硅片清洗工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗工装，其中，包括：一对固定板；上部固定杆，所述上部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接；所述上部固定杆上设置有多个用于对硅片的第一端进行限位的限位柱；所述限位柱包括圆柱状的主体和半球状的端头；下部固定杆，所述下部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接。本实用新型专利技术提供的硅片的清洗工装通过设置限位柱的形状为主体是圆柱状，且包括半球状的端头，由此避免了对硅片的划伤。与现有技术相比，提高了产品良率。

【技术实现步骤摘要】
硅片清洗工装
本技术涉及太阳能电池制造过程中的工装，尤其涉及一种硅片的清洗工装。
技术介绍
以硅为基底所生产的太阳能电池(如常规电池、HJT电池、IBC电池、PERL电池、HBC和PERC电池)，其结构都含有晶体硅。硅片钝化前，硅片清洗、制绒、干燥制程中的硅片产品良率是保障电池整个生产线成本降低、成品良率的基础；硅片表面的清洁度的提高，也是保障电池片效率提高的必备前提。因此过程中，承载硅片的工具的设计和选用尤为重要。现有技术中，量产晶硅生产线上用制绒、清洗的承片花篮上设置有硅片限位杆，该硅片限位杆处多为齿状，在硅片的取放时，硅片表面易被齿状的尖端划伤，从而影响后续制程，造成低效和外观不良。现有技术中的承片花篮上还设置有支撑杆，支撑杆若设计不当，易造成硅片制绒、硅片清洗、硅片干燥的死区，如硅片边缘部分出现制绒不良、清洗不良或留下水迹的现象。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种硅片的清洗工装，以解决现有技术中的问题，避免硅片被划伤，提高产品良率。本技术提供了一种硅片的清洗工装，其中，包括：一对固定板；上部固定杆，所述上部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接；所述上部固定杆上设置有多个限位柱；所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片的清洗工装，其特征在于，包括：一对固定板；上部固定杆，所述上部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接；所述上部固定杆上设置有多个限位柱；所述限位柱包括圆柱状的主体和半球状的端头；下部固定杆，所述下部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种硅片的清洗工装，其特征在于，包括：一对固定板；上部固定杆，所述上部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接；所述上部固定杆上设置有多个限位柱；所述限位柱包括圆柱状的主体和半球状的端头；下部固定杆，所述下部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接。2.根据权利要求1所述的硅片的清洗工装，其特征在于，所述下部固定杆上设置有多个限位槽。3.根据权利要求2所述的硅片的清洗工装，其特征在于，所述下部固定杆包括横板和竖直固定在所述横板上的一对卡板，所述卡板之间形成所述限位槽。4.根据权利要求2所述的硅片的清洗工装，其特征在于，所述下部固定杆包括板体和...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙永灯，陈贤刚，杨苗，郁操，张津燕，徐希翔，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11