一种去除毛边的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种去除毛边的方法及装置，所述方法包括以下步骤：步骤一、将双面胶贴在载具上，双面胶上有多个排列整齐的开口，一一对应载具上的通孔，开口的大小小于产品的大小；步骤二、将产品放置于双面胶开口的上方，与双面胶贴合，在产品外围涂布一层金属屏蔽层；步骤三、涂布工序完成后，利用下压模块机构对产品上表面施加一定的压力；步骤四、下压模块机构上升，利用顶出机构将产品从双面胶上剥离。本发明专利技术一种去除毛边的方法及装置，它可以简单有效的去除镀层毛边，从而提高产品品质，降低产品不良风险，节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种去除毛边的方法及装置
本专利技术涉及一种去除毛边的方法及装置，属于半导体封装

技术介绍
传统Sputter基本制作工艺方法有以下方式：传统工业量产磁控溅射机台都为条带式线形一体机，其中包括除湿、等离子清洗、磁控溅射、高真空缓冲腔等模块组成。如图1，将双面胶首先平贴在sputter载具上，然后再将LGA产品用置件机放置在带有双面胶载具的通孔位置，为了确保LGA与双面胶接触紧密，防止sputter后镀层溢镀到注脚面导致短路，需要用压合机下压产品，使其紧密的与双面胶贴合。其后开始sputter溅镀过程，溅镀后用带有顶杆的顶离机使产品与载具分离，并放置在收料盘中；如图2，产品与载具分离后，会有部分镀层从治具上被一同带起，在产品底部边缘形成镀层毛边，由于镀层毛边容易脱落，在后续焊接封装过程中非常容易导致产品短路，使产品功能失效。传统除毛边的方法是将产品基板面朝上，用毛刷或者无尘布将其刷掉或者清理掉，其主要缺点是：1、用毛刷或者无尘布去除毛边，可能会使产品基板由于受到毛刷或无尘布的外力过大，造成板边破损不良。2、毛刷或无尘布与产品剧烈摩擦，容易产生静电，导致电子产品静电击穿，使产品电性能失效3、用毛刷或者无尘布除毛边，掉落的镀层毛边很容易残留在产品表面，尤其是凹陷的焊盘处，很难移除。4、擦拭除毛边过程，会使产品在载盘中不断的移动摩擦，导致镀层划伤或者基板破损不良。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种去除毛边的方法及装置，它可以简单有效的去除镀层毛边，从而提高产品品质，降低产品不良风险，节约成本。本专利技术解决上述问题所采用的技术方案为：一种去除毛边的方法，所述方法包括以下步骤：步骤一、将双面胶贴在载具上，双面胶上有多个排列整齐的开口，一一对应载具上的通孔，开口的大小小于产品的大小；步骤二、将产品放置于双面胶开口的上方，与双面胶贴合，在产品外围涂布一层金属屏蔽层；步骤三、涂布工序完成后，利用下压模块机构对产品上表面施加一定的压力；步骤四、下压模块机构上升，利用顶出机构将产品从双面胶上剥离。涂布技术采用化学气相沉积、物理气相沉积、电镀、印刷、喷涂、溅射或真空沉积。下压模块机构采用平板式设计。顶出机构有多个凸块，凸块尺寸小于载具的通孔的尺寸。一种去除毛边的装置，它包括载具，所述载具上贴装有双面胶，所述双面胶上设置有开孔，所述开孔与载具上的通孔一一对应，所述载具下方设置有顶出机构，所述载具上方设置有下压模块机构。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：1、有效的去除镀层毛边：由原来产品100%镀层毛边，降为0.5%以下。下压模块机构配合双面胶带和载具，利用下压产品时产生的剪切应力，将金属镀层在产品底层边缘处切断，从而起到去除镀层毛边的作用；2、只增加了一下压模块机构，就解决了镀层毛边的问题，成本低廉，去除毛边的效果显著，可实现产品在线全自动生产。附图说明图1为传统磁控溅射机台产品平贴于载具上的状态示意图。图2为传统磁控溅射机台产品与载具分离后的状态示意图。图3~图6为本专利技术一种去除毛边的方法的工艺流程示意图。图7为本专利技术一种去除毛边的装置的结构示意图。其中：载具1通孔2双面胶3开孔4产品5金属薄膜6镀层毛边7下压模块机构8顶出机构9凸块10。具体实施方式以下结合附图实施例对本专利技术作进一步详细描述。本专利技术一种去除毛边的方法，它包括以下步骤：步骤一、参见图3，将双面胶贴在载具上，双面胶上有多个排列整齐的开口，一一对应载具上的通孔，开口的大小小于产品的大小；步骤二、参见图4，将产品放置于双面胶开口的上方，与双面胶贴合，在产品外围涂布一层金属屏蔽层；涂布技术可以使用化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、无电极电镀、电镀、印刷、喷涂、溅射以及真空沉积；步骤三、参见图5，涂布工序完成后，利用下压模块机构对产品上表面施加一定的压力；下压模块机构是为平板式设计，平板与产品保持平行；下压模块机构由机器控制下压深度，下压产品内陷到双面胶带一定深度，利用产品与双面胶带的剪切应力将镀层切断，端口刚好是产品底部边缘，从而起到去除镀层毛边的效果。步骤四、参见图6，下压模块机构上升，利用顶出机构将产品从双面胶上剥离，顶出机构有多个凸块，凸块尺寸小于载具的通孔的尺寸，可以使凸块通过通孔将最后成品顶出。参见图7，本实施例中一种去除毛边的装置，它包括载具1，所述载具1上贴装有双面胶3，所述双面胶3上设置有开孔4，所述开孔4与载具1上的通孔2一一对应，所述载具1下方设置有顶出机构9，所述顶出机构9有多个凸块10，所述载具1上方设置有下压模块机构8；所述下压模块机构可以通过机器机构控制下压深度，双面胶为柔软材料，可以使产品在下压力的作用下内陷一定深度，载具起到支撑作用。除上述实施例外，本专利技术还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本专利技术权利要求的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种去除毛边的方法，其特征在于所述方法包括以下步骤：步骤一、将双面胶贴在载具上，双面胶上有多个排列整齐的开口，一一对应载具上的通孔，开口的大小小于产品的大小；步骤二、将产品放置于双面胶开口的上方，与双面胶贴合，在产品外围涂布一层金属屏蔽层；步骤三、涂布工序完成后，利用下压模块机构对产品上表面施加一定的压力；步骤四、下压模块机构上升，利用顶出机构将产品从双面胶上剥离。

【技术特征摘要】
1.一种去除毛边的方法，其特征在于所述方法包括以下步骤：步骤一、将双面胶贴在载具上，双面胶上有多个排列整齐的开口，一一对应载具上的通孔，开口的大小小于产品的大小；步骤二、将产品放置于双面胶开口的上方，与双面胶贴合，在产品外围涂布一层金属屏蔽层；步骤三、涂布工序完成后，利用下压模块机构对产品上表面施加一定的压力；步骤四、下压模块机构上升，利用顶出机构将产品从双面胶上剥离。2.根据权利要求1所述的一种去除毛边的方法，其特征在于：涂布技术采用化学气相沉积、物理气相沉积、电镀、印刷、喷涂、溅射或真...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘立筠，邢发军，袁安平，汪凯，
申请(专利权)人：江苏长电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32