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本实用新型公开了一种硅片清洗工装，其中，包括：一对固定板；上部固定杆，所述上部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接；所述上部固定杆上设置有多个用于对硅片的第一端进行限位的限位柱；所述限位柱包括圆柱状的主体和半球状的端头；下部固定杆，所述下部...
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