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本实用新型提出了一种氮气加热晶圆干燥槽，包括箱体，所述箱体内设有干燥桶，所述干燥桶下部连通有氮气加热装置，所述干燥桶底部设有转动装置，所述转动装置输出端穿过所述干燥桶并连接有晶舟支座组件，干燥桶上设有密封盖；所述晶舟支座组件包括支撑面板，所...
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