一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统及其使用方法技术方案

本发明专利技术涉及材料测试技术领域，具体为一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统及其使用方法。该系统包括：气密圆形连接器、外围设备、样品杆、计算机、密封腔室、外场微型芯片，具体结构如下：样品杆的一端设置气密圆形连接器，样品杆的另一端设置密封腔室，密封腔室内设置外场微型芯片，外围设备输出端通过管路、气密圆形连接器和样品杆内腔连至密封腔室，计算机输出端的线路穿过气密圆形连接器和样品杆内腔连至密封腔室。本发明专利技术最大限度地实现了在复杂气态/液态仿真环境中材料的宏观性能与气/液/固界面反应机制的测量与研究，广泛适用于探究各种高温、低温化学合成反应、材料相变、电化学反应、低温生物化学反应等。

An in situ transmission electron microscope simulation environment sample rod system and its use method

The invention relates to the field of material testing, in particular to an in situ transmission electron microscope simulation environment sample rod system and its use method. The system includes: a hermetic round connector, peripheral equipment, sample rod, computer, seal chamber, micro chip field, the concrete structure is as follows: one sample rod is arranged at the other end of the sample gas tight circular connectors, bar setting sealing chamber, sealing chamber is provided with external chip, the output end of peripheral equipment through the pipeline, gas and circular connectors the sample rod connected to the inner sealing chamber, the computer output line through tight circular connectors and sample rod cavity connected to the sealing chamber. The present invention maximizes in complex gaseous / liquid materials in the simulation environment of macroscopic properties and gas / liquid / solid interface reaction mechanism of measurement and research, widely used in all kinds of high temperature and low temperature on chemical synthesis, phase transition materials, electrochemical reactions, chemical reactions such as low-temperature biological.

【技术实现步骤摘要】
一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统及其使用方法
本专利技术涉及材料测试
，具体为一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统及其使用方法，能够在透射电镜中实现气态、液态、等离子体态的仿真环境，并具有光、热、电等外场功能。
技术介绍
原位透射电镜的发展历史可以追溯到上世纪40年代，其技术难点不仅在于需要将仿真环境和外场作用准确地施加在微小的TEM样品上，同时还要满足一系列苛刻的条件，例如：要维持电镜系统的超高真空度(10-4～10-6Pa)和样品台极高的稳定度，不能对成像光路产生干扰，保证合理的成像分辨率，以及整个结构必须紧凑以适用于TEM狭小的样品腔体等。近十年来，随着电子显微学、微纳加工和真空等关键技术的进步，目前有两种原位透射电镜技术才获得了较为成熟的发展。一种是将仿真环境(气相、液相等)和外场条件直接导入电镜样品室。这需要对普通电镜结构进行深度改进，造价和维护使用成本都非常昂贵而难以普及推广。另一种是对电镜样品杆进行特殊的设计和制造，在其中引入环境和外场条件来实现原位表征功能。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于提供一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统及其使用方法，采用仿真环境本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统，其特征在于，该系统包括：气密圆形连接器、外围设备、样品杆、计算机、密封腔室、外场微型芯片，具体结构如下：样品杆的一端设置气密圆形连接器，样品杆的另一端设置密封腔室，密封腔室内设置外场微型芯片，外围设备输出端通过管路、气密圆形连接器和样品杆内腔连至密封腔室，计算机输出端的线路穿过气密圆形连接器和样品杆内腔连至密封腔室。

【技术特征摘要】
1.一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统，其特征在于，该系统包括：气密圆形连接器、外围设备、样品杆、计算机、密封腔室、外场微型芯片，具体结构如下：样品杆的一端设置气密圆形连接器，样品杆的另一端设置密封腔室，密封腔室内设置外场微型芯片，外围设备输出端通过管路、气密圆形连接器和样品杆内腔连至密封腔室，计算机输出端的线路穿过气密圆形连接器和样品杆内腔连至密封腔室。2.按照权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统，其特征在于，外场微型芯片上设置与透射电镜电子束对应的透明SiNx/SiOx窗口，待分析样品放置于SiNx/SiOx窗口上。3.按照权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统，其特征在于，管路采用与气密圆形连接器配套的微型...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜辛，邰凯平，刘鲁生，赵洋，靳群，乔吉祥，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁,21