一种旋转靶绑定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种旋转靶绑定装置，包括背管和靶管，所述背管和靶管之间设有中间层，背管的底端设有模芯，模芯外设有模座，模座下面设有底盘，底盘下面设有螺柱，底盘经螺柱与推板连接，推板下面设有油压机，螺柱与中间层之间设有滑块。本实用新型专利技术的中间层采用铅锡合金将背管和靶管绑定，由于铅锡合金的性能稳定，熔点低，流动性好，并且固化后不会产生流动,可以替代昂贵的铟金属，节省了成本。本实用新型专利技术提供了一种结构简单、制作成本低、溅射效果好和使用寿命长的旋转靶绑定装置。

A kind of rotating target binding device

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶绑定装置
本技术涉及靶制造
，尤其是涉及一种旋转靶绑定装置。
技术介绍
溅射靶材通常有两类：平面靶材和旋转靶材。与传统的平面靶相比，旋转靶可以进行360°的旋转，使旋转靶的利用率达到80%，而平面靶的利用率仅为20%至30%。并且，采用旋转靶的溅射设备中的气体分布均匀，可以使制备的薄膜具有较好的均匀性。同时，旋转靶还可以实现较高的溅射速率。为了实现大面积地制备薄膜，现有的旋转靶是由多段旋转靶材拼接而成的，在各旋转靶材旋转的过程中，由于各旋转靶材之间的拼接处始终对应基板的同一位置，基板上与拼接处对应的薄膜的性能和与非拼接处对应的薄膜的性能存在差别，致使旋转靶的镀膜质量较差。而现在旋转靶固定处理常通过铟的熔化接合来完成，铟是周期表的第13族(硼族)的稀有金属元素，不仅价格昂贵，而且熔点低、中间层较厚（0.3-0.5mm）、耐热性较差和容易流动，导致靶材使用时会产生脱靶现象，另一方面，铟对人体和环境有害；也有直接使用胶结绑定或者采用机械扣结，但是也会由于绑定不牢靠产生脱靶现象。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的缺陷，提供一种结构简单、制作成本低、溅射效果好和使用寿命长本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转靶绑定装置，其特征在于，包括背管和靶管，所述背管和靶管之间设有中间层，背管的底端设有模芯，模芯外设有模座，模座下面设有底盘，底盘下面设有螺柱，底盘经螺柱与推板连接，推板下面设有油压机，螺柱与中间层之间设有滑块。

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶绑定装置，其特征在于，包括背管和靶管，所述背管和靶管之间设有中间层，背管的底端设有模芯，模芯外设有模座，模座下面设有底盘，底盘下面设有螺柱，底盘经螺柱与推板连接，推板下面设有油压机，螺柱与中间层之间设有滑块。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓锐，李真真，刘振兴，黄飞虎，
申请(专利权)人：洛阳罗伊机械有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41