压电振动构件、制造压电振动构件的方法和压电振动器技术

本发明专利技术提供了一种压电振动构件、制造压电振动构件的方法和压电振动器，所述压电振动构件包括：振动基板，包括振动部和比所述振动部薄的环绕部；振动电极，设置在所述振动部的沿所述振动基板的厚度方向的一个表面和另一表面上，其中，所述振动部包括突出部，所述突出部中的每个比所述环绕部的沿厚度方向的一个表面和另一表面凸出，所述突出部的每个侧表面具有两个或更多个晶体平面。

【技术实现步骤摘要】
本申请要求于2014年9月16日提交到韩国知识产权局的第10-2014-0122946号和于2014年9月29日提交到韩国知识产权局的第10-2014-0129987号韩国专利申请的优先权和权益，该申请公开的内容通过引用被包含于此。
本公开涉及一种压电振动构件、制造该压电振动构件的方法和压电振动器。
技术介绍
压电振动器是通过压电振动构件振动而产生具有特定频率的振动的设备，其中，压电振动构件由于在向压电振动构件施加电压时压电振动构件中出现的压电现象而振动。由于压电振动器具有稳定的振动频率，因此在提供基准级信号的多个核心组件中以及在计算机或通信装置的振荡电路中已使用了这样的装置。由晶体形成的压电振动构件包括：振动基板，使用晶体作为基底材料；电极，设置在振动基板上，其中，振动基板可根据需要的物理特性而具有各种形状。当处于厚度剪切振动模式的压电振动构件形成为使得振动基板的厚度从振动基板的中央部朝向振动基板的端部逐渐减小时，端部中振动位移的阻尼量增大，从而可改善振动能被陷在压电振动构件的中央部的效应并可改善频率特性(例如，CI值、Q值等)。可实现振动能陷效应(vibration energy trapping effect)的压电振动构件的形状的示例包括凸状的弯曲表面形成为主表面的凸面形、平坦且厚的中央部与端部的边缘之间的空间形成为倾斜表面的坡面形、中央部平坦且厚并且围绕中央部的部分薄的台形等。在厚平的中央部的厚度和纤薄的环绕部的厚度在网状的压电振动构件中快速改变的情况下，可能会减小能陷效应并可能会降低电极连接性。因此，
已需要能够解决这些问题的压电振动构件。【现有技术文献】(专利文献1)第2010-109526号日本专利特许公开
技术实现思路
本公开的一方面可提供一种压电振动构件、制造该压电振动构件的方法和压电振动器。根据本公开的一方面，一种压电振动构件包括：振动基板，具有突出部，所述突出部中的每个形成在所述振动基板的沿所述振动基板的厚度方向的一个表面和另一表面上；振动电极，其中，所述突出部的每个侧表面具有两个或更多个晶体平面，从而能陷效应优良并且改善了电极连接性。根据本公开的另一方面，提供一种制造压电振动构件的方法，所述方法包括：在晶片上形成抗蚀图案；形成突出部；对已去除所述抗蚀图案的晶片再次进行蚀刻，使得所述突出部的每个侧表面具有两个或更多个晶体平面，从而能陷效应优良并且改善了电极连接性。根据本公开的另一方面，一种压电振动器包括：压电振动构件，其中，突出部的每个侧表面具有两个或更多个晶体平面；上壳和下壳，所述压电振动构件容纳在所述上壳和所述下壳中；连接电极，连接到所述压电振动构件的电极部；外部电极。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，本公开的上述和其他方面、特点和优点将会被更清楚地理解，其中：图1是根据本公开的示例性实施例的压电振动构件的透视图；图2是沿图1的A-A’线截取的压电振动构件的截面图；图3是沿图1的B-B’线截取的压电振动构件的截面图；图4是沿图1的C-C’线截取的压电振动构件的其中设置有连接电极的区域的截面图；图5是示出根据本公开的示例性实施例的变型示例的压电振动构件的透视图；图6是沿图5的P-P’线截取的截面图；图7是沿图5的Q-Q’线截取的截面图；图8是示出制造根据本公开的另一示例性实施例的压电振动构件的方法的流程图；图9A至图12B是示出制造压电振动构件的操作中的一些操作中的压电振动构件的截面图；图13是根据本公开的示例性实施例的压电振动器的分解透视图；图14是沿图13的D-D’线截取的压电振动器的截面图。具体实施方式现在将参照附图详细地描述本公开的示例性实施例。然而，本公开可以以多种不同的形式例示并且不应该被解释为局限于阐述于此的特定实施例。更确切地说，提供这些实施例以使本公开将是彻底的和完整的，并将本公开的范围完全传达给本领域的技术人员。在附图中，为了清楚起见，可夸大元件的形状和尺寸，并且相同的标号将始终用于指示相同或相似的元件。压电振动构件在下文中，将描述根据本公开的示例性实施例的压电振动构件。图1是根据本公开的示例性实施例的压电振动构件100的透视图。图2是沿图1的A-A’线截取的压电振动构件100的截面图；图3是沿图1的B-B’线截取的压电振动构件100的截面图。参照图1至图3，根据本公开的示例性实施例的压电振动构件100可包括振动基板110和设置在振动基板上的电极部120。振动基板110可包括：振动部112，具有相对厚的厚度；环绕部111，具有比振动部的厚度小的厚度，其中，振动部112可包括与比环绕部111的沿厚度方向的一个表面(即，上表面)和另一表面(即，下表面)凸出的区域相对应的突出部112a和112b。例如，突出部可包括：第一突出部112a，比环绕部111的沿厚度方向的一个表面凸出；第二突出部112b，比环绕部111的沿厚度方向的另一表面凸出。包括在压电振动构件100中的振动基板110可包含晶体，作为其材料，其中，晶体用作机械式振动发生器。根据本公开的示例性实施例，晶体可以是石英。电极部120可包括：振动电极121a和121b，设置在振动部112的沿厚度方向的一个表面(即，上表面)和另一表面(即，下表面)上；端电极123a和123b，设置在环绕部111的沿厚度方向的一个表面和另一表面中的至少一个上；连接电极122a和122b，将振动电极和端电极彼此连接。第一振动电极121a可设置在振动部112的沿厚度方向的一个表面上并通过第一连接电极122a连接到第一端电极123a，第二振动电极121b可设置在振动部112的与振动部112的一个表面相对的另一表面上并通过第二连接电极122b连接到第二端电极123b。第一端电极123a可从环绕部111的沿厚度方向的一个表面延伸到环绕部的一个侧表面并延伸到环绕部的沿厚度方向的另一表面，第二端电极123b可从环绕部111的沿厚度方向的另一表面延伸到环绕部的一个侧表面并延伸到环绕部的沿厚度方向的一个表面。然而，本公开不限于此。根据本公开的示例性实施例，当在平面上观看时，比环绕部111的沿厚度方向的一个表面和另一表面凸出的突出部112a和112b的沿厚度方向的一个表面STa和STb可大体上具有矩形形状，虽然由于表面STa和STb的角部的蚀刻导致表面STa和STb不具有完整的矩形形状，但是下面描述的突出部的表面STa和STb指比环绕部111沿厚度方向的一个表面和另一表面突出的突出部的沿厚度方向的一个表面。在本公开的示例性实施例中，突出部的侧表面1a、1b、2a、2b、3a、3b、4a和4b指将突出部的表面STa和STb的每侧和环绕部111的沿厚度方向的一个表面和另一表面彼此连接的表面，突出部的每个侧表面可包括两个或更多个晶体平面。突出部112a和112b的每个侧表面可具有倾斜的形状，突出部112a和112b的上部可具有比突出部112a和112b的下部的宽度窄的宽度。根据本公开的示例性实施例，第一突出部112a可包括四个侧表面1a、2a、3a和4a，第二突出部112b可包括四个侧表面1b、2b、3b和4b，第一突出部和第二突出部的每个侧表面可具有两个或更多个晶体平面。包括在突出部112a和112b的每个侧表面中的所述两个或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动构件，所述压电振动构件包括：振动基板，包括振动部和比所述振动部薄的环绕部；振动电极，设置在所述振动部的沿所述振动基板的厚度方向的一个表面和另一表面上，其中，所述振动部包括突出部，所述突出部中的每个比所述环绕部的沿厚度方向的一个表面和另一表面凸出，所述突出部的每个侧表面具有两个或更多个晶体平面。

【技术特征摘要】
2014.09.16 KR 10-2014-0122946;2014.09.29 KR 10-2011.一种压电振动构件，所述压电振动构件包括：振动基板，包括振动部和比所述振动部薄的环绕部；振动电极，设置在所述振动部的沿所述振动基板的厚度方向的一个表面和另一表面上，其中，所述振动部包括突出部，所述突出部中的每个比所述环绕部的沿厚度方向的一个表面和另一表面凸出，所述突出部的每个侧表面具有两个或更多个晶体平面。2.如权利要求1所述的压电振动构件，其中，所述突出部的沿厚度方向的一个表面具有矩形形状。3.如权利要求1所述的压电振动构件，其中，所述两个或更多个晶体平面相对于所述突出部的沿厚度方向的一个表面具有不同的倾斜角度。4.如权利要求1所述的压电振动构件，其中，所述振动基板由石英形成。5.如权利要求1所述的压电振动构件，其中，所述突出部的侧表面包括相对于所述环绕部的沿厚度方向的一个表面的延伸平面形成锐角的晶体平面和相对于所述突出部的沿厚度方向的一个表面形成钝角的晶体平面。6.如权利要求1所述的压电振动构件，所述压电振动构件还包括：端电极，设置在所述环绕部的沿厚度方向的一个表面和另一表面上；连接电极，将所述端电极和所述振动电极彼此连接。7.如权利要求6所述的压电振动构件，其中，所述连接电极设置在所述突出部的一个或更多个侧表面上。8.如权利要求1所述的压电振动构件，其中，所述突出部的至少一个侧表面可包括石英晶体的天然晶体平面和具有与所述天然晶体平面的倾斜角度不同的倾斜角度的晶体平面。9.一种压电振动构件，所述压电振动构件包括：振动基板，具有突出部，所述突出部中的每个设置在所述振动基板的沿所述振动基板的厚度方向的一个表面和另一表面上，所述突出部的沿厚度方向的一个表面具有...

【专利技术属性】
技术研发人员：李锺泌，林承模，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR