靶材辅助配件的加工方法技术

一种靶材辅助配件的加工方法，包括：提供待加工件；对所述第一端面进行第一机械处理；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。在第二机械处理和第三机械处理过程中，所述垫块和所述辅助夹具分别起到支撑作用，能过有效降低所述底壳和所述斜壁发生扭曲变形的可能。

Processing methods for auxiliary parts of target materials

Including the processing method, a target: to provide auxiliary parts to be machined; on the first end of the first mechanical processing; forming the connecting hole through the bottom of the shell in the bottom shell; a cushion block is arranged in the groove; the cushion block is arranged by second after mechanical treatment to remove part of the second end face and the outer peripheral surface of the workpiece material; auxiliary fixture are respectively arranged in the bottom shell of the bottom surface and the adsorption surface; setting auxiliary fixture after through third mechanical treatment to remove part of the side wall. In the second mechanical treatment and third mechanical treatment, the cushion block and the auxiliary fixture play a supporting role respectively, which can effectively reduce the possibility of distortion and distortion of the bottom shell and the inclined wall.

【技术实现步骤摘要】
靶材辅助配件的加工方法
本专利技术涉及机械加工领域，特别涉及一种靶材辅助配件的加工方法。
技术介绍
在半导体制程的制造工序中，往往需要形成各种膜层。溅射工艺是半导体制造领域一种广泛使用的成膜工艺。溅射工艺是物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)中的一种，具体地，利用带电粒子轰击靶材，加速的粒子轰击固体表面时，粒子与固体表面原子发生碰撞，产生能量和动量的转移，使靶材表面原子从靶材表面溢出并沉积在基底表面形成膜层。溅射工艺在进行过程中，会有反溅射物产生。由于靶材组件中起支撑作用的背板本身具有一定的附着力，所以反溅射物会附着在背板上，形成吸附颗粒物。但是随着工艺不断发展，某些溅射工艺在进行过程中产生的反溅射物比较多，会导致反溅射物无法顺利附着，从而发生吸附颗粒物剥落(Peeling)和尖端放电(Arcing)等问题，严重影响生产过程，导致产品报废。为了减少溅射工艺过程中出现吸附颗粒物剥落和尖端放电的问题，在溅射设备中设置有靶材辅助配件，用于在溅射工艺过程中吸附颗粒物。但是现有技术中，所述靶材辅助配件加工难度较大，容易发生变形扭曲。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种靶材辅助配件的加工方法，以减少靶材辅助配件发生扭曲变形的可能。为解决上述问题，本专利技术提供一种靶材辅助配件的加工方法，包括：提供待加工件，所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面；对所述第一端面进行第一机械处理，去除第一端面部分待加工件材料在所述第一端面中形成凹槽，剩余待加工件构成壳体；所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁，所述底壳具有朝向所述凹槽的底面，所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料，以减薄所述底壳和所述侧壁，分别形成吸附面和斜壁；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具，使所述辅助夹具通过所述连接孔与所述底壳固定连接；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。可选的，所述辅助夹具包括第一固定件、第二固定件和锁紧件，所述第一固定件具有第一面，所述第二固定件具有第二面；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具的步骤包括：使所述第一固定件的第一面与吸附面相对贴合，使所述第二固定件的第二面与所述底面相对贴合；使所述锁紧件穿过所述连接孔并锁紧所述第一固定件、底壳和所述第二固定件。可选的，所述第一固定件和所述第二固定件上设置有相对应的螺孔，所述螺孔与所述连接孔相对应；所述螺孔内具有内螺纹；所述锁紧件为表面具有外螺纹的螺栓，所述外螺纹与所述螺孔内的内螺纹相对应，实现所述第一固定件和所述第二固定件锁紧的步骤包括，使所述螺栓穿过所述第二固定件上的螺孔以及所述连接孔，通过螺旋方式与所述第一固定件上的螺孔连接，实现所述第一固定件和所述第二固定件的锁紧。可选的，在所述壳体内设置垫块的步骤中，所述垫块的材料为铝或不锈钢。可选的，进行第一机械处理的步骤中，所述侧壁包括与所述底壳相连的楔形壁以及与所述楔形壁相连的直壁；进行第二机械处理的步骤中，去除所述楔形壁厚度较大位置处的部分材料，使所述楔形壁背向所述凹槽的表面与朝向所述凹槽的表面平行，形成斜壁；进行第三机械处理的步骤中，去除所述直壁。可选的，所述垫块包括第二支撑部和凸出于所述第二支撑部中心区域的第一支撑部，沿平行于所述底面的方向上，所述第二支撑部的尺寸大于所述第一支撑部的尺寸，所述第一支撑部具有朝向所述第二支撑部的第三面以及与所述第三面相背的第四面；在所述凹槽内设置垫块的步骤包括：使所述第一支撑部的第四面与所述底面贴合，并使所述第一支撑部与所述楔形壁的位置相对应且使所述第二支撑部与所述直壁的位置相对应。可选的，在所述凹槽内设置垫块的步骤中，所述第二支撑部与所述直壁之间的空隙在5丝到15丝范围内。可选的，采用车削的方式进行所述第一机械处理、形成所述连接孔、所述第二机械处理或所述第三机械处理中的一个或多个。可选的，所述第一机械处理的步骤中，采用内孔刀对所述第一端面进行车削以实现所述第一机械处理；形成连接孔的步骤中，采用内孔刀在所述底壳内形成所述连接孔。可选的，进行第一机械处理或形成连接孔的步骤中，切削速度在60m/min到100m/min范围内，进给量在0.05mm/r到0.1mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。可选的，所述第二机械处理的步骤中，采用外圆刀对所述第二端面以及所述楔形壁的外周面进行车削以实现所述第二机械处理。可选的，采用外圆刀进行车削以实现所述第二机械处理的步骤中，切削速度在80m/min到120m/min范围内，进给量在0.08mm/r到0.12mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。可选的，采用车削的方式进行所述第三机械处理的步骤中，切削速度在30m/min到50m/min范围内，进给量在0.08mm/r到0.12mm/r范围内，吃刀量在0.08mm到0.12mm范围内。可选的，所述加工方法还包括：形成所述连接孔、所述第二机械处理以及所述第三机械处理的任意两个步骤之间进行一次或多次砂纸抛光处理。可选的，第三机械处理之后，所述加工方法还包括：进行粗糙化处理。可选的，进行粗糙化处理的步骤包括：通过喷丸处理的方式进行所述粗糙化处理。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：本专利技术通过在第一机械处理形成壳体后，在所述壳体内设置垫块；之后进行第二机械处理形成吸附面和斜壁；而去除直壁的第三机械处理之前，通过在底壳底面和吸附面上设置辅助夹具；以所述辅助夹具夹持底壳，进行第三机械处理以去除直壁，进而形成所述靶材辅助配件。在第二机械处理和第三机械处理过程中，所述垫块和所述辅助夹具分别起到支撑作用，能过有效降低所述底壳和所述斜壁发生扭曲变形的可能。附图说明图1是一种靶材辅助配件的俯视结构示意图；图2是图1中所述靶材辅助配件沿AA线的剖视图；图3至图10是本专利技术靶材辅助配件加工方法一实施例各个步骤中间结构的结构示意图。具体实施方式由
技术介绍
可知，现有技术中的靶材辅助配件加工难度较大，容易发生变形扭曲的问题。现结合所述靶材辅助配件的结构分析其容易发生变形扭曲问题的原因：参考图1和图2，示出了一种靶材辅助配件的结构示意图，其中图2是图1中AA线的剖视图。所述靶材辅助配件10为圆盘形，如图2所示，所述靶材辅助配件10包括圆形底壳11以及与所述底壳11斜交的斜壁12。所述靶材辅助配件10厚度d较小，通常情况下，所述靶材辅助配件10的厚度d仅为2mm，因此在加工过程中所述底壳11和所述斜壁12的支撑强度较小，容易发生扭曲变形。为解决所述技术问题，本专利技术提供一种靶材辅助配件的加工方法，包括：提供待加工件，所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面；对所述第一端面进行第一机械处理，去除第一端面部分待加工件材料在所述第一端面中形成凹槽，剩余待加工件构成壳体；所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁，所述底壳具有朝向所述凹槽的底面，所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材辅助配件的加工方法，其特征在于，包括：提供待加工件，所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面；对所述第一端面进行第一机械处理，去除第一端面内部分待加工件材料，在所述第一端面中形成凹槽，剩余待加工件构成壳体；所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁，所述底壳具有朝向所述凹槽的底面，所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料，以减薄所述底壳和所述侧壁，分别形成吸附面和斜壁；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具，使所述辅助夹具通过所述连接孔与所述底壳固定连接；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。

【技术特征摘要】
1.一种靶材辅助配件的加工方法，其特征在于，包括：提供待加工件，所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面；对所述第一端面进行第一机械处理，去除第一端面内部分待加工件材料，在所述第一端面中形成凹槽，剩余待加工件构成壳体；所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁，所述底壳具有朝向所述凹槽的底面，所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料，以减薄所述底壳和所述侧壁，分别形成吸附面和斜壁；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具，使所述辅助夹具通过所述连接孔与所述底壳固定连接；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。2.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述辅助夹具包括第一固定件、第二固定件和锁紧件，所述第一固定件具有第一面，所述第二固定件具有第二面；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具的步骤包括：使所述第一固定件的第一面与吸附面相对贴合，使所述第二固定件的第二面与所述底面相对贴合；使所述锁紧件穿过所述连接孔并锁紧所述第一固定件、底壳和所述第二固定件。3.如权利要求2所述的加工方法，其特征在于，所述第一固定件和所述第二固定件上设置有相对应的螺孔，所述螺孔与所述连接孔相对应；所述螺孔内具有内螺纹；所述锁紧件为表面具有外螺纹的螺栓，所述外螺纹与所述螺孔内的内螺纹相对应，实现所述第一固定件和所述第二固定件锁紧的步骤包括，使所述螺栓穿过所述第二固定件上的螺孔以及所述连接孔，通过螺旋方式与所述第一固定件上的螺孔连接，实现所述第一固定件和所述第二固定件的锁紧。4.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述壳体内设置垫块的步骤中，所述垫块的材料为铝或不锈钢。5.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，进行第一机械处理的步骤中，所述侧壁包括与所述底壳相连的楔形壁以及与所述楔形壁相连的直壁；进行第二机械处理的步骤中，去除所述楔形壁厚度较大位置处的部分材料，使所述楔形壁背向所述凹槽的表面与朝向所述凹槽的表面平行，形成斜壁；进行第三机械处理的步骤中，去除所述直壁。6.如权利要求5所述的加工方法，其特征在于，所述垫块包括第二支撑部和凸出于所述第二支撑部中心区域的第一支撑部，沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，大岩一彦，王学泽，张良进，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33