一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备，包括烘干设备本体和风机，所述烘干设备本体的外部上方安装有电机，且电机的下方固定有凹块，所述凹块的外部通过螺栓与凸块相连接，所述烘干设备本体的内部下方设置有滚珠，且滚轮的上方安装有圆形座，所述圆形座的上方设置有滚轮，且滚轮的外部安装有T形座。该高纯度的IT靶材生产用便于固定的烘干设备，与现有的普通烘干设备相比，能够很好的固定高纯度的IT靶材，防止高纯度的IT靶材在放置板上方随意晃动，避免影响加工质量，同时避免高纯度的IT靶材意外掉落，损坏高纯度的IT靶材，使得高纯度的IT靶材在烘干过程中和移动过程中有着很好的防掉落效果。中和移动过程中有着很好的防掉落效果。中和移动过程中有着很好的防掉落效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备


[0001]本技术涉及靶材生产
，具体为一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等，更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，其中ITO靶材生产需要的设备就有烘干设备。
[0003]现有的烘干设备功能单一，结构简单，物品在烘干设备放置烘干时不能被很好的固定，物品在烘干设备内部出现晃动，导致烘干设备及物品容易出现损坏，不能很好的满足人们的使用需求，针对上述情况，在现有的烘干设备基础上进行技术创新。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备，包括烘干设备本体(1)和风机(20)，其特征在于：所述烘干设备本体(1)的外部上方安装有电机(2)，且电机(2)的下方固定有凹块(3)，所述凹块(3)的外部通过螺栓(4)与凸块(5)相连接，所述烘干设备本体(1)的内部下方设置有滚珠(6)，且滚轮(8)的上方安装有圆形座(7)，所述圆形座(7)的上方设置有滚轮(8)，且滚轮(8)的外部安装有T形座(9)，所述T形座(9)的外部两侧固定有放置板(10)，且T形座(9)的外部上方设置有轴承(11)，所述轴承(11)的外部安装有螺纹杆(12)，且螺纹杆(12)的外部设置有螺母(13)，所述螺母(13)的外部固定有杆套(14)，且杆套(14)的外部固定有压板(15)，所述烘干设备本体(1)的外部前端通过合页(16)与烘干设备门体(17)相连接，且烘干设备本体(1)的外部一侧固定有加热壳体(18)，所述加热壳体(18)的内部设置有加热棒(19)，所述风机(20)位于加热壳体(18)的外部，所述烘干设备本体(1)的外部另一侧固定有泄压组件(21)，且泄压组件(21)包括泄压壳体(2101)、锥形头(2102)、弹簧体(2103)和杆体(2104)，所述泄压壳体(2101)的内部设置有锥形头(...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛春桥，崔恒，
申请(专利权)人：中山智隆新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：