下载水性缓冲含氟蚀刻残渣去除剂和清洁剂的技术资料

文档序号:1693637

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本发明涉及pH值在7-11之间的水性缓冲含氟组合物。由于氧化和金属蚀刻速率等与pH值相关的性能随pH值的稳定而稳定,所以该缓冲组合物具有较长的工作寿命。...
该专利属于气体产品及化学制品公司所有,仅供学习研究参考,未经过气体产品及化学制品公司授权不得商用。

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