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本实用新型涉及硅片生产技术领域,具体的说是一种利用氮气烘干刀具的排列式机构,包括耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块,所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块之间左右两侧均通过连接管固定连接,所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块相对的一侧面分别开设有上安...该专利属于无锡市索克赛斯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市索克赛斯科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及硅片生产技术领域,具体的说是一种利用氮气烘干刀具的排列式机构,包括耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块,所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块之间左右两侧均通过连接管固定连接,所述耐酸碱上固定块和耐酸碱下固定块相对的一侧面分别开设有上安...