示教夹具、基板处理装置以及示教方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种示教夹具、基板处理装置以及示教方法。根据本发明专利技术，提供一种能够进行高质量的基板处理的技术。示教夹具具有：第一板，其决定相对于保持基板的基板保持件的在前后方向上的基板载置位置；第二板，其以相对于所述第一板正交并且沿前后方向自由移动的方式设置，决定相对于所述基板保持件的左右方向上的基板载置位置；以及定位用的目标销，其设置在所述第一板上。

【技术实现步骤摘要】
示教夹具、基板处理装置以及示教方法
本专利技术涉及示教夹具、基板处理装置以及示教方法。
技术介绍
作为半导体器件(装置)的制造工序之一，将基板载置在基板保持件上收纳到反应炉内，并进行成膜和退火等各种基板处理。在进行这些工序的基板处理装置中，作为处理对象的基板通过预先设于装置内的基板移载装置而在基板保持件与基板收纳容器之间进行搬运。用于利用这种基板移载装置决定基板在基板保持件或基板收纳容器内的搬运位置的作业(示教)以往都是依赖于作业人员的感觉来进行的。即，以往的示教方法例如在决定基板保持件的搬运位置时利用的手法如下：作业人员一边目视确认基板与基板保持件的空隙(间隙)一边操作基板移载装置，使基板相对于基板保持件向规定的基板载置位置搬运，从而决定搬运位置。因此，存在如下的问题：该作业因作业人员的熟练度不同而产生偏差，无法在各装置上以固定的精度进行示教作业，且无法进行适当的基板处理(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献1：日本专利第二898587号公报
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能够进行高质量的基板处理的技术。根据本专利技术的一方案，提供一种使用示教夹具的技术，该示教夹具具有如下部件：第一板，其决定相对于保持基板的基板保持件的在前后方向上的基板载置位置；第二板，其以相对于所述第一板正交并且沿前后方向自由移动的方式设置，决定相对于所述基板保持件的在左右方向上的基板载置位置；以及定位用的目标销，其设置在所述第一板上。专利技术效果根据本专利技术，能够进行高质量的基板处理。附图说明图1是本专利技术的实施方式中适用的基板处理装置的概略结构图。图2是表示本专利技术的实施方式中适用的基板处理装置的侧剖视图。图3是本专利技术的实施方式中适用的基板处理装置的控制器的概略结构图，利用框图示出控制器的控制系统。图4是表示本专利技术的实施方式中适用的基板移载装置的概略结构图。图5是对本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的载置位置进行说明的示意图。图6的(a)是表示本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的外观的俯视图，图6的(b)是表示图6的(a)所示的示教夹具的外观的仰视图。图7是表示本专利技术的实施方式中适用的示教夹具载置在舟皿内的状态的示意图。图8是以图7的沿B-B线的剖面表示本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的纵剖视图。图9的(a)是表示本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的目标销周边的仰视放大图，图9的(b)是图9的(a)所示的示教夹具的目标销周边的侧视放大图。图10的(a)是对在舟皿设置本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的动作进行说明的示意图，表示进行X轴方向上的定位的情况，图10的(b)是对在舟皿设置本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的动作进行说明的示意图，表示从图9的(a)所示的位置进行Y轴方向上的定位的情况，图10的(c)是对在舟皿设置本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的动作进行说明的示意图，表示从图9的(b)所示的位置进行R轴方向上的定位的情况。图11是对利用了本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的检测部的检测动作进行说明的流程图。图12的(a)是对利用了本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的R轴的检测动作进行说明的示意图，图12的(b)是对利用了本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的Y轴的检测动作进行说明的示意图，图12的(c)是对利用了本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的X轴的检测动作进行说明的示意图，图12的(d)是对利用了本专利技术的实施方式中适用的示教夹具的Z轴的检测动作进行说明的示意图。图13是表示本专利技术的实施方式中适用的基板处理工序的流程图。附图标记说明10示教夹具12第一板13第二板13a-1、13a-2圆弧部14第三板18目标销125a晶片移载装置200晶片(基板)217舟皿(基板保持件)217a-1、217a-2、217a-3舟皿柱(基板保持柱)240控制器具体实施方式(1)基板处理装置的结构以下，接着基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。如图1及2所示，作为用作收纳容器的晶片载体而使用前部开口片盒(也称为FOUP、POD。以下称为盒)110，其收纳规定个数的作为由硅等构成的基板的晶片200。基板处理装置100具有用作基板处理装置主体的壳体111。需要说明的是，在图1中，将后述的检修门104侧定义为装置前方，将待机部126侧定义为装置后方，在其他附图中说明相对于装置的前后方向的情况下，也通过相同的定义来进行说明。在壳体111的正面壁111a的正面前方部开设有作为以能够进行检修的方式设置的开口部的正面检修口103，并安装有开关该正面检修口103的各个正面检修门104。在壳体111的正面壁111a上以连通壳体111内外的方式开设有盒搬入搬出口112，盒搬入搬出口112由前闸门113进行开关。在盒搬入搬出口112的正面前方侧设置有用作搬入搬出部的装载端口114，装载端口114载置有盒110并将其进行对位。盒110在装载端口114上通过OHT(OverheadHoistTransport：高架提升传输)等未图示的工序内搬运装置进行搬入、搬出。在壳体111内的前后方向的大致中央部的上部设置有盒架(收纳架)105。盒架105具有垂直竖立设置的支承部116、和相对于支承部116在例如上中下层的各位置以沿垂直方向分别独立且能够移动的方式保持的多层载置部117。盒架105构成为以在多层载置部117上分别载置有多个盒110的状态进行保持。即，盒架105例如在一条直线上朝向同一方向配置两个盒110并沿垂直方向在多层上收纳多个盒110。在壳体111内的装载端口114与盒架105之间设置有盒搬运装置(收纳容器搬运机构)118。盒搬运装置118由作为能够在保持着盒110的状态下沿垂直方向升降的轴部的盒升降机118a、和作为载置着盒110并沿水平方向进行搬运的搬运部的盒搬运部118b构成。盒搬运装置118通过盒升降机118a与盒搬运部118b的连续动作而在其与装载端口114、盒架105、盒开启器121之间搬运盒110。在壳体111内的前后方向的大致中央部的下部，以跨过整个后端的方式构建有副壳体119。在副壳体119的正面壁119a上，例如沿垂直方向排成上下两层地设置有晶片搬入搬出口120，该晶片搬入搬出口120用于将晶片200相对于副壳体119内部搬入搬出。在上下层的晶片搬入搬出口120上分别设置有一对盒开启器121。盒开启器121具有载置盒110的载置台122、和对用作密封部件的盒110的盖进行拆装的盖拆装机构123。盒开启器121通过盖拆装机构123将载置于载置台122上的盒110的盖进行拆装，从而对盒110的晶片存取口进行开关。副壳体119构成了相对于盒搬运装置118或盒架105的设置空间流体性隔绝的移载室124。在移载室124的前侧区域内设置有晶片移载机构(基板移载机构)125，晶片移载机构125由使晶片200能够沿水平方向旋转或直动的晶片移载装置(基板移载装置)125a、和用于使晶片移载装置125a升降的晶片移载装置升降机125b。如图1示意性所示的那样，晶片移载装置升降机125b设置在副壳体119的移载室124右侧面上。这些部件通过晶片移载装置升降机125b及晶片移载装置125a的连续动作而将作为晶片移载装置125a的基板保持体(基板移载机)的镊钳125c作为晶片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种示教夹具，其特征在于，具有：第一板，其决定相对于保持基板的基板保持件的在前后方向上的基板载置位置；第二板，其以相对于所述第一板正交并且沿前后方向自由移动的方式设置，决定相对于所述基板保持件的在左右方向上的基板载置位置；以及定位用的目标销，其设置在所述第一板上。

【技术特征摘要】
2016.08.01 JP 2016-1512031.一种示教夹具，其特征在于，具有：第一板，其决定相对于保持基板的基板保持件的在前后方向上的基板载置位置；第二板，其以相对于所述第一板正交并且沿前后方向自由移动的方式设置，决定相对于所述基板保持件的在左右方向上的基板载置位置；以及定位用的目标销，其设置在所述第一板上。2.根据权利要求1所述的示教夹具，其特征在于，所述第二板具有与所述基板保持件的保持部接触的圆弧部，使所述圆弧部与所述基板保持件的保持部接触来决定左右方向上的基板载置位置。3.根据权利要求2所述的示教夹具，其特征在于，所述基板保持件的保持部设有多个，所述圆弧部构成为具有比所述保持部之间的最大距离大的直径的虚拟圆的一部分。4.根据权利要求3所述的示教夹具，其特征在于，所述第二板具有与所述第一板大致平行地形成的多个狭缝。5.根据权利要求1所述的示教夹具，其特征在于，还具有第三板，该第三板以相对于所述第二板大致平行地自由移动的方式设置，通过将所述第三板推抵至所述基板保持件的保持部，来决定相对于所述基板保持件的旋转方向上的基板载置位置。6.根据权利要求4所述的示教夹具，其特征在于，所述第三板形成为比所述第二板的长边方向上的长度更长。7.根据权利要求1所述的示教夹具，其特征在于，所述目标销在上下方向上具有多个层差部，所述多个层差...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边明人，山口亮，城宝泰宏，高岛克美，
申请(专利权)人：株式会社日立国际电气，
类型：发明
国别省市：日本,JP