The invention discloses a silicon strip cleaning machine, smooth cutting comprises a box body, the box body is provided with a belt body, and the conveyor belt on both sides of the body extends to the top side of the box body, the box is fixed on the inner wall of the symmetrical two fixed rod, two fixing rods fixed on the bottom end is installed with a fixed plate and the fixed plate is located above the belt body, the fixed plate is provided with a fixed slide in the column, and the two ends of the fixed column are extended to the fixed plate, symmetrically on both sides of fixed fixed beam column, under the party and the two beams are arranged at the fixing plate, one end fixed beam away from the column fixed inverted L type rod. The invention can control the lifting of the ultrasonic vibration plate smoothly through the transmission module. The positioning module can avoid the rigid contact between the positioning rod and the positioning block, thereby improving the cleaning efficiency and cleaning quality of the silicon wafer, and prolonging the service life of the ultrasonic vibration board.
【技术实现步骤摘要】
一种切割平稳的硅片剥离清洗机
本专利技术涉及硅片清洗
,尤其涉及一种切割平稳的硅片剥离清洗机。
技术介绍
随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大,半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺目前世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,使制片技术取得明显进展。专利号为201410219626.1的一种超声波清洗设备专利技术专利公开了一种超声波清洗设备,其包括依次设置的上料输送装置、超声波清洗装置、风刀干燥装置及下料输送装置,超声波清洗装置、风刀干燥装置、上料输送装置及下料输送装置的上方对应设有机械臂动作装置,上料输送装置、超声波清洗装置、风刀干燥装置、下料输送装置及机械臂动作装置分别与电控柜控制连接,在电控柜的控制作用下,装载有多晶硅片的料筐放置在输送线上,经过上料输送装置到指定位置,此时机械臂动作装置固持料筐依次经过超声波清洗装置完成清洗工序及风刀干燥装置完成风切干燥工序,最后放置在下料输送装置上送出,该超声波清洗设备适用于多晶硅片的清洗,其能够提高清洗过程的自动化程度,生产效率较高,但其在实际使用中,超声波清洗装置并不能平稳的对硅片进行剥离清洗,其清洗质量较差。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种切割平稳的硅片剥离清洗机。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种切割平稳的硅片剥离清洗机,包括箱体,所述箱体内设有传送带本体,且传送带本体的两侧均延伸至箱体外,箱体的顶侧内壁上对称固定安装有两个固定杆,两个固定杆的底端固定 ...
【技术保护点】
一种切割平稳的硅片剥离清洗机,包括箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)内设有传送带本体(2),且传送带本体(2)的两侧均延伸至箱体(1)外,箱体(1)的顶侧内壁上对称固定安装有两个固定杆(3),两个固定杆(3)的底端固定安装有同一个固定板(4),且固定板(4)位于传送带本体(2)的上方,固定板(4)内滑动安装有固定柱(5),且固定柱(5)的两端均延伸至固定板(4)外,固定柱(5)的两侧对称固定安装有横梁(6),且两个横梁(6)均位于固定板(4)的下方,横梁(6)远离固定柱(5)的一端固定安装有倒L型杆(7),倒L型杆(7)远离横梁(6)的一端固定安装有超声波震板(8),且两个超声波震板(8)分别位于两个横梁(6)的下方,两个超声波震板(8)之间设有固定安装在传送带本体(2)顶部的清洗槽(9),固定柱(5)上设有控制超声波震板(8)升降的传动模块,横梁(6)上设有保持超声波震板(8)平稳移动的定位模块。
【技术特征摘要】
1.一种切割平稳的硅片剥离清洗机,包括箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)内设有传送带本体(2),且传送带本体(2)的两侧均延伸至箱体(1)外,箱体(1)的顶侧内壁上对称固定安装有两个固定杆(3),两个固定杆(3)的底端固定安装有同一个固定板(4),且固定板(4)位于传送带本体(2)的上方,固定板(4)内滑动安装有固定柱(5),且固定柱(5)的两端均延伸至固定板(4)外,固定柱(5)的两侧对称固定安装有横梁(6),且两个横梁(6)均位于固定板(4)的下方,横梁(6)远离固定柱(5)的一端固定安装有倒L型杆(7),倒L型杆(7)远离横梁(6)的一端固定安装有超声波震板(8),且两个超声波震板(8)分别位于两个横梁(6)的下方,两个超声波震板(8)之间设有固定安装在传送带本体(2)顶部的清洗槽(9),固定柱(5)上设有控制超声波震板(8)升降的传动模块,横梁(6)上设有保持超声波震板(8)平稳移动的定位模块。2.根据权利要求1所述的一种切割平稳的硅片剥离清洗机,其特征在于,所述传动模块包括开设在固定板(4)上的通孔(10),且固定柱(5)滑动安装在通孔(10)内,固定柱(5)的两端均延伸至通孔(10)外,固定柱(5)的顶端开设有第一圆槽(11),第一圆槽(11)内活动安装有丝杆(12),且丝杆(12)的一端延伸至第一圆槽(11)外,箱体(1)的顶部固定安装有电机(13),且电机(13)的输出轴延伸至箱体(1)内并与丝杆(12)位于第一圆槽(11)外的一端固定连接,固定柱(5)的两侧对称开设有限位槽(14),通孔(10)的两侧内壁上对称固定安装有限位块(15),限位块(15)滑动安装在限位槽(14)内。3.根据权利要求2所述的一种切割平稳的硅片剥离清洗机,其特征在于,所述第一圆槽(11)内活动安装有第一卡块(16),丝杆(12)位于第一圆槽(11)内的一端固定安装在第一卡块(16)上,第一卡块(16)靠近第一圆槽(11)开口的一侧设有固定安装在第一圆槽(11)内的固定块(17),固定块(17)上开设有螺孔(18),丝杆(12)活动安装在螺孔(18)内,且丝杆(12)的两端均延伸至螺孔(...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:南通华林科纳半导体设备有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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