压电振动器件制造技术

本发明专利技术提供一种能稳定地与外部元件接合的三明治结构的压电振动器件。压电振动器件(1)是压电基片(2)中至少振动部(21)被第一密封构件(3)和第二密封构件(4)密封的压电振动器件，压电基片(2)具备振动部(21)、及被形成为包围着振动部(21)的外周且比振动部(21)壁厚更厚的外框部(23)，在第一密封构件(3)及第二密封构件(4)的至少一方设置有连接外部元件(5)的外部电极(31)，外部元件(5)至少在压电基片(2)的外框部(23)中与外部电极(31)连接。

Piezoelectric vibratory device

The invention provides a piezoelectric vibration device capable of stabilizing a sandwich structure with an external element. The piezoelectric vibration device (1) is a piezoelectric substrate (2) in vibration part (21) is at least a first sealing member (3) and second (4) of the sealing member seals piezoelectric vibration device, a piezoelectric substrate (2) with (21), and the vibration part is formed to be surrounded by vibration part (21) of the peripheral and the vibrating part (21) wall thickness thicker outer frame (23), the first sealing member (3) and a two sealing member (4) at least one side is provided with a connecting external components (5) of the external electrode (31), (5) at least external components the piezoelectric substrate (2) of the frame part (23) with an external electrode (31) connection.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电振动器件
本专利技术涉及一种压电振动器件。
技术介绍
近年，各种电子设备朝着工作频率高频化、封装体小型化(特别是低矮化)方向发展。因此，随着高频化及封装体小型化，要求压电振动器件(例如晶体谐振器等)也对应于高频化及封装体小型化。这种压电振子中，其壳体由长方体的封装体构成。该封装体包括，由玻璃或石英晶体构成的第一密封件和第二密封件；及由石英晶体构成且在两个主面上形成有激发电极的晶体振动片。第一密封件与第二密封件隔着晶体振动片叠层并接合，从而在封装体的内部(内部空间)配置的晶体振动片的激发电极被气密密封(例如，参照专利文献1)。以下，将这样的压电振子的叠层形态称为三明治结构。另外，专利文献2中公开了一种晶体振荡器，该晶体振荡器是将半导体振荡电路元件与晶体谐振器封装在同一封装体内而构成的晶体振荡器，其中，上述晶体谐振器的一个面上设置有图案，该图案上安装有半导体振荡电路元件，并且，该半导体振荡电路元件的粘接垫与上述晶体谐振器的图案电连接。然而，制造在专利文献1的压电振子上安装有专利文献2的半导体振荡电路元件的压电振动器件时，会发生以下问题。即，由于将半导体振荡电路元件(外部元件)压在压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动器件，包括具备通过施加电压而使其进行压电振动的振动部的压电基片、将所述压电基片的一个主面覆盖并将所述振动部密封的第一密封构件、及将所述压电基片的另一个主面覆盖并将所述振动部密封的第二密封构件，所述压电基片中至少所述振动部被所述第一密封构件和第二密封构件密封，其特征在于：所述压电基片具备所述振动部、及被形成为将该振动部的外周包围且比该振动部壁厚更厚的外框部，在所述第一密封构件及第二密封构件的至少一方设置有连接外部元件的外部电极，所述外部元件至少在所述压电基片的外框部中与所述外部电极连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.27 JP 2015-0659721.一种压电振动器件，包括具备通过施加电压而使其进行压电振动的振动部的压电基片、将所述压电基片的一个主面覆盖并将所述振动部密封的第一密封构件、及将所述压电基片的另一个主面覆盖并将所述振动部密封的第二密封构件，所述压电基片中至少所述振动部被所述第一密封构件和第二密封构件密封，其特征在于：所述压电基片具备所述振动部、及被形成为将该振动部的外周包围且比该振动部壁厚更厚的外框部，在所述第一密封构件及第二密封构件的至少一方设置有连接外部元件的外部电极，所述外部元件至少在所述压电基片的外框部中与所述外部电极连接。2.如权利要求1所述的压电振动器件，其特征在于：所述外部电极通过金属凸块与所述外部元件连接。3.如权利要求2所述的压电振动器件，其特征在于：所述外部电极中至少包含，与在所述压电基片的所述振动部设置的一对第一激发电极及第二激发电极连接的第一激发电极用外部电极及第二激发电极用外部电极，唯有将所述第一激发电极用外部电极与所述外部元件连接的所述金属凸块被设置在，俯视时与将所述第一激发电极与所述第一激发电极用外部电极连接的第一布线线路叠合的位置，唯有将所述第二激发电极用外部电极与所述外部元件连接的所述金属凸块被设置在，俯视时与将所述第二激发电极与所述第二激发电极用外部电极连接的布线线路叠合的位置。4.如权利要求1所述的压电振动器件，其特征在于：所述外部电极中至少包含，与在所述压电基片的所述振动部设置的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：古城琢也，石野悟，
申请(专利权)人：株式会社大真空，
类型：发明
国别省市：日本,JP