一种扫描电镜样品台制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜样品台
本技术涉及一种扫描电镜样品台，属于分析用实验设备领域。
技术介绍
扫描电子显微镜简称扫描电镜，是一种利用电子束轰击样品，收集样品表面信号从而成像的电子光学仪器。由于其具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点，现已经被广泛地应用于材料、化学、生物、微电子等多领域的研究和工业生产。样品做扫描电镜时，需要将样品固定在载物台上然后放入样品仓进行观测。但是，现有的载物台多是用于平面观测，载物台为普通圆形平台，此种载物台无法固定住底部不平整的柱状样品。因此当要观察样品截面的时候，平面载物台很难将样品竖直固定，样品晃动会对观察结果造成很大影响。此外，目前的EBSD样品台一般为圆柱状，每次只能装载一个样品，在有多个样品测试时，要频繁的放真空—装样—抽真空等操作，既费时又费力，给电镜测试带来极大的不便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种扫描电镜样品台，结构简单、加工简单、使用便捷，满足多种的测试需求。本技术的技术方案在于：一种扫描电镜样品台，包括一六棱台，所述六棱台的上、下台面均为正六边形，且上台面的外接圆直径小于下台面的外接圆直径，所述六...
【技术保护点】
一种扫描电镜样品台，包括一六棱台，其特征在于，所述六棱台的上、下台面均为正六边形，且上台面的外接圆直径小于下台面的外接圆直径，所述六棱台的各侧面中部分别设置有沉孔，所述上台面的周部间隔设置有与沉孔相对应并与沉孔相连通的竖向螺纹孔，所述竖向螺纹孔内螺接有锁定螺丝，所述下台面上还连接有竖向连接柱。
【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜样品台，包括一六棱台，其特征在于，所述六棱台的上、下台面均为正六边形，且上台面的外接圆直径小于下台面的外接圆直径，所述六棱台的各侧面中部分别设置有沉孔，所述上台面的周部间隔设置有与沉孔相对应并与沉孔相连通的竖向螺纹孔，所述竖向螺纹孔内螺接有锁定螺丝，所述下台面上还连接有竖向连接柱。2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品台，其特征在于，所述六棱台的各侧面与下台面的夹角均为70°。3.根据权利要求1或2所述的一种扫描电镜样品台，其特征在于，所述六棱台的各侧面下部分别设置有编号标识。4.根据权利要求1或2所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪炳叔，丁莹，杨容，吴诗萍，张鼎，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：新型
国别省市：福建,35
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