一种多功能扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多功能扫描电镜样品台，包括底板，底板两侧设置有竖立的固定板，两侧固定板之间设置有转动板，转动板两端铰接于两侧固定板上；所述底板上穿设有可上下移动的伸缩板，伸缩板上端顶着转动板下侧以固定转动板角度。本实用新型专利技术多功能扫描电镜样品台结构新颖，设计合理，使用方便，具有旋转功能，能够测量多角度，适用于底部不平整的样品，满足普通的扫描电镜形貌分析和EBSD表征分析；造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广，且易于测量多个样品，从而提高测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能扫描电镜样品台
本技术涉及一种多功能扫描电镜样品台。
技术介绍
扫描电子显微镜简称扫描电镜，是一种利用电子束轰击样品，收集样品表面信号从而成像的电子光学仪器。由于其具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点，现已经被广泛地应用于材料、化学、生物、微电子等多领域的研究和工业生产。样品做扫描电镜时，需要将样品固定在载物台上然后放入样品仓进行观测。但是，现有的载物台多是用于平面观测，载物台为普通圆形平台，此种载物台无法固定住底部不平整的柱状样品。因此当要观察样品截面的时候，平面载物台很难将样品竖直固定，样品晃动会对观察结果造成很大影响。目前针对这种底面不平整的样品进行扫描电镜和电子背散射试样技术（EBSD）测试时，常采用冷镶嵌和热镶嵌来做平整的底面。冷镶嵌材料一般采用树脂加固化剂，镶嵌后的试样上面包裹一层树脂固化剂，试样镶嵌于固化树脂内，取下后试样外包裹一层固化树脂，固化树脂的导电性很差，因此加固化树脂后的试样导电性很差，但是很多情况下需要试样具有导电性，需要利用导电胶布或镶嵌时添加金属粉末解决试样导电的问题等，但是导电胶布或导电粉末等的导电性往往不如试验本身的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多功能扫描电镜样品台，其特征在于：包括底板，底板两侧设置有竖立的固定板，两侧固定板之间设置有转动板，转动板两端铰接于两侧固定板上；所述底板上穿设有可上下移动的伸缩板，伸缩板上端顶着转动板下侧以固定转动板角度。

【技术特征摘要】
1.一种多功能扫描电镜样品台，其特征在于：包括底板，底板两侧设置有竖立的固定板，两侧固定板之间设置有转动板，转动板两端铰接于两侧固定板上；所述底板上穿设有可上下移动的伸缩板，伸缩板上端顶着转动板下侧以固定转动板角度。2.根据权利要求1所述的多功能扫描...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪炳叔，吴诗萍，杨容，张鼎，刘慧敏，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：新型
国别省市：福建,35