一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备，包括烘干设备本体和风机，所述烘干设备本体的外部上方安装有电机，且电机的下方固定有凹块，所述凹块的外部通过螺栓与凸块相连接，所述烘干设备本体的内部下方设置有滚珠，且滚轮的上方安装有圆形座，所述圆形座的上方设置有滚轮，且滚轮的外部安装有T形座。该高纯度的IT靶材生产用便于固定的烘干设备，与现有的普通烘干设备相比，能够很好的固定高纯度的IT靶材，防止高纯度的IT靶材在放置板上方随意晃动，避免影响加工质量，同时避免高纯度的IT靶材意外掉落，损坏高纯度的IT靶材，使得高纯度的IT靶材在烘干过程中和移动过程中有着很好的防掉落效果。中和移动过程中有着很好的防掉落效果。中和移动过程中有着很好的防掉落效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备


[0001]本技术涉及靶材生产
，具体为一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等，更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，其中ITO靶材生产需要的设备就有烘干设备。
[0003]现有的烘干设备功能单一，结构简单，物品在烘干设备放置烘干时不能被很好的固定，物品在烘干设备内部出现晃动，导致烘干设备及物品容易出现损坏，不能很好的满足人们的使用需求，针对上述情况，在现有的烘干设备基础上进行技术创新。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备，以解决上述
技术介绍
中提出一般的烘干设备功能单一，结构简单，物品在烘干设备放置烘干时不能被很好的固定，物品在烘干设备内部出现晃动，导致烘干设备及物品容易出现损坏，不能很好的满足人们的使用需求问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高纯度的IT靶材生产用便于固定的烘干设备，包括烘干设备本体和风机，所述烘干设备本体的外部上方安装有电机，且电机的下方固定有凹块，所述凹块的外部通过螺栓与凸块相连接，所述烘干设备本体的内部下方设置有滚珠，且滚轮的上方安装有圆形座，所述圆形座的上方设置有滚轮，且滚轮的外部安装有T形座，所述T形座的外部两侧固定有放置板，且T形座的外部上方设置有轴承，所述轴承的外部安装有螺纹杆，且螺纹杆的外部设置有螺母，所述螺母的外部固定有杆套，且杆套的外部固定有压板，所述烘干设备本体的外部前端通过合页与烘干设备门体相连接，且烘干设备本体的外部一侧固定有加热壳体，所述加热壳体的内部设置有加热棒，所述风机位于加热壳体的外部，所述烘干设备本体的外部另一侧固定有泄压组件，且泄压组件包括泄压壳体、锥形头、弹簧体和杆体，所述泄压壳体的内部设置有锥形头，所述锥形头的外部安装有弹簧体，且锥形头的内部设置有杆体。
[0006]优选的，所述凹块通过螺栓与凸块构成连接结构，且凹块与电机构成焊接一体化结构。
[0007]优选的，所述圆形座通过滚珠与烘干设备本体构成旋转结构，且滚珠沿圆形座的圆心圆周排列。
[0008]优选的，所述放置板与T形座构成焊接一体化结构，且放置板沿T形座的中轴线呈
对称分布。
[0009]优选的，所述螺纹杆与螺母之间为螺纹连接，且螺纹杆的中轴线与杆套的中轴线相重合。
[0010]优选的，所述锥形头通过弹簧体与杆体构成弹性结构，且锥形头的中轴线与杆体的中轴线相重合。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0012]1.本技术通过电机、凹块、螺栓、凸块、滚珠、圆形座、滚轮和T形座的设置，烘干设备在对高纯度的IT靶材烘干时能够旋转，便于对高纯度的IT靶材不同的位置进行烘干，使得烘干后高纯度的IT靶材比较均匀，不会出现质量不一致的情况，且能够取出放置高纯度的IT靶材的组件，便于工作人员取放高纯度的IT靶材；
[0013]2.本技术通过放置板、轴承、螺纹杆、螺母、杆套和压板的设置，能够很好的固定高纯度的IT靶材，防止高纯度的IT靶材在放置板上方随意晃动，避免影响加工质量，同时避免高纯度的IT靶材意外掉落，损坏高纯度的IT靶材，使得高纯度的IT靶材在烘干过程中和移动过程中有着很好的防掉落效果；
[0014]3.本技术通过泄压组件、泄压壳体、锥形头、弹簧体和杆体的设置，当烘干设备内部气压过高时，可以及时进行泄压，防止烘干设备发生爆炸事故，使得此烘干设备可靠性和安全性较高，可以降低使用风险，减少事故的发生率，避免出现人员伤亡。
附图说明
[0015]图1为本技术主视半剖结构示意图；
[0016]图2为本技术主视结构示意图；
[0017]图3为本技术图1中A处放大结构示意图；
[0018]图4为本技术泄压组件半剖放大结构示意图。
[0019]图中：1、烘干设备本体；2、电机；3、凹块；4、螺栓；5、凸块；6、滚珠；7、圆形座；8、滚轮；9、T形座；10、放置板；11、轴承；12、螺纹杆；13、螺母；14、杆套；15、压板；16、合页；17、烘干设备门体；18、加热壳体；19、加热棒；20、风机；21、泄压组件；2101、泄压壳体；2102、锥形头；2103、弹簧体；2104、杆体。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备，包括烘干设备本体1和风机20，烘干设备本体1的外部上方安装有电机2，且电机2的下方固定有凹块3，凹块3的外部通过螺栓4与凸块5相连接，凹块3通过螺栓4与凸块5构成连接结构，且凹块3与电机2构成焊接一体化结构，烘干设备本体1的内部下方设置有滚珠6，且滚轮8的上方安装有圆形座7，圆形座7通过滚珠6与烘干设备本体1构成旋转结构，且滚珠6沿圆形座7的圆心圆周排列，圆形座7的上方设置有滚轮8，且滚轮8的外部安装
有T形座9，T形座9的外部两侧固定有放置板10，且T形座9的外部上方设置有轴承11，放置板10与T形座9构成焊接一体化结构，且放置板10沿T形座9的中轴线呈对称分布，通过电机2、凹块3、螺栓4、凸块5、滚珠6、圆形座7、滚轮8和T形座9的设置，烘干设备在对高纯度的IT0靶材烘干时能够旋转，便于对高纯度的IT0靶材不同的位置进行烘干，使得烘干后高纯度的IT0靶材比较均匀，不会出现质量不一致的情况，且能够取出放置高纯度的IT0靶材的组件，便于工作人员取放高纯度的IT0靶材；
[0022]轴承11的外部安装有螺纹杆12，且螺纹杆12的外部设置有螺母13，螺纹杆12与螺母13之间为螺纹连接，且螺纹杆12的中轴线与杆套14的中轴线相重合，螺母13的外部固定有杆套14，且杆套14的外部固定有压板15，通过放置板10、轴承11、螺纹杆12、螺母13、杆套14和压板15的设置，能够很好的固定高纯度的IT0靶材，防止高纯度的IT0靶材在放置板10上方随意晃动，避免影响加工质量，同时避免高纯度的IT0靶材意外掉落，损坏高纯度的IT0靶材，使得高纯度的IT0靶材在烘干过程中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备，包括烘干设备本体(1)和风机(20)，其特征在于：所述烘干设备本体(1)的外部上方安装有电机(2)，且电机(2)的下方固定有凹块(3)，所述凹块(3)的外部通过螺栓(4)与凸块(5)相连接，所述烘干设备本体(1)的内部下方设置有滚珠(6)，且滚轮(8)的上方安装有圆形座(7)，所述圆形座(7)的上方设置有滚轮(8)，且滚轮(8)的外部安装有T形座(9)，所述T形座(9)的外部两侧固定有放置板(10)，且T形座(9)的外部上方设置有轴承(11)，所述轴承(11)的外部安装有螺纹杆(12)，且螺纹杆(12)的外部设置有螺母(13)，所述螺母(13)的外部固定有杆套(14)，且杆套(14)的外部固定有压板(15)，所述烘干设备本体(1)的外部前端通过合页(16)与烘干设备门体(17)相连接，且烘干设备本体(1)的外部一侧固定有加热壳体(18)，所述加热壳体(18)的内部设置有加热棒(19)，所述风机(20)位于加热壳体(18)的外部，所述烘干设备本体(1)的外部另一侧固定有泄压组件(21)，且泄压组件(21)包括泄压壳体(2101)、锥形头(2102)、弹簧体(2103)和杆体(2104)，所述泄压壳体(2101)的内部设置有锥形头(...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛春桥，崔恒，
申请(专利权)人：中山智隆新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：