一种玻璃离子镀膜喷涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种玻璃离子镀膜喷涂装置，所述喷涂装置位于真空镀膜腔室内部，所述真空镀膜腔室内设有密封板，所述密封板中部设有容纳玻璃的槽口，所述密封板将真空镀膜腔室分隔成真空室A、真空室B；所述喷涂装置至少包括一个喷涂单体，所述喷涂单体包括喷嘴和离子板，所述喷嘴含有两个呈“Y”字形的喷嘴出口，喷嘴连通玻璃镀膜液雾化器的入口，喷嘴出口位于真空镀膜腔室内；所述离子板包括第一离子板和第二离子板，所述第一离子板固定于真空镀膜腔室内壁顶端，所述第二离子板固定于真空镀膜腔室内壁底端。本实用新型专利技术能实现玻璃均匀喷涂，全方位喷涂。

A glass ion coating spraying device

The utility model discloses a glass ion coating spraying device, the spraying device is located inside the vacuum chamber, the vacuum coating chamber is provided with a sealing plate, a sealing plate is arranged in the middle of a notch containing glass, the sealing plate vacuum coating chamber is divided into a vacuum chamber, the vacuum chamber of A B; the the spraying device comprises at least one spraying monomer, the monomer comprises spraying nozzle and the nozzle plate ion, containing two was \Y\ shaped nozzle exit, entrance nozzle communicated with the glass coating liquid atomizer, nozzle outlet located in the vacuum coating chamber; the ion ion plate includes a first plate and a second the first ion ion plate, plate fixed on the vacuum chamber wall at the top of the second ion plate is fixed on the bottom end of the vacuum coating chamber wall. The utility model can realize the uniform spraying of glass and all azimuth spraying.

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃离子镀膜喷涂装置
本技术涉及玻璃镀膜
，尤其涉及一种玻璃离子镀膜喷涂装置。
技术介绍
玻璃镀膜，即是在玻璃表面镀上一层或多层金属，合金或金属化合物，以改变玻璃的性能。真空离子镀膜过程是在真空条件下，利用气体放电使工作气体或被蒸发物质（膜材）部分离化，在工作气体离子或被蒸发物质的离子轰击作用下，把蒸发物或其反应物沉淀积在被镀基片表面的过程。离子镀膜层的沉淀离子来源于各种类型的蒸发或溅射源，从离子来源的角度可分成蒸发离子镀和溅射离子镀两大类：（1）蒸发离子镀：通过各种加热方式加热镀膜材料，使之蒸发产生金属蒸汽，将其引入以各种方式激励产生的气体放电空间中使之电离成金属离子，它们到达施加负偏压的基片上沉积成膜。（2）溅射离子镀：通过采用高能离子对膜材表面进行溅射而产生金属粒子，金属粒子在气体放电空间电离成金属离子，它们到达施加负偏压的基片上沉积成膜。溅射离子镀有磁控溅射离子镀、非平衡磁控溅射离子镀、中频交流磁控离子镀和射频溅射离子镀等几种形式。目前，市场上应用最多的是磁控溅射离子镀，然而，现有的采用真空磁控溅射法进行玻璃镀膜的装置，是建立在气体低压放电基础上的，通过与镀膜材料（本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃离子镀膜喷涂装置，其特征在于：所述喷涂装置位于真空镀膜腔室内部，所述真空镀膜腔室内设有密封板，所述密封板中部设有容纳玻璃的槽口，所述密封板将真空镀膜腔室分隔成真空室A、真空室B；所述喷涂装置至少包括一个喷涂单体，所述喷涂单体包括喷嘴和离子板，所述喷嘴含有两个呈“Y”字形的喷嘴出口，喷嘴连通玻璃镀膜液雾化器的入口，喷嘴出口位于真空镀膜腔室内；所述离子板包括第一离子板和第二离子板，所述第一离子板固定于真空镀膜腔室内壁顶端，所述第二离子板固定于真空镀膜腔室内壁底端。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃离子镀膜喷涂装置，其特征在于：所述喷涂装置位于真空镀膜腔室内部，所述真空镀膜腔室内设有密封板，所述密封板中部设有容纳玻璃的槽口，所述密封板将真空镀膜腔室分隔成真空室A、真空室B；所述喷涂装置至少包括一个喷涂单体，所述喷涂单体包括喷嘴和离子板，所述喷嘴含有两个呈“Y”字形的喷嘴出口，喷嘴连通玻璃镀膜液雾化器的入口，喷嘴出口位于真空镀膜腔室内；所述离子板包括第一离子板和第二离子板，所述第一离子板固定于真空镀膜腔室内壁顶端，所述第二离子板固定于真空镀膜腔室内壁底端。2.根据权利要求1所述的玻璃离子镀膜喷涂装置，其特征在于：所述密封板为“回”字形结构，中部为容纳玻璃的槽口。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭傲寒，吴志勇，刘源，饶建超，
申请(专利权)人：湖北弘港科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42