一种CDS供液系统药液恒温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种CDS供液系统药液恒温装置，该装置由进气口、线盒、连接法兰、涡流散热面、外壳、加热棒、出气口、热电偶、隔热圈、安装地脚、安全减压阀组成，所述进气口开设于该恒温装置的最左端，且进气口位于所述线盒的左侧位置，所述线盒通过连接法兰与恒温装置的外壳相连接，所述外壳内部安装有加热棒。该一种CDS供液系统药液恒温装置，传统的管道式加热器均为大功率加热器，不但体积大，而且热转换率较低，要做到很小功率，体积也非常大，不能适用于清洗设备，因而开发恒温装置，该恒温装置热转换率高，能够做到功率小，体积小，广泛适用于清洗设备中，具有实用性。具有实用性。具有实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种CDS供液系统药液恒温装置


[0001]本技术涉及CDS供液系统
，具体为一种CDS供液系统药液恒温装置。

技术介绍

[0002]半导体生产过程中在清洗工序完成后越来越注重半导体表面的质量要求，因此都加入了烘干工序，随之而来的氮气加热烘干越显得重要。传统的管道式加热器均为大功率加热器，不但体积大，而且热转换率较低，要做到很小功率，体积也非常大，不能适用于清洗设备，为此，设计一种CDS供液系统药液恒温装置。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供了一种CDS供液系统药液恒温装置；
[0004]本技术提供如下技术方案：一种CDS供液系统药液恒温装置，该装置由进气口、线盒、连接法兰、涡流散热面、外壳、加热棒、出气口、热电偶、隔热圈、安装地脚、安全减压阀组成，所述进气口开设于该恒温装置的最左端，且进气口位于所述线盒的左侧位置，所述线盒通过连接法兰与恒温装置的外壳相连接，所述外壳内部安装有加热棒。
[0005]优选的，所述安装地脚的数量为两个，且两个安装地脚的规格大小一致，安装地脚安装于所述恒温装置的底部。
[0006]优选的，所述加热棒呈螺旋状设置。
[0007]优选的，所述安全减压阀靠近隔热圈的一侧，且该安全减压阀与出气口的左侧相连。
[0008]优选的，所述热电偶的测温范围在－200℃-1300℃。
[0009]优选的，所述热电偶的最高耐高温达2800℃。
[0010]与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：该一种CDS供液系统药液恒温装置，改变了多种溶液配比由手动转变成自动的过程，配比可随时改变，控制精度高，实现了配液过程中人与药液的隔离，确保人身安全，实现了自动化气体加湿。
附图说明
[0011]图1为本技术整体结构示意图；
[0012]图中：1、进气口；2、线盒；3、连接法兰；4、涡流散热面；5、外壳； 6、加热棒；7、出气口；8、热电偶；9、隔热圈；10、安装地脚；11、安全减压阀。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]请参阅图1，一种CDS供液系统药液恒温装置，该装置由进气口1、线盒2、连接法兰3、涡流散热面4、外壳5、加热棒6、出气口7、热电偶8、隔热圈9、安装地脚10、安全减压阀11组成，所述进气口1开设于该恒温装置的最左端，且进气口1位于所述线盒2的左侧位置，所述线盒2通过连接法兰3与恒温装置的外壳5相连接，所述外壳5内部安装有加热棒6。安装地脚10的数量为两个，且两个安装地脚10的规格大小一致，安装地脚 10安装于所述恒温装置的底部。
[0015]加热棒6呈螺旋状设置。
[0016]安全减压阀11靠近隔热圈9的一侧，且该安全减压阀11与出气口7的左侧相连。
[0017]热电偶8的测温范围在－200℃-1300℃。
[0018]热电偶8的最高耐高温达2800℃。
[0019]需要说明的是，该CDS供液系统药液恒温装置在使用时，气体经进气口 1进入外壳5内部腔体，通过涡流散热面4开始缓慢加热，再进入加热棒6 与涡流散热面4形成的内部腔体充分加热，最后从出气口7排出；
[0020]当出口温度超出设定温度时，热电偶8发送相关信号，由控制面板实施开关加热棒6或加大或减小进气口气量，从而实现出气口7气体温度的恒定。
[0021]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CDS供液系统药液恒温装置，其特征在于：该装置由进气口(1)、线盒(2)、连接法兰(3)、涡流散热面(4)、外壳(5)、加热棒(6)、出气口(7)、热电偶(8)、隔热圈(9)、安装地脚(10)、安全减压阀(11)组成，所述进气口(1)开设于该恒温装置的最左端，且进气口(1)位于所述线盒(2)的左侧位置，所述线盒(2)通过连接法兰(3)与恒温装置的外壳(5)相连接，所述外壳(5)内部安装有加热棒(6)。2.根据权利要求1所述的一种CDS供液系统药液恒温装置，其特征在于：所述安装地脚(10)的数量为两个，且两个安装地脚(10)的规格大小一...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐竹林，
申请(专利权)人：南通华林科纳半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：