水性缓冲含氟蚀刻残渣去除剂和清洁剂制造技术

本发明专利技术涉及ｐＨ值在７－１１之间的水性缓冲含氟组合物。由于氧化和金属蚀刻速率等与ｐＨ值相关的性能随ｐＨ值的稳定而稳定，所以该缓冲组合物具有较长的工作寿命。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种水性缓冲含氟组合物，其包括：Ａ：氟硼酸或通式Ｒ↓［４］ＮＦ的含氟化合物，其中Ｒ↓［１］到Ｒ↓［４］独立地为氢、醇基、烷氧基或烷基，以及Ｂ：缓冲剂，其中该水性缓冲含氟组合物的ｐＨ值是７．０－约１１．０。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：达里尔W彼得斯，罗伯托J罗维托，珍妮弗M里克尔，
申请(专利权)人：气体产品及化学制品公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]