一种氮气加热晶圆干燥槽制造技术

本实用新型专利技术提出了一种氮气加热晶圆干燥槽，包括箱体，所述箱体内设有干燥桶，所述干燥桶下部连通有氮气加热装置，所述干燥桶底部设有转动装置，所述转动装置输出端穿过所述干燥桶并连接有晶舟支座组件，干燥桶上设有密封盖；所述晶舟支座组件包括支撑面板，所述支撑面板上设有镂空槽，所述镂空槽中心设有固定部，所述镂空槽两侧阶梯排列有第一限位边和第二限位边，所述第一限位边和第二限位边端部分别设有排水孔，本装置通过将氮气加热装置内设于机箱内，保证了干燥设备的一体化结构，便于搬运，并且设置了转动装置能够驱动晶圆在干燥过程中不断转动，将表面的水甩干，提高干燥效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种氮气加热晶圆干燥槽


[0001]本技术涉及晶圆清洗设备领域，尤其涉及氮气加热晶圆干燥槽。

技术介绍

[0002]晶圆的清洗和烘干是半导体器件生产中必不可少的工艺要求。目前行业内普遍采用的烘干方式是将氮气加热后用来烘干晶圆。加热氮气所采用的技术方案为：将氮气通入一个一端装有加热器件，另一端用闷盖堵起来的空心管内；氮气输入口开在空心管上靠近固定加热器件的一端；在靠近闷盖的一端设有安装孔，用于安装喷嘴；如专利公告号为：CN 208091183 U的技术专利公开的一种用于晶片湿法清洗后的氮气烘干模块，是通过在设备外部连接桶形的氮气加热装置，并且设备内部喷射高温氮气以实现干燥，仅通过喷射氮气对晶圆下表面的干燥效果较慢，使得整个干燥时间加长，效率低。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提出了一种氮气加热晶圆干燥槽，包括箱体，所述箱体内设有干燥桶，所述干燥桶下部连通有氮气加热装置，所述干燥桶底部设有转动装置，所述转动装置输出端穿过所述干燥桶并连接有晶舟支座组件，干燥桶上设有密封盖；所述晶舟支座组件包括支撑面板，所述支撑面板上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮气加热晶圆干燥槽，其特征在于，包括箱体，所述箱体内设有干燥桶，所述干燥桶下部连通有氮气加热装置，所述干燥桶底部设有转动装置，所述转动装置输出端穿过所述干燥桶并连接有晶舟支座组件，干燥桶上设有密封盖；所述晶舟支座组件包括支撑面板，所述支撑面板上设有镂空槽，所述镂空槽中心设有固定部，所述镂空槽两侧阶梯排列有第一限位边和第二限位边，所述第一限位边和第二限位边端部分别设有排水孔。2.根据权利要求1所述的氮气加热晶圆干燥槽，其特征在于，所述转动装置包括电机，所述电机输出端连接有转轴，所述转轴与所述固定部连接。3.根据权利要求1所述的氮气加热晶圆干燥槽，其特征在于，所述干燥桶包括外桶和内桶，所述外桶顶部和底部设有定位环，所述内桶位于所述定位环之...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨仕品，
申请(专利权)人：智程半导体设备科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：