下载压电振动器件的技术资料

文档序号:17103426

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本发明提供一种能稳定地与外部元件接合的三明治结构的压电振动器件。压电振动器件(1)是压电基片(2)中至少振动部(21)被第一密封构件(3)和第二密封构件(4)密封的压电振动器件,压电基片(2)具备振动部(21)、及被形成为包围着振动部(21...
该专利属于株式会社大真空所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大真空授权不得商用。

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