一种利用氮气烘干刀具的排列式机构制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片生产技术领域，具体的说是一种利用氮气烘干刀具的排列式机构，包括耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块，所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块之间左右两侧均通过连接管固定连接，所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块相对的一侧面分别开设有上安装槽和下安装槽。本实用新型专利技术将硅片从上吹气管和下吹气管之间穿过，通过恒温氮气入口连接恒温氮气源，向连接管、上吹气管和下吹气管输送恒温氮气，通过上对吹孔和下对吹孔向硅片上下两端面喷洒恒温氮气，将硅片吹干，相较于原始通过甩干烘干的做法，本装置在硅片上下表面增加恒温氮气排列吹干，能够降低硅片的加工成本，提高产能，增强收益。增强收益。增强收益。

【技术实现步骤摘要】
一种利用氮气烘干刀具的排列式机构


[0001]本技术涉及硅片生产
，具体为一种利用氮气烘干刀具的排列式机构。

技术介绍

[0002]硅片在加工时需要进行干燥处理，现有的硅片干燥工艺为，将硅片全部收纳起来，然后送入甩干或烘干设备，通过甩干或烘干设备进行甩干或烘干处理，使得产品加工效率低，生产成本高。为此，我们推出一种利用氮气烘干刀具的排列式机构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种利用氮气烘干刀具的排列式机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种利用氮气烘干刀具的排列式机构，包括耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块，所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块之间左右两侧均通过连接管固定连接，所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块相对的一侧面分别开设有上安装槽和下安装槽，所述上安装槽和下安装槽内分别安装有上吹气管和下吹气管，所述上吹气管下端面和下吹气管上端面分别等距开设有上对吹孔和下对吹孔，所述耐酸碱上固定块上端左右两侧均安装有恒温氮气入口，左右两侧所述恒温氮气入口分别与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用氮气烘干刀具的排列式机构，包括耐酸碱上固定块（1）和耐酸碱下固定块（2），其特征在于：所述耐酸碱上固定块（1）和耐酸碱下固定块（2）之间左右两侧均通过连接管（3）固定连接，所述耐酸碱上固定块（1）和耐酸碱下固定块（2）相对的一侧面分别开设有上安装槽和下安装槽，所述上安装槽和下安装槽内分别安装有上吹气管（4）和下吹气管（5），所述上吹气管（4）下端面和下吹气管（5）上端面分别等距开设有上对吹孔（6）和下对吹孔（7），所述耐酸碱上固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹤川，林双全，蔡萍，李岩，
申请(专利权)人：无锡市索克赛斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：