止蒸发气体扩散，沉积更加集中，提高沉积效率。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明：图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术中正调节固定板的放大示意图；图3是图2的俯视图；图4是本专利技术中正电极延长柱的放大示意图；图5是本专利技术中固定套筒的放大示意图；图6是本专利技术中固定套筒的放大侧视图；图7是本专利技术中屏蔽罩筒托盘的放大示意图；图8是图6的俯视图；图9是本专利技术中上罩筒的放大示意图；图10是图8的侧视图；图11是图8的仰视图；图12是本专利技术中下罩筒的放大示意图。具体实施方式如图1所示，本专利技术提供一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，包括正调节固定板1、负调节固定板2、正电极延长柱3与负电极延长柱4，结合图2与图3所示，正调节固定板1与负调节固定板2的板面均设有固定孔5与第一腰型孔6，正调节固定板1及负调节固定板2分别通过固定孔5水平连接于正蒸镀电极7及负蒸镀电极8顶部，具体可将正调节固定板1及负调节固定板2通过固定孔5分别套设在正蒸镀电极7及负蒸镀电极8上，然后通过第一螺母9进行固定。结合图4所示，正电极延长柱3及负电极延长柱4分别通过第一腰型孔6竖直固定于正调节固定板1及负调节固定板2；可以在正电极延长柱3及负电极延长柱4底部分别沿轴向设置螺孔10，然后通过螺栓11穿过第一腰型孔6,并与螺孔10螺纹配合进行固定。结合图5与图6所示，正电极延长柱3及负电极延长柱4顶部分别螺纹连接有固定套筒12，固定套筒12侧壁设有水平的开口槽13,固定套筒12内壁设置内螺纹，两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟14的两个固定端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓15，使蒸发舟14的两个固定端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间。所述调节固定装置还包括蒸发舟屏蔽罩筒以及位于蒸发舟14下方的屏蔽罩筒托盘17，结合图7与图8所示，屏蔽罩筒托盘17顶部设有圆形的承托槽17a，屏蔽罩筒托盘17还设有第二腰型孔17b，屏蔽罩筒托盘17通过第二腰型孔17b水平套设于正电极延长柱3或负电极延长柱4的外壁，然后通过第二螺母18进行固定。结合图9～12所示，蒸发舟屏蔽罩筒包含与蒸发舟尺寸相适应的上罩筒16a及下罩筒16b，承托槽17a对上罩筒16a及下罩筒16b的底边形成承托配合，下罩筒16b位于蒸发舟14下方，上罩筒16a的筒壁下部设有相互对称的通槽16c，通槽16c使蒸发舟14横向穿过上罩筒16a。以上所述，仅是本专利技术的较佳实施例而已，并非对本专利技术作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本专利技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本专利技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本专利技术技术方案的内容，依据本专利技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本专利技术技术方案保护的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，其特征在于，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板与负调节固定板的板面均设有固定孔与第一腰型孔，正调节固定板及负调节固定板分别通过第一腰型孔水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽, 两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使蒸发舟两端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间。

【技术特征摘要】
1.一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，其特征在于，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板与负调节固定板的板面均设有固定孔与第一腰型孔，正调节固定板及负调节固定板分别通过第一腰型孔水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽,两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘阳，陈计学，房立峰，张帅，张伟，
申请(专利权)人：北方电子研究院安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34