基板搬运机器人及真空处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供即使没有对手部的末端进行检测也能进行基板的准确的移动的基板搬运机器人。将手部（40）的定位指部（55）以在支承板（41）上配置石英板（42）的方式构成，在石英板（42）的根部部分处，设置被固定于支承板（41）的固定部（50）。石英板（42）的固定部（50）以外的部分未被固定于支承板（41），即使被加热而支承板（41）延伸，石英板（42）也不延伸，不存在被设置于石英板（42）的末端的末端侧限位器（56）由于热膨胀的移动。

Substrate handling robot and vacuum treatment device

The present invention provides a base plate handling robot that can move the substrate accurately, even without the end of the opponent's part. The positioning part (55) of the hand part (40) is composed of a quartz plate (42) arranged on the supporting plate (41), and a fixed part (50) fixed to the supporting plate (41) is arranged at the root part of the quartz plate (42). The quartz plate (42) fixed part (50) part of the outside is not fixed on the support plate (41), even if is heated and the support plate (41) extending quartz plate (42) is not extended, there is no set on a quartz plate (42) limiter terminal side of the terminal (56 due to the thermal expansion of mobile).

【技术实现步骤摘要】
基板搬运机器人及真空处理装置
本专利技术涉及基板搬运机器人的
，特别地涉及能够准确地进行基板的定位的基板搬运机器人。
技术介绍
以往以来，为了使玻璃板、半导体晶片等基板移动，广泛地使用在手部上配置基板并使手部移动的基板搬运机器人。基板搬运机器人的手部存在将基板载置于细长的多个指部（轴部）来搬运基板的类型。在手部的末端设置末端侧限位器，防止基板的偏移，并且确定基板的位置（现有文献1）。基板搬运机器人从处理结束的前工序的真空处理室的内部朝向进行接下来的处理即后工序的真空处理室的内部，在真空环境中使基板移动。在进行前工序的处理时基板有时被加热，另外，欲向后工序移动的基板有时被升温至高温。若高温的基板被载置于手部的细长的指部上，则指部被加热。指部因需要强度，所以由陶瓷或金属构成。若指部被加热而指部升温，则指部以与构成指部的材料的热膨胀系数对应的量进行热膨胀而变长，结果，被设置于指部的末端的末端侧限位器的位置从指部的根部向远离的方向移动。存在下述问题：由于搬运张数的增加及搬运时间（运转时间）的经过，指部的温度上升，伴随着温度的上升，末端侧限位器的位置发生变化，因此，被搬运到后工序的真空处理室的基板的位置不是恒定的。专利文献1：日本特开2015-82532号公报。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述现有技术的不完备之处而作出的，其目的在于提供即使指部的温度上升、末端侧限位器的位置变动也较小的基板搬运机器人。为了解决上述问题，本专利技术是一种基板搬运机器人，前述基板搬运机器人使被配置基板的手部移动，其中，前述手部具有掌部和多根细长的指部，前述多根细长的指部被设置于前述掌部，被配置一张基板，多根前述指部中的至少一根前述指部是具有支承板、石英板的定位指部，前述支承板是根部部分被固定于前述掌部的细长的支承板，前述石英板是在前述支承板上沿前述支承板地载置的细长的石英板，在前述石英板的两端中的接近前述掌部的根部侧的一端，设置固定部，在距离前述掌部远的末端侧的另一端，设置末端侧限位器，前述固定部被安装于由前述掌部与前述支承板构成的支承体，末端侧的前述另一端未被安装于前述支承体。此外，本专利技术是前述手部具有两个以上的前述定位指部的基板搬运机器人。本专利技术是前述石英板形成为多个石英部件被相互固定的基板搬运机器人。本专利技术是前述支承板由氧化铝构成的基板搬运机器人。本专利技术是一种真空处理装置，前述真空处理装置具有搬运室、真空处理室，前述搬运室具有基板搬运机器人、真空槽，前述基板搬运机器人使被配置基板的手部移动，前述真空槽配置有前述基板搬运机器人，前述真空处理室被连接于前述搬运室，对前述基板进行真空处理，前述手部具有掌部和多根细长的指部，前述多根细长的指部被设置于前述掌部，被配置一张基板，多根前述指部中的至少一根前述指部是具有支承板、石英板的定位指部，前述支承板是根部部分被固定于前述掌部的细长的支承板，前述石英板是在前述支承板上沿前述支承板地载置的细长的石英板，在前述石英板的两端中的接近前述掌部的根部侧的一端，设置固定部，在距离前述掌部远的末端侧的另一端，设置末端侧限位器，前述固定部被安装于由前述掌部与前述支承板构成的支承体，末端侧的前述另一端未被安装于前述支承体，前述手部具有两个以上的前述定位指部。本专利技术是如技术方案5所述的真空处理装置，前述手部具有两个以上的前述定位指部。本专利技术是前述石英板形成为多个石英部件被相互固定的真空处理装置。此外，本专利技术是前述支承板由氧化铝构成的真空处理装置。在指部设置由石英构成的石英板，在石英板的末端设置有末端侧限位器，因此末端侧限位器由热膨胀导致的移动量变小，基板的定位变得准确。附图说明图1是用于对真空处理装置进行说明的图。图2是用于对搬运室进行说明的图。图3是用于对基板搬运机器人进行说明的局部剖视图。图4是该基板搬运机器人的立体图。图5是手部的俯视图。图6是用于对将基板配置于该手部的状态进行说明的俯视图。图7是用于对定位指部进行说明的局部剖视图。图8（a）是图5的I-I线剖切剖视图，图8（b）是图5的II-II线剖切剖视图，图8（c）是表示固定部的一个例子的剖视图，图8（d）是用于对连结部进行说明的俯视图。具体实施方式图1是进行处理对象物的真空处理的真空处理装置10，该真空处理装置10具有搬运室11、多个真空处理室12、至少一台搬出搬入室13。各真空处理室12与搬出搬入室13被配置于搬运室11的周围，构成为通过开闭闸阀，而将各真空处理室12的内部、搬出搬入室13的内部与搬运室11的内部连接或者隔断。如图2所示，搬运室11具有真空槽21、搬运机器人20。图3是搬运机器人20的侧面的放大图，图4是立体图。搬运机器人20具有手部40、滑动板33、台座32、支柱部31。手部40、滑动板33、台座32被配置于真空槽21的内部，支柱部31的下部被设置于真空槽21的外部，在支柱部31的真空槽21的内部的部分上，从下方将台座32、滑动板33和手部40按照该顺序安装。真空排气装置14被连接于各室11~13的真空槽，使真空排气装置14动作来将各室11~13的内部真空排气。真空排气装置14、搬运机器人20和下述马达23的动作被控制装置28控制。台座32在支柱部31上以能够旋转以及升降的方式被设置。滑动板33被固定于台座32，若借助马达23的动作，支柱部31的内部的旋转轴旋转，则滑动板33与台座32一起旋转，另外，若旋转轴上下地移动，则滑动板33与台座32一起上下地移动。手部40具有掌部34、被设置于掌部34的多个指部51a~54a、51b~54b。掌部34是金属制的、或者是氧化铝等陶瓷制的，指部51a~54a、51b~54b具有金属制、或者氧化铝等陶瓷制的部件。滑动板33被水平地配置，在朝向上方的表面上设置有引导槽49。滑动板33呈长方形形状，引导槽49呈直线状，被设置成与滑动板33的长边平行，另外，引导槽49被水平地配置。掌部34被连接于被控制装置28控制的未图示的马达，掌部34以该马达进行动作从而能够沿引导槽49延伸的方向移动的方式被安装于引导槽49。在该例中，设成当掌部34在滑动板33上水平地移动时，掌部34在水平面内直线移动。在掌部34中，设置有被水平地设置的多个指部51a~54a、51b~54b。在该例中，以指部51a~54a、51b~54b的全部与掌部34的后述的前进移动以及后退移动的方向平行地，朝向相同的方向的方式，相互离开地被设置。多个指部51a~54a（这里为4根）与其余的多个指部51b~54b（这里为4根）被设置成一方的多个为上层、另一方的多个为下层的2层。被配置于上层与下层中的一层的多个指部51a~54a与被配置于另一层的多个指部51b~54b能够分别地保持各自的基板。上层的指部51a~54a被设置成彼此相同程度的高度，下层的指部51b~54b被设置成彼此相同程度的高度，分别载置一张基板16。图4、6的附图标记16表示被配置于手部40的上层的指部51a~54a、或者下层的指部51b~54b的基板。这样，在手部40中，能够分别在上层的指部51a~54a与下层的指部51b~54b中各配置一张基板16，因此，能够在手部40配置两张基板16。若掌部34沿引导槽49前进移动或者后退移动，则手部40、被配置于手部4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬运机器人，前述基板搬运机器人使被配置基板的手部移动，前述基板搬运机器人的特征在于，前述手部具有掌部和多根细长的指部，前述多根细长的指部被设置于前述掌部，被配置一张基板，多根前述指部中的至少一根前述指部是具有支承板、石英板的定位指部，前述支承板是根部部分被固定于前述掌部的细长的支承板，前述石英板是在前述支承板上沿前述支承板地载置的细长的石英板，在前述石英板的两端中的接近前述掌部的根部侧的一端，设置固定部，在距离前述掌部远的末端侧的另一端，设置末端侧限位器，前述固定部被安装于由前述掌部与前述支承板构成的支承体，末端侧的前述另一端未被安装于前述支承体。

【技术特征摘要】
2016.07.29 JP 2016-1499371.一种基板搬运机器人，前述基板搬运机器人使被配置基板的手部移动，前述基板搬运机器人的特征在于，前述手部具有掌部和多根细长的指部，前述多根细长的指部被设置于前述掌部，被配置一张基板，多根前述指部中的至少一根前述指部是具有支承板、石英板的定位指部，前述支承板是根部部分被固定于前述掌部的细长的支承板，前述石英板是在前述支承板上沿前述支承板地载置的细长的石英板，在前述石英板的两端中的接近前述掌部的根部侧的一端，设置固定部，在距离前述掌部远的末端侧的另一端，设置末端侧限位器，前述固定部被安装于由前述掌部与前述支承板构成的支承体，末端侧的前述另一端未被安装于前述支承体。2.如权利要求1所述的基板搬运机器人，其特征在于，前述手部具有两个以上的前述定位指部。3.如权利要求1或2所述的基板搬运机器人，其特征在于，前述石英板形成为多个石英部件被相互固定。4.如权利要求1至3中任一项所述的基板搬运机器人，其特征在于，前述支承板由氧化铝构成。5.一种真空处理装置，其特征在于，前述真...

【专利技术属性】
技术研发人员：神保洋介，江藤谦次，藤井严，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP