一种探针座及其微调装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种探针座及其微调装置，解决了常见探针座微调功能较低甚至不具有微调功能的问题，其技术方案要点是，包括：供一探针组件固定的安装件；与安装件纵向滑动式装配的第一调节座；设于安装件和第一调节座之间的、驱使安装件相对于第一调节座纵向滑移的第一微调组件；与第一调节座横向滑动式装配的第二调节座；设于第一调节座和第二调节座之间的、驱使第一调节座相对于第二调节座横向滑移的第二微调组件；与第二调节座竖向滑动式装配的安装板；以及，设于第二调节座和安装板之间的、驱使第二调节座相对于安装板竖向滑移的第三微调组件，达到该探针座的微调功能较强以及调节精确度更高的目的。

A probe seat and its trimming device

【技术实现步骤摘要】
一种探针座及其微调装置
本技术涉及半导体检测
，特别涉及一种探针座及其微调装置。
技术介绍
在测试芯粒是否合格时，通常需要用带电的探针来检测芯粒的正负极是否可以导通，从而进行测试。但是，这些设备在进行接触测试之前，将芯粒固定于以载片台后，在探针水平位置或者竖向位置稍有偏移时，需要对探针的位置进行微调以确保探针的针尖对准芯粒的正负极，由于芯粒越来越小，探针的微调的精度需求越来越高，而常见的用于来固定探针的探针座通常达不到这样的精度要求甚至不具有这种微调功能。
技术实现思路
本技术实施例的目的一是提供一种探针座的微调装置，解决了常见探针座微调功能较低甚至不具有微调功能的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种探针座的微调装置，包括：供一探针组件固定的安装件；与所述安装件纵向滑动式装配的第一调节座；设于所述安装件和所述第一调节座之间的、驱使所述安装件相对于所述第一调节座纵向滑移的第一微调组件；与所述第一调节座横向滑动式装配的第二调节座；设于所述第一调节座和所述第二调节座之间的、驱使所述第一调节座相对于所述第二调节座横向滑移的第二微调组件；与所述第二调节座竖向滑动式装配的安装板；以及，设于所述第二调节座和所述安装板之间的、驱使所述第二调节座相对于所述安装板竖向滑移的第三微调组件。通过采用上述技术方案，在探针组件相对于测试芯粒的位置需要调节时，第一微调组件驱使安装件及探针组件相对于第一调节座纵向滑移，第二微调组件驱使第一调节座、安装件及探针组件相对于第二调节座横向滑移，第三微调组件驱使第二微调组件、第一调节座、安装件及探针组件相对于第二调节座竖向滑移，从而可以实现对探针组件进行纵向、横向以及竖向微调，这种结构调节更加方便而且精确度更高。进一步的，所述微调装置中设置有如下结构中的一种或多种的组合：所述第一微调组件包括：固定于所述第一调节座的第一支撑件，固定于所述安装件的抵接件，以及，螺纹连接于所述第一支撑件的、一端抵接于所述抵接件以驱使所述安装件相对于所述第一调节座纵向滑移的第一螺杆；所述第二微调组件包括：固定于所述第二调节座的第二支撑件，设于所述第一调节座上的抵接槽，以及，螺纹连接于所述第二支撑件的、一端抵接于所述抵接槽以驱使所述第一调节座相对于所述第二调节座横向滑移的第二螺杆；所述第三微调组件包括：固定于所述第二调节座的第三支撑件，以及，螺纹连接于所述第三支撑件的、一端抵接于所述安装板以驱使所述第二调节座相对于所述安装板竖向滑移的第三螺杆。通过采用上述技术方案，第一螺杆螺纹连接于第一支撑件并其一端抵接于抵接件，进而在旋转第一螺杆的过程中即可实现驱动安装板相对于第一调节座纵向滑移；第二螺杆螺纹连接于第二支撑件并其一端抵接于抵接槽，进而在旋转第二螺杆的过程中即可实现驱动第一调节座相对于第二调节座横向滑移；第三螺杆螺纹连接于第三支撑件并其一端抵接于安装板，进而在旋转第三螺杆的过程中即可实现驱动第二调节座相对于安装板竖向滑移。进一步的，所述第一微调组件还包括：设于所述安装件和所述第一调节座之间的第一拉簧；所述第二微调组件还包括：设于所述第一调节座和所述第二调节座之间的第二拉簧；所述第三微调组件还包括：设于所述第二调节座和所述安装板之间的第三拉簧。通过采用上述技术方案，在纵向调节第一微调组件的过程中，第一拉簧对安装件和第一调节座具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移；在横向调节第二微调组件的过程中，第二拉簧对第二调节座和第一调节座具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移；在竖向调节第三微调组件的过程中，第三拉簧对第二调节座和安装板具有稳定作用，从而两者之间不易相对偏移。因此，该微调装置的稳定性更强，进一步提高了调节的精确度。进一步的，所述第一微调组件还包括：分设于所述安装件和所述第一调节座上的、分别供所述第一拉簧两端固定的第一固定柱；所述第二微调组件还包括：分设于所述第一调节座和所述第二调节座上的、分别供所述第二拉簧两端固定的第二固定柱；所述第三微调组件还包括：分设于所述第二调节座和所述安装板上的、分别供所述第三拉簧两端固定的第三固定柱。通过采用上述技术方案，第一固定柱对第一拉簧具有一定的固定作用，增加了第一拉簧的稳定性；第二固定柱对第二拉簧具有一定的固定作用，增加了第二拉簧的稳定性；第三固定柱对第三拉簧具有一定的固定作用，增加了第三拉簧的稳定性。进一步的，所述安装件上设有第一滑座，所述第一调节座上设有第一滑件，所述第一滑座上设有纵向布置的、供所述第一滑件滑动式装配的第一滑槽；所述第一调节座上设有第二滑座，所述第二调节座上设有第二滑件，所述第二滑座上设有横向布置的、供所述第二滑件滑动式装配的第二滑槽；所述第二调节座上设有第三滑座，所述安装板上设有第三滑件，所述第三滑座上设有竖向布置的、供所述第三滑件滑动式装配的第三滑槽。通过采用上述技术方案，第一滑件和第一滑座的第一滑槽配合作用，对安装件的纵向调节具有较佳的导向作用；第二滑件和第二滑座的第二滑槽配合作用，对第一调节座的横向调节具有较佳的导向作用；第三滑件和第三滑座的第三滑槽配合作用，对第二调节座的竖向调节具有较佳的导向作用。本技术实施例的目的二是提供一种探针座，解决了常见探针座微调功能较低甚至不具有微调功能的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种探针座，包括：若干组如上述的微调装置；以及，驱使所述微调装置竖向移动的竖向驱动装置；所述竖向驱动装置包括：座体；设于所述座体且竖向布置的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括：丝杆，以及螺纹装配于所述丝杆的、被所述丝杆传动以上下移动的滑套；固定于所述座体的、受一控制中心控制并带动所述丝杆动作的驱动机构；以及，供若干组所述微调装置固定的、固定装配于所述滑套的安装机构，所述微调装置的所述安装板为所述安装机构的一部分。通过采用上述技术方案，在对测试芯粒进行接触测试的过程中，驱动机构可以带动丝杆转动，从而驱使滑套升降，由于滑套和探针组件之间通过安装机构牢固连接，实现探针组件的上下移动，从而无需驱动体积及重量较大的载片台上下移动，从而使得整个探针接触测试设备的体积变小，控制也随着探针组件易于驱动而变得简便，有效提升了测试的精确度，更主要的是，探针组件相对于载片台体积和重量更小，有利于节省能源。进一步的，所述驱动机构包括：通过一电机座固定于所述座体的伺服电机；以及，设于所述丝杆和所述伺服电机的转轴之间的、带动所述丝杆沿竖向轴线转动的传动件。通过采用上述技术方案，伺服电机在转动时，通过传动件实现带动丝杆同步转动，使得该驱动机构更加易于控制，而且实现自动化驱使探针组件升降，同时还具有较佳的稳定性。进一步的，所述安装机构包括：所述安装板；以及，固定于所述安装板的相对于所述探针组件的一侧、固定装配于所述滑套的支座。通过采用上述技术方案，探针组件相对固定于安装板，安装板通过支座固定于被丝杆传动的滑套，从而实现探针组件被驱使上下移动的功能，该结构制作简单，易于实现且稳定性高。进一步的，所述竖向驱动装置还包括：固定于所述安装机构一侧的挡片；固定于所述座体上的、当所述探针组件移动至下限位置时被所述挡片隔挡的、与所述控制中心连接以控制所述驱动机构动作的第一光电传感器；以及，固定于所述座体上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针座的微调装置，其特征在于，包括：供一探针组件固定的安装件(81)；与所述安装件(81)纵向滑动式装配的第一调节座(82)；设于所述安装件(81)和所述第一调节座(82)之间的、驱使所述安装件(81)相对于所述第一调节座(82)纵向滑移的第一微调组件(83)；与所述第一调节座(82)横向滑动式装配的第二调节座(84)；设于所述第一调节座(82)和所述第二调节座(84)之间的、驱使所述第一调节座(82)相对于所述第二调节座(84)横向滑移的第二微调组件(85)；与所述第二调节座(84)竖向滑动式装配的安装板(41)；以及，设于所述第二调节座(84)和所述安装板(41)之间的、驱使所述第二调节座(84)相对于所述安装板(41)竖向滑移的第三微调组件(86)。

【技术特征摘要】
1.一种探针座的微调装置，其特征在于，包括：供一探针组件固定的安装件(81)；与所述安装件(81)纵向滑动式装配的第一调节座(82)；设于所述安装件(81)和所述第一调节座(82)之间的、驱使所述安装件(81)相对于所述第一调节座(82)纵向滑移的第一微调组件(83)；与所述第一调节座(82)横向滑动式装配的第二调节座(84)；设于所述第一调节座(82)和所述第二调节座(84)之间的、驱使所述第一调节座(82)相对于所述第二调节座(84)横向滑移的第二微调组件(85)；与所述第二调节座(84)竖向滑动式装配的安装板(41)；以及，设于所述第二调节座(84)和所述安装板(41)之间的、驱使所述第二调节座(84)相对于所述安装板(41)竖向滑移的第三微调组件(86)。2.根据权利要求1所述的一种探针座的微调装置，其特征在于，所述微调装置中设置有如下结构中的一种或多种的组合：所述第一微调组件(83)包括：固定于所述第一调节座(82)的第一支撑件(831)，固定于所述安装件(81)的抵接件(832)，以及，螺纹连接于所述第一支撑件(831)的、一端抵接于所述抵接件(832)以驱使所述安装件(81)相对于所述第一调节座(82)纵向滑移的第一螺杆(833)；所述第二微调组件(85)包括：固定于所述第二调节座(84)的第二支撑件(851)，设于所述第一调节座(82)上的抵接槽(821)，以及，螺纹连接于所述第二支撑件(851)的、一端抵接于所述抵接槽(821)以驱使所述第一调节座(82)相对于所述第二调节座(84)横向滑移的第二螺杆(852)；所述第三微调组件(86)包括：固定于所述第二调节座(84)的第三支撑件(861)，以及，螺纹连接于所述第三支撑件(861)的、一端抵接于所述安装板(41)以驱使所述第二调节座(84)相对于所述安装板(41)竖向滑移的第三螺杆(862)。3.根据权利要求2所述的一种探针座的微调装置，其特征在于，所述第一微调组件(83)还包括：设于所述安装件(81)和所述第一调节座(82)之间的第一拉簧(834)；所述第二微调组件(85)还包括：设于所述第一调节座(82)和所述第二调节座(84)之间的第二拉簧(853)；所述第三微调组件(86)还包括：设于所述第二调节座(84)和所述安装板(41)之间的第三拉簧(863)。4.根据权利要求3所述的一种探针座的微调装置，其特征在于，所述第一微调组件(83)还包括：分设于所述安装件(81)和所述第一调节座(82)上的、分别供所述第一拉簧(834)两端固定的第一固定柱(835)；所述第二微调组件(85)还包括：分设于所述第一调节座(82)和所述第二调节座(84)上的、分别供所述第二拉簧(853)两端固定的第二固定柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨波，刘振辉，韦日文，李景均，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44