测试设备及测试方法技术
Test equipment and testing methods
The invention discloses a test device and a test method. The test apparatus includes a pre pruning module for a trim products are tested first parameters, test results; data analysis module for the detection results were analyzed to obtain analytical results; the feedback module, according to the results of the analysis to make the feedback action. During the test, the data analysis module analyzes the detection results, learned that the test results are normal, and then follow-up action, can effectively avoid the problem of testing (such as equipment abnormal, specifications range is too large) caused by subsequent pruning errors, avoid scrap, reduce loss, improve the yield.
【技术实现步骤摘要】
测试设备及测试方法
本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种测试设备及测试方法。
技术介绍
在半导体制造工艺中，当芯片(chip)基本制备完成后，需要进行测试，已获悉其相关的电性参数。目前，一种常见的测试方法包括先对芯片进行第一次测试，然后依据第一次测试的结果，对芯片中的保险丝(fuse)进行熔断。而这一熔断过程是不可逆的，因此，如何确保熔断的准确性，十分重要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种测试设备及测试方法，解决现有技术中容易发生测试过程异常所造成的报废的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种测试设备，包括：预修剪模块，用于对一待修剪产品进行第一次参数检测，获得检测结果；数据分析模块，用于对所述检测结果进行分析，获得分析结果；反馈模块，用于依据分析结果作出反馈动作。可选的，对于所述的测试设备，所述数据分析模块的分析结果包括是否存在周期性参数异常、连续性参数异常的至少一种。可选的，对于所述的测试设备，所述数据分析模块包括数据输入单元、数据分析单元、数据输出单元，所述数据输入单元连接至所述预修剪模块，获得所述检测结果，并将所述检测结果传递至数据分...
【技术保护点】
一种测试设备，其特征在于，包括：预修剪模块，用于对一待修剪产品进行第一次参数检测，获得检测结果；数据分析模块，用于对所述检测结果进行分析，获得分析结果；反馈模块，用于依据分析结果作出反馈动作。
【技术特征摘要】
1.一种测试设备，其特征在于，包括：预修剪模块，用于对一待修剪产品进行第一次参数检测，获得检测结果；数据分析模块，用于对所述检测结果进行分析，获得分析结果；反馈模块，用于依据分析结果作出反馈动作。2.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述数据分析模块的分析结果包括是否存在周期性参数异常、连续性参数异常的至少一种。3.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述数据分析模块包括数据输入单元、数据分析单元、数据输出单元，所述数据输入单元连接至所述预修剪模块，获得所述检测结果，并将所述检测结果传递至数据分析单元，所述数据分析单元依据设定条件对检测结果进行分析，判断所述检测结果是否正常，并将分析结果传递至数据输出单元，所述数据输出单元连接至所述反馈模块。4.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述反馈模块包括相互通讯的一控制台及一服务器，所述控制台对所述预修剪模块发出指令，接收所述分析结果并传递至所述服务器，所述服务器依据所述检测结果及由控制台传递的分析结果作出反馈动作。5.如权利要求1或4所述的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括：修剪模块，依据所述检测结果及所述分析结果对所述待修剪产品进行修剪；后修剪模块，对修剪后的产品进行第二次参数检测。6.一种测试方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔嘉，鲁巧云，张冠杰，高静，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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